黄朝红
,
肖敬忠
,
张庆礼
,
赵南京
,
王爱华
,
殷绍唐
,
余吟山
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2003.01.005
本工作采用二价Ca离子作为电荷补偿离子由提拉法生长出了具有高光学质量的调Q开关晶体Cr4+:YAG.所生长的晶体在空气中退火(1450℃)50小时后,晶体的颜色明显加深.吸收光谱测量表明晶体中的Cr4+离子浓度得到显著提高.在闪光灯泵浦的Nd:YAG激光器上对不同透过率、退火后的Cr4+:YAG晶体进行了被动调Q实验.结果表明所生长出的Cr4+:YAG晶体对Nd:YAG激光器具有很好的调Q作用.
关键词:
Cr4+:YAG
,
晶体生长
,
退火
,
被动调Q
,
灯泵Nd:YAG激光器
付加友
,
董伟伟
,
邵景珍
,
陶汝华
,
王效顺
,
余吟山
,
方晓东
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2011.02.007
液芯光纤作为一种新型的光能量传输媒介,有诸多显著的优点,着重介绍了液芯光纤相对于传统固体传光光纤束的优势.为了液芯光纤在紫外波段激光传输上的应用,对波长为308 nm和248 nm两种准分子紫外激光在液芯光纤中传输的能量透过率进行了实验研究,分析了单脉冲能量(1～5 mJ)、光波长(248 nm/308 nm)、平均功率(2～20 mW)等激光参数变化对准分子激光在液芯光纤中传输特性的影响,为液芯光纤应用于准分子激光传输提供了实验依据.
关键词:
纤维与波导光学
,
紫外激光传输特性
,
液芯光纤
,
准分子激光
冯瑜
,
王进祖
,
余吟山
,
徐之海
,
陆志贤
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2004.04.010
使用Nd:YAG激光器的倍频(0.532 μm)光泵浦BBO晶体光参量振荡器,使用一组腔片,获得0.7～2.1μm可调谐激光输出,并对实验结果进行了分析.
关键词:
非线性光学
,
光参量振荡器(OPO)
,
BBO晶体
,
角度调谐
黄德文
,
游利兵
,
梁勖
,
余吟山
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2009.01.007
针对光刻用准分子激光器的激励技术,利用拉普拉斯变换方程对脉冲变压器高压充电过程进行了分析,验证了耦合系数于与压缩高压充电时间的重要作用.耦合系数越接近于1,高压充电时间越短.介绍了充电电路与磁开关结合后完成快放电的过程,并提出了一种控制谐振充电的方法.实现了对高压电容50μs内的快充电.
关键词:
激光技术
,
脉冲升压式电源
,
拉普拉斯变换
,
高重复率
,
光刻
游利兵
,
周翊
,
梁勖
,
余吟山
,
方晓东
,
王宇
量子电子学报
doi:10.3969/J.issn.1007-5461.2010.05.002
193nm ArF准分子激光光刻技术已广泛应用于90 nm以下节点半导体量产.分析了近期发展用于改进准分子激光性能的关键技术:主振-功率再生放大(MOPRA)结构,主振-功率振荡(MOPO)结构,主动光谱带宽稳定技术,先进的气体管理技术.对光刻用准分子激光光源技术发展趋势进行了简要的讨论.
关键词:
激光技术
,
ArF准分子激光
,
光刻
,
双图形
赵家敏
,
游利兵
,
余吟山
,
方晓东
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2013.06.009
实用型大能量高功率准分子激光器广泛地应用于材料的加工及表面处理,介绍了其在液晶平板显示行业、太阳能光伏行业、半导体行业及汽车制造业的应用.分析了大能量高功率准分子激光器的关键技术,如大面积均匀放电技术,预电离技术,高压快脉冲激励技术以及为了得到更大的脉冲能量及功率输出而采用的双腔同步技术.
关键词:
激光技术
,
准分子激光
,
大能量
,
高功率
,
磁脉冲压缩
,
激光退火
