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HWCVD在玻璃衬底上沉积硅薄膜的研究

张俊丽 , 傅杰 , 郭小松 , 刘滨 , 谢二庆

材料导报

采用热丝化学气相沉积法在玻璃衬底上沉积硅薄膜,采用扫描电子显微镜、拉曼光谱分析表征样品的形貌和结晶性,较为系统地研究了硅烷浓度、衬底到热丝的距离对硅薄膜生长过程及各种性质的影响,结果表明,较高的衬底温度及较低的硅烷浓度有利于薄膜的结晶.

关键词: 热丝化学气相沉积 , 硅薄膜 , 硅烷浓度 , 衬底与热丝距离 , 衬底温度

基于神经网络的炭气凝胶孔结构的预测与优化模型研究

杨榛 , 乔文明 , 梁晓怿

新型炭材料 doi:10.1016/S1872-5805(17)60108-2

如何控制和预测孔结构是炭气凝胶研究的重要课题.然而,由于耗时耗,导致实验方法研究控制和预测孔结构成为难题.本文提出一种基于神经网络的炭气凝胶孔结构的预测与优化模型,并采用遗传算法设计和优化模型,对六种典型训练算法模型性能进行比较分析.利用该模型对孔径和吸附容量进行预测,两者的预测相关系数分别为0.992和0.981,预测均方根误差分别为0.077和0.054.经测试,该模型与实验研究的结果相符,并有效的应用于预测和控制炭气凝胶实验参数.

关键词: 炭气凝胶 , 孔结构 , 神经网络 , 训练算法 , 模型

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