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传感器固有频率和阻尼对冲击加速度检测的影响

王钻开 ,

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.02.011

研究了硅微机械高 g(g为重力加速度 )加速度传感器的固有频率和阻尼特性对冲击响应的 影响.传感器固有频率低,阻尼小时,冲击加速度的响应波形包含传感器共振波,造成测量干扰. 采用有适当阻尼,固有频率高的双质量块结构高 g加速度传感器,进行接近 2万 g加速度峰值的 一系列落杆冲击实验,都未见共振响应.同样的传感器制作成欠阻尼,进行实验时,发现共振干扰. 该实验所用的传感器芯片面积小,固有频率高,调整该结构的弹性梁厚度,可制作量程为 2× 103g~ 2× 105g的加速度传感器.

关键词: 冲击加速度 , 固有频率 , 阻尼

微机械悬桥法研究氮化硅薄膜力学性能

宗登刚 , 王钻开 , , 王聪和 , 陈刚

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.02.005

利用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究低应力 LPCVD氮化硅薄 膜的力学特性.通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形对挠度有贡献的微桥挠度解析表达式. 对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对其挠度进行了拟合,从而得到杨氏 模量、残余应力和弯曲强度等力学特性参数.低应力 LPCVD氮化硅薄膜的研究结果 :杨氏模量为 (308.4± 24.1) Gpa , 残余应力为 (252.9± 32.4 )Mpa, 弯曲强度为 (6.2± 1.3) Gpa.

关键词: 微机械 , 悬桥 , LPCVD , 氮化硅 , 杨氏模量 , 残余应力 , 弯曲强度

一种高量程压阻式加速度计的静态测试方法

黄全平 ,

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.03.017

介绍了一种简单而有效的天平方法来检测高量程微机械加速度传感器芯片的静态特性.设计了一种新结构,上面带有压敏电阻,用该方法测量到的静态特性和理论结果比较,两者基本一致,芯片的静态输出特性在测量限20000g(g为重力加速度)内呈直线,非线性为1%左右,灵敏度与理论值在20%的偏差内一致.由于其操作简单、低廉且有较高的分辨率,这种方法适合于平板型高量程压阻式加速度传感器芯片封装前进行抽样检测.

关键词: 静态特性 , 压阻式加速度计 , 薄板

分度头检测加速度计时横向效应对线性度的影响

李浩 ,

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.01.010

对分度头检测加速度计静态特性相关的几何物理问题进行了分析,结果表明,传感器在分度头上的安装偏差角和传感器自身固有的横向效应都会影响检测精度.用分度头对加速度计进行静态特性的检测,横向效应包含在测量结果的非线性中.用非线性和横向效应都很小的加速度传感器作为试样,在分度头上人为安装有00、50和150的偏角时,检测到的非线性随偏角的增加而变大,与理论分析一致.利用高分辨分度头寻找能降低悬臂梁压阻式加速度传感器横向效应的基准面,以此基准面封装成的传感器的横向效应和非线性的综合效果小于0.05%.

关键词: 加速度计 , 横向效应 , 非线性 , 静态测量

低量程高线性压阻式微机械加速度传感器

金虎 , , 沈绍群 , 鲍敏杭

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.02.006

介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装 ,还较详细地 介绍了静态和动态特性的测量和结果。为提高灵敏度,传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有 横向效应进行了计算,结果表明此种结构的三种横向效应主要是由于质量块(岛)质心偏离梁中平面, 沿梁伸展方向( x向)惯性力分量产生的弯矩所致。提出了调整上下盖板与中间质量块之间的气隙改 善器件频响特性的方法。报道的压阻式微机械加速度传感器量程± 1g(g为重力加速度 ),线性度优 于 0.05%,灵敏度约 1mV/gV,阻尼比 0.7,带宽 110Hz。

关键词: 加速度传感器 , 压阻式 , 横向效应 , 空气阻尼

马克连铸机系统改造

姜振强 , 郭广文 , 陈树林

连铸 doi:10.3969/j.issn.1005-4006.2003.05.005

马克连铸机存在的问题进行分析,并针对存在问题进行技术改造,收到较好的效果,使铸坯质量和产量得到明显的提高.

关键词:

碳化钨模表面沉积Re-Ir抗高温黏连涂层研究

魏俊俊 , 朱小研 , 陈良贤 , 刘金龙 , 黑立富 , 李成明

稀有金属

采用射频磁控溅射技术,在WC模基材表面分别生长Re、Ir单层膜及Re/Ir复合多层膜3种膜系.通过扫描电子显微镜、表面轮廓仪、X射线衍射仪以及纳米压痕仪等对所制备涂层的表面形貌、结构以及涂层力学性能进行表征,同时采用高温润湿角测量仪结合常用的镜头玻璃硝材D-ZK3与模进行高温浸润测试.结果表明,涂覆3种膜系后模力学性能及抗玻璃高温黏连性能都得到了明显改善,且Re/Ir多层膜系综合性能优于Re和Ir单层膜系,在延续基材表面精度的同时,较大幅度地提高了模表面硬度及弹性模量,高温状态下与玻璃硝材浸润性明显减弱,接触界面未观察到元素互扩散现象,显示良好的应用前景.

关键词: , , 硬质合金 , 玻璃模造 , 高温润湿

飞行器模型着特性的试验研究

万志敏 , 陈立平

物理测试 doi:10.3969/j.issn.1001-0777.2002.01.005

研究了两种飞行器模型的着特性.模型着应用气囊系统衰减着冲击载荷.实验模拟着的垂直速度为2~6 m/s,水平速度0~4 m/s,着姿态范围-19.5°~+19.5°,测定了飞行器模型的加速度和稳定性.结果表明,峰值加速度随垂直着速度的增加而增加,且舱体模型的加速度高于弹体模型的加速度,着姿态和水平速度对稳定性有显著的影响.

关键词: 特性 , 回收 , 冲击 , 飞行器模型

薄层色谱法分析葵花粕中的绿原酸

朱玉 , 张书胜 , 张西林 , 陈洁

色谱 doi:10.3321/j.issn:1000-8713.2001.01.020

以聚酰胺薄膜为固定相、体积分数为36%的乙酸溶液为流动相,研究建立了薄层色谱分离测定葵花粕中绿原酸的方法。绿原酸样品溶液上行展开8.5cm,其Rf值为0.61。绿原酸的检测量在0.05μg~0.6μg范围内,其斑点的面积与绿原酸的检测量具有良好的线性关系。绿原酸的回收率为97.53%,不同薄层板之间的RSD为2.57%,最低检出限为0.025μg。在以体积分数为70%的乙醇溶液为萃取剂、搅拌振荡萃取时间为30min的条件下,以该方法测定萃取液中绿原酸的含量和葵花粕中绿原酸的残留量,确定了最佳萃取次数,为研究葵花粕中蛋白质的最佳萃取工艺提供了依据。

关键词: 薄层色谱法 , 葵花 , 绿原酸

非球面玻璃模造用碳化钨模磁控溅射铼-铱镀膜工艺优化

杜琪健

电镀与涂饰

通过钽过渡镀层与铼-铱复合镀层相结合的膜层结构,解决了非球面玻璃模造碳化钨模热压寿命短、沾黏等问题.通过离子源和镀膜层厚度参数的优化调整,得到了最佳镀膜工艺和参数,改善了模的表面品质,延长了模的使用寿命.镀钽膜层15 min及铼-铱膜层21 min后所得镀膜的总厚度约为270 nm,模热压寿命可超过3 000次.

关键词: 非球面玻璃 , 模造 , , 碳化钨 , , 铼-铱镀层 , 磁控溅射

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