霍骥川
,
刘保亭
,
邢金柱
,
周阳
,
李晓红
,
李丽
,
张湘义
,
王凤青
,
王侠
,
彭英才
功能材料
以非晶Ni-Al薄膜作为Cu互连的阻挡层材料,采用射频磁控溅射法构架了Cu/Ni-Al/Si的异质结.利用原子力显微镜、X射线衍射仪和四探针测试仪研究了不同温度下高真空退火样品的表面形貌、微观结构与输运性质.实验发现非晶Ni-Al薄膜在高达750℃的退火温度仍能保持非晶结构,各膜层之间没有明显的反应和互扩散存在,表明了非晶Ni-Al薄膜具有良好的阻挡效果,可以用作Cu互连的阻挡层材料.
关键词:
Cu互连
,
Ni-Al
,
扩散阻挡层
邢金柱
,
刘保亭
,
霍骥川
,
周阳
,
李晓红
,
李丽
,
张湘义
,
彭英才
,
王侠
机械工程材料
采用射频磁控溅射法在Si(100)基片上首先沉积了厚度40 nm的非晶钛-铝薄膜,然后在其上又原位生长了厚度100 nm的铜薄膜,制备了铜膜/钛-铝膜/硅试样;对试样分别在400～800℃内进行真空退火处理,用原子力显微镜、X射线衍射仪、四探针测试仪对试样的表面形貌、结晶状态及方块电阻进行了分析.结果表明:当退火温度低于750℃时,试样表面平整,表面粗糙度和方块电阻均较小且基本不随退火温度的升高而改变,此时,非晶钛-铝薄膜能够起到阻挡铜向硅中扩散的作用;当退火温度在800℃时,试样的表面粗糙度和方块电阻急剧增大,此时,非晶钛-铝薄膜已经不能起到阻挡层的作用.
关键词:
铜互连
,
阻挡层
,
钛-铝薄膜
,
射频磁控溅射
周阳
,
仇满德
,
付跃举
,
邢金柱
,
霍骥川
,
彭英才
,
刘保亭
人工晶体学报
在室温条件下,采用磁控溅射方法在蓝宝石(0001)衬底上制备了外延的ZnO薄膜.采用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、可见-紫外分光光度计系统研究了ZnO薄膜微观结构和光学特性.AFM测量结果表明ZnO薄膜具有较为均匀的ZnO晶粒,表面平整,具有较小的均方根粗糙度(0.9 nm);X射线衍射结果表明制备的ZnO薄膜为具有六角纤锌矿结构的外延薄膜;光学透射谱显示样品在可见光范围内具有较高的透过性,并在370 nm附近出现一个较陡的吸收边,表明在室温下制备出了具有较高质量的ZnO薄膜.
关键词:
ZnO薄膜
,
射频磁控溅射
,
外延生长
高原
,
朱民
工程热物理学报
燃烧室是燃气轮机的核心部件之一,其中的燃烧过程的关键技术之一是如何避免和抑制振荡燃烧现象.本文简要阐述了发生振荡燃烧的机理以及亥姆霍兹共振器抑制振荡燃烧的声学分析,并且通过线性分析与CFD计算相结合的研究方法对燃烧系统的燃烧稳定性进行计算;同时分析了共振器共振频率和安装位置对燃烧稳定性的影响,得出在不同因素影响下,系统的稳定性和模态.这些分析有助于我们在设计和运行燃烧系统时,实现燃烧系统的安全、高效和清洁运行.
关键词:
振荡燃烧
,
亥姆霍兹共振器
,
线性分析
赵文冲
,
唐军
,
张黎明
物理测试
一台德产霍梅尔（Hommel）T8000表面粗糙度测量仪在使用几年之后出现故障无法使用,主要表现为：测量传感器电控无法左右移动及传感器检测失灵,整机不能实现全自动检测。通过对机械结构及电气连接方面的分析检查,结果表明：该机LV扫描驱动箱内部由于导向杆上生锈斑和螺杆表面污染产生杂质,造成了滑块轴向移动时机械卡阻;在电气方面,由于传感器接插件内部插针错位的异常断路,导致传感器不工作造成无信号输出。经过机械部分清理加油及传感器接插件部分重新校正处理后设备已完全恢复正常,可全程实现全自动测试。
关键词:
粗糙度测量仪
,
霍梅尔T8000
,
LV驱动箱
,
传感器
,
故障维修
门金凤
,
程海峰
,
陈朝辉
,
楚增勇
材料导报
吲哚七甲川菁染料以其特有的结构,已经成为在光谱增感、光盘存储、生物分析、太阳能电池等领域应用广泛的功能染料--.总结了吲哚七甲川菁染料的主要合成方法,概述了近年来吲哚七甲)ll菁染料的应用,并展望了其在夜视兼容照明技术方面的研究应用.
关键词:
吲哚七甲川菁染料
,
近红外吸收
,
合成
,
应用
邱雪明
,
陆智
,
程秦豫
有色金属工程
doi:10.3969/j.issn.2095-1744.2015.05.012
四川某稀土矿RexOv品位为6.62％,稀土矿物主要为氟碳铈矿,脉石矿物主要为萤石、重晶石及石英、角闪石,采用摇床一浮选工艺进行选别,最终得到RexOy品位63.68％、回收率为47.43％的摇床精矿和RexOy品位60.37％、回收率为39.25％的浮选精矿,Rex0y综合回收率为86.68％.
关键词:
稀土
,
氟碳铈矿
,
萤石
,
重晶石
,
摇床
,
浮选
