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氧气对磁控溅射HfO2薄膜电学性能的影响

文婷 , 正堂 , 闫锋 , 田浩 ,

硅酸盐通报

采用射频磁控溅射法在无氧和有氧气氛下制备了HfO2薄膜.通过X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、傅立叶变换红外光谱(FTIR)、椭圆偏振光谱(SE)以及电容-电压(C-V)测试对薄膜的结构、成分、HfO2/Si界面和HfO2栅介质MOS结构的电学性能等进行了分析表证.结果表明,溅射过程中通入氧气后,薄膜出现了较明显的结晶化;薄膜的氧化程度得到提高,成分更接近理想化学计量比HfO2.在HfO2/Si界面处存在的SiO2界面层,有氧条件下界面层的厚度增大.氧气的通入改善了HfO2栅介质MOS结构的电学性能.

关键词: 射频磁控溅射 , HfO2薄膜 , 界面层 , 电学性能

Si掺杂正交相SrHfO3电子结构与光学性质的第一性原理计算

樊淼海 , 正堂 , 冯丽萍 ,

稀有金属材料与工程

采用基于密度泛函理论的平面波超软赝势方法研究了正交相SrHfO3和以Si替换Hf方式形成的掺杂态SrHfO3的形成能,几何结构,电子结构和光学性质.负的形成能表明在由单元素形成Si掺杂态的SrHfO3的反应中,Si占居Hf位置与Sr位置两种情况在能量上是有利的,并且Si原子更加倾向于占居Hf位置.纯的SrHfO3计算得到的晶格常数与文献报道的实验值和理论值是一致的,而Si占居Hf位置后会导致SrHfO3的晶格常数减小.能带结构显示在掺入Si原子后会使带隙变小.布居分析与电荷密度图一致,说明在Hf位置掺入Si后掺杂位置附近的Hf-O键以共价键为主,Sr-O键以离子键为主.最后,对Si掺杂后SrHfO3在(100)方向上的介电常数、反射率、吸收系数、折射率进行了计算与分析.

关键词: 第一性原理 , 电子结构 , 光学性质 , Si掺杂正交相SrHfO3

退火对栅介质SrHfON薄膜性能的影响

, 正堂 , 冯丽萍 , 田浩 , , 王雪梅

稀有金属材料与工程

采用射频磁控溅射法在Si衬底上制备新型栅介质SrHfON薄膜.采用X射线衍射(XRD)仪、高分辨透射电镜(HRTEM)和X射线光电子谱(XPS)分析退火对SrHfON薄膜的界面形态、薄膜的结构和电学性能的影响.结果表明,SrHfON薄膜经900℃退火后仍保持非晶态,表现出良好的热稳定性.SrHfON薄膜与Si衬底的界面主要由HfSixOy和SiO2组成.以SrHfON薄膜为栅介质的MOS电容结构具有较小的漏电流密度,并且漏电流密度随着退火温度的升高而减小.在外加偏压(Vg)为+1V时样品在沉积态和900℃退火后的漏电流密度分别为4.3× 10-6和1.2×10-7A/cm2.研究表明,SrHfON薄膜是一种很有希望替代SiO2的新型栅介质材料.

关键词: 栅介质 , SrHfON薄膜 , 射频磁控溅射

退火处理对Y2O3薄膜结构和光学性能的影响

闫锋 , 正堂 , 文婷 ,

材料导报

采用射频磁控溅射法以Y2O3陶瓷为靶材在单晶si(Ⅲ)和石英表面制备了Y2O3薄膜.利用X射线衍射(XRD)仪、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见(UV-VIS)光谱仪和傅立叶变换红外(FTIR)光谱仪对真空退火前后Y2O3薄膜的结构和光学性质进行了分析研究.结构研究表明,在200℃条件下制备的Y2O3薄膜为非晶态,经600℃退火后出现单斜相,经800℃退火后薄膜完全转化为立方多晶,同时得到了不同晶面的晶粒尺寸;沉积态的Y2O3薄膜由球状颗粒排列组成,经800℃真空退火后薄膜为柱状晶.光学性质研究发现,真空退火后Y2O3薄膜的红外透过率显著下降;使用Tauc作图法得到不同结晶条件下的光学带隙,发现薄膜的光学带隙与结晶条件有关,并且退火后薄膜的光学带隙明显减小.

