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湿法刻蚀FI CD均一性的影响因素及提高刻蚀均一性的研究

范学丽 , , 翁超 , 陈启省 , 王晏酩 , 肖红玺 , 刘还平

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20163101.0067

随着高分辨率产品导入,TFT-LCD阵列段各项参数范围越来越小,工艺要求更为严格,为了更好地管控湿法刻蚀各项参数,本文以湿法刻蚀FI CD(Final Inspection Critical Dimension)均一性的影响因素及如何提高FI CD均一性为目的进行研究.首先,通过对湿法刻蚀设备参数(主要包括刻蚀液温度、流量、压力、浓度、Nozzle Sliding、Oscillation Speed、刻蚀时间等)进行试验,验证各项参数对FI CD均一性的影响.其次,对沉积工序、曝光工序以及产品设计等进行试验,获悉影响因素并进行改善.通过对湿法刻蚀设备自身参数的调整,如减少设备温度、流量、压力波动,使参数保持相对稳定状态,可有效改善湿法刻蚀FI CD均一性,FI CD的均一性可从1.0降低至0.5.通过对湿法刻蚀设备参数进行试验并做相应调整,湿法刻蚀FI CD均一性改善效果显著.

关键词: TFT-LCD , 湿法刻蚀 , FI CD , 均一性

油气田区地下水有机污染特征初步分析

崔虎群 , 康卫东 , 李文鹏 , 王润兰 , 刘景涛

环境化学 doi:10.7524/j.issn.0254-6108.2016.06.2015092502

以地下水水质检测数据为基础,从污染源分布及水文地质条件入手,对定油气田区地下水有机污染分布特征及其成因进行了研究,本文检测了卤代烃15项、氯代苯5项、单环芳烃5项、有机氯农药11项和多环芳烃1项,结果发现该地区地下水有机污染具有检出种类少,检出率高,浓度低,超标率低的特点.地下水中检出的有机污染物共有10种,分别为甲苯、苯、邻二甲苯、苯乙烯、二氯甲烷、1,2-二氯乙烷、1,2-二氯丙烷、1,2-二氯苯、1,2,4+三氯苯和苯并(a)芘,检出的9项有机污染物含量均低于《地下水质量标准》(GB/T 14848-2007)三类水限值.潜水的检出项比承压水的检出项多,检出率普遍比承压水的检出率高.不同地貌类型的有机污染物检出率为黄土区(28.87%)≈平原区(27.76%)>沙漠滩地区(11.11%)>河谷区(3.33%).最后,从工业污染源、有机物理化性质和水文地质条件对有机污染分布特征的成因进行了阐述.

关键词: 油气田区 , 地下水 , 有机污染 , 成因浅析

静电喷雾法制备壳聚糖/康普丁载药微球

马骊娜 , 方大为 , 王克敏 , 聂俊 , 马贵平

材料科学与工程学报 doi:10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2015.06.023

本研究采用静电喷雾法,以壳聚糖为基质材料,康普丁为模型药物制备微球.实验中采用AcOH/H2O和AcOH/H2O/EtOH两种溶剂,分析了微球形貌和粒径分布的影响因素,并且对CS-CA4微球的缓释性能进行了测定.结果表明,壳聚糖浓度、溶剂配比及乙醇和康普丁的加入会使壳聚糖微球呈球状、中间塌陷的类球状、棒状等不同形貌,微球粒径存在较大差异;通过AcOH/H2O/EtOH复合溶剂将疏水性药物康普丁载入壳聚糖微球,制备出的壳聚糖/康普丁载药微球分散性好,粒径分布均匀,平均粒径仅为0.27μm;使用戊二醛蒸汽交联48h的微球缓释效果明显.

