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反应离子刻蚀工艺仿真模型的研究

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.031

以SF6/N2混合气体对Si反应离子刻蚀工艺研究为例提出干法刻蚀计算机工艺模拟的方法:在分段拟合优化工艺条件下采用人工神经网络方法建立干法刻蚀仿真模型,可以予测给定射频功率、总气流量下刻蚀速率和纵横比,并且以仿真实验数据训练模型学习,模型具有通用性,与设备无关.

关键词: 干法刻蚀 , 工艺仿真 , 人工神经网络

ECR Plasma CVD淀积光电器件介质膜的工艺模拟

谭满清 , 陆建祖 , 李玉鉴

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.03.028

以实验数据为基础,运用人工神经网络方法,建立了电子回旋共振等离子体化学气相沉积(ECRPlasmaCVD)淀积硅的氮、氧化物介质膜的折射率、速率与气流配比Q(N2)/Q(SiH4)和Q(O2)/Q(SiH4)关系的数学模型,此模型在给定气流配比Q(N2)/Q(SiH4)和Q(O2)/Q(SiH4)时所预测的成模折射率跟实验值符合得很好,为ECRPlasmaCVD淀积全介质光学膜的工艺打下坚实的基础.

关键词: ECRPlasmaCVD , 人工神经网络 , 气流配比 , 折射率 , 淀积速率

阴极电泳涂装线建线方案

金荣刚

涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2003.01.009

笔者根据几年来的阴极电泳涂装线建线经验,介绍了新建阴极电泳涂装线的清洗、建槽、试生产运行调试及日常管理的关键问题及注意事项.

关键词: 阴极电泳涂装线 , 清洗 , 建槽 , 运行调度 , 日常管理

中高能核数据评价和建库国际概况

庄友祥 , 王记民

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2002.04.013

简要介绍了中高能核数据评价和建库的国际概况, 较细致地讨论了中高能核反应实验测量、理论计算、积分检验、评价和建库等, 并对我国今后中高能核数据工作提出了建议.

关键词: 核反应 , 核数据 , 中高能 , 评价 , 建数据库

已建油库埋地管道阴极保护

胡士信 , 陈向新 , 薛致远等

腐蚀学报（英文）

对已建油库埋地管道有极保护，解决了埋地３０多年的老管道的腐蚀控制问题。

关键词: 已建油库管道 , oil store , cathodic protection

已建油库埋地管道阴极保护

胡士信 , 陈向新 , 薛致远 , 张志远 , 李永亮 , 许卫新 , 谢永发

腐蚀学报（英文） doi:10.3969/j.issn.1002-6495.1999.04.007

对已建油库埋地管道进行阴极保护,解决了埋地30多年的老管道的腐蚀控制问题.

关键词: 已建油库管道 , 阴极保护 , 柔性阳极

飞行器模型着陆特性的试验研究

万志敏 , 陈立平

物理测试 doi:10.3969/j.issn.1001-0777.2002.01.005

研究了两种飞行器模型的着陆特性.模型着陆应用气囊系统衰减着陆冲击载荷.实验模拟着陆的垂直速度为2～6 m/s,水平速度0～4 m/s,着陆姿态范围-19.5°～+19.5°,测定了飞行器模型的加速度和稳定性.结果表明,峰值加速度随垂直着陆速度的增加而增加,且舱体模型的加速度高于弹体模型的加速度,着陆姿态和水平速度对稳定性有显著的影响.

关键词: 着陆特性 , 回收 , 冲击 , 飞行器模型