关键词: Y2O3薄膜 , 晶体结构 , 退火处理 , 透过率 , 光学带隙

金刚石镀氧化钇增透膜系的设计与研究

, 正堂 , 闫锋

电镀与涂饰

为了提高金刚石的红外透过率,根据光干涉膜基础理论对薄膜增透进行了设计,获得了增透膜系的相关参数,并采用非规整设计中的彻底搜索法对所设计的膜系进行了增透效果分析.结果表明,在金刚石衬底上单面和双面镀Y_2O_3膜系后,透过率有明显提高.Y_2O_3膜系是性能优异的金刚石红外光学材料增透膜.

关键词: 金刚石 , 氧化钇 , 薄膜 , 射频磁控反应溅射 , 增透 , 红外透过率 , 设计

镀锌层绿色钝化

奚兵

腐蚀与防护 doi:10.3969/j.issn.1005-748X.2004.09.016

介绍由常规五酸草绿色钝化工艺改良的,以重铬酸钾为体系的镀锌绿色钝化工艺.

关键词: 镀锌层 , 绿色钝化 , 工艺配方

绿色隔热降温涂料的研究

杨万国 , 董秀彩 , 李少香 , 张波

涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2010.04.008

研究了空心玻璃微珠和纳米陶瓷材料等材料用量对绿色隔热降温涂料热性能的影响,通过对多种着色颜料及其复配体系反射率的研究,优选出反射率较好的几种颜料,用它们调制出的绿色降温涂料作为深色降温涂料具有较高的反射率,并且其他各项物理机械性能良好.

关键词: 隔热 , 降温 , 绿色 , 反射率 , 发射率

军用汽车哑光绿色面漆的研制

周荣华

电镀与涂饰

介绍了军用汽车哑光绿色面漆及其稀释剂的配制,着重探讨了军用汽车哑光绿色面漆的施工工艺,分析了热固性丙烯酸树脂、环氧树脂、氨基树脂和聚酯树脂,氨基比、消光粉、分散剂、防沉剂和稀释剂对军用汽车哑光绿色面漆性能的影响.结果表明,选用丁醚化三聚氰胺甲醛树脂作交联剂,氨基比为28.24:10.44时,面漆的综合性能最佳,满足技术指标要求.

关键词: 军用汽车漆 , 哑光 , 绿色面漆 , 消光粉 , 氨基比

帐篷用绿色热反射涂料的研究

杨万国 , 李少香 , 王文芳 , 来运 , 光烨

涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2008.09.006

以降低帐篷内的温度为研究目的,通过对乳液、颜料、反射填料等的研究制备了一种隔热性能和耐候性能良好的水性帐篷用绿色热反射涂料.该涂料涂装帐篷后可有效地降低帐篷表面温度10~12℃,降低帐篷内部温度6~8℃,同时兼具有防水、保温功能.

关键词: 帐篷 , 绿色 , 热反射涂料 , 乳液 , 反射填料 , 反射率

宗昌等《贝氏体铁素体的形核》一文

徐祖耀

材料热处理学报

文中,关于贝氏体形成机制,包括形核过程的文献很少被引述。作者(等)的主要论点为贝氏体铁素体以无扩散、非切变机制在奥氏体内贫碳区形核,并未引述形成贫碳区的必要条件。本文作者强调,在钢及铜合金中,不可能由Spinodal分解和位错偏聚形成贫溶质区。等的理念未得到先进理论观点和精细实验结果的支持。在文中,据此对临界核心大小和形核能的计算并无显著意义,期望青年学者对贝氏体相变机制作进一步研究。

关键词: 贝氏体形核 , 扩散机制 , 切变机制 , 贫碳区

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