关键词: 静电喷雾 , 壳聚糖 , 康普 , 微球

荧光光谱法研究双醋因与人血清白蛋白的相互作用

吕茜茜 , 高苏亚 , 夏冬辉 , 李华

应用化学 doi:10.3724/SP.J.1095.2011.00497

在模拟人体生理条件下(pH=7.40),采用荧光光谱法研究双醋因与人血清白蛋白的相互作用.采用2种方法计算不同温度下其结合常数K<,A>、结合位点数n,同时对2种计算方法进行了比较;并根据热力学参数确定了双醋因与人血清白蛋白之间的作用力类型.根据Forster非辐射能量转移原理,确定了双醋因与人血清白蛋白相互结合时供能体-受能体间的作用距离和能量转移效率,并用同步荧光光谱研究了双醋因对人血清白蛋白构象的影响.结果表明,双醋因与人血清白蛋白之间主要是以静态猝灭为主;结合距离r=2.88 nm,能量转移效率E=0.273 8,二者主要凭借氢键和范德华力进行结合.

关键词: 双醋 , 人血清白蛋白 , 荧光光谱法 , 相互作用

霉素键合手性毛细管整体柱的制备与对映体分离

雷雯 , 张凌怡 , 万莉 , 朱亚仙 , 覃飒飒 , 张维冰

色谱 doi:10.3724/SP.J.1123.2010.00977

以具有22个不同种类手性中心的新型大环抗生素伊霉素为手性选择器,基于环氧基团高反应活性的特征,将伊霉素用一步法键合到甲基丙烯酸酯整体柱表面制备伊霉素键合手性毛细管整体柱.通过对制备条件进行优化,证实该制备方法可在较宽的pH范围(6.0~9.0)内进行,方法简单易行,反应条件温和.应用制备的手性毛细管整体柱在毛细管电色谱模式下,对5种手性氨基酸对映体和手性药物罗格列酮对映体进行拆分,均得到了基线分离,说明伊霉素手性固定相具有较强的手性拆分能力.在优化的色谱条件下,6种对映体的分析时间均小于4 min,分析速度快.通过对有机调节剂、缓冲液pH值和缓冲盐浓度等分离条件进行系统考察,初步探讨了该手性毛细管整体柱对不同溶质的手性识别机理.

关键词: 霉素 , 大环抗生素 , 手性整体固定相 , 毛细管电色谱 , 对映体

温酸性镀锌工艺

郭崇武

电镀与涂饰

制定了温酸性镀酸锌工艺.滚镀的最佳工艺为:氯化锌45~55 g/L,氯化钾200 ~ 230 g/L,硼酸30~35 g/L,402主光剂1 mL/L,402辅光剂30 mL/L,温度15~45℃,pH=4.5~5.5,电压5.5~6.5 V.挂镀时只需改氯化锌含量为55~65 g/L,电流密度1~3 A/dm2.该工艺允许的温度范围,镀液稳定,出光快,均镀能力和深镀能力好.所用主光剂和辅光剂都具有较好的抗氧化能力.

关键词: 酸性镀锌 , 温度范围 , 光亮剂 , 抗氧化性

温型(SCL)液晶的剖析

张敏 , 魏俊发 , 孙莉霞

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2004.01.012

用(EI、CI)GC-MS,GC-IR多种分析技术对国外某公司温型(SCL:液晶相温度范围)液晶混合物组份进行了剖析,通过实验已全部确定了该混合物液晶里的16种成份,并用GC-MS的总离子流色谱图色面积归一法确定了其含量.

关键词: 液晶 , 气相色谱-质谱 , 气相色谱-红外光谱

多通道CCD冷轧板材在线测

吴国华 , 夏灵 , 吕维雪

钢铁

对薄型板裁剪成多条窄板的多通道并联实时测量是冶金和轻工业等领域中急待解决的问题.目前多通道在线测技术国内外尚未见报道.作者对此进行了探讨,提出了整个系统的设计思想及方案.测仪测量精度为±0.15 mm,响应时间为0.01 s,在同类型仪器中处于先进水平.

关键词: 在线测 , 冷轧板材 , 线阵CCD

10MnNiCrMoV钢板拉伸试验研究

朱林 , 凌纯 , 刘刚

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2009.06.002

本文通过对10MnNiCrMoV钢板板拉伸试验,研究了10MnNiCrMoV钢板在低温环境条件的防断及止裂性能.

关键词: 钢板 , 板拉伸 , 脆断 , 止裂

降低板坯连铸机的漏钢率

曾令宇

连铸

文章分析了韶钢板坯连铸机的主要漏钢类型和漏钢原因,介绍了控制铸机漏钢的主要措施。

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