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低介电常数含氟氧化硅薄膜的研究

丁士进 , 张卫 , 王鹏飞 , 张剑云 , , 王季陶

功能材料

综述了近十年来低介电常数含氟氧化硅薄膜的研究状况,详细介绍了该薄膜在化学键结构、热性质、湿稳定性以及介电常数四个方面的特性,同时也简单介绍了薄膜的台阶覆盖度、填隙能力和漏电流特性,指出含氟氧化硅薄膜是一种可用于集成电路中的极富应用前景的低介电常数材料.

关键词: 含氟氧化硅 , 薄膜 , 低介电常数 , 化学气相淀积

金刚石薄膜低压气相生长条件的理论预测

万永中 , 张卫 , , 王季陶

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.1998.02.001

基于非平衡热力学耦合模型计算得到三元体系中生长金刚石的等温、等压及竖直截面相图.这些相图中的金刚石生长区的形状和大小随温度、压力及氧含量等条件的改变而变化.高温时,金刚石生长区变小直至消失;中等温度时生长区最大;低温时又变小.压力的升高促使金刚石生长区变大.氧的加入总是引起需要更多的碳并使金刚石生长区向温度降低的方向移动.

关键词: 金刚石薄膜 , 相图 , 化学气相淀积 , 生长条件

金刚石低压气相生长的驱动力

张卫 , 万永中 , , 王季陶

金属学报

以CH4/H2体系为例,研究了气相生长金刚石和石墨的驱动力随温度和CH4的摩尔分数的变化情况若不考虑超平衡氢原子的作用,则石墨的生长驱动力总是大于金刚石的生长驱动力;如考虑超平衡氢原子的作用,则在一定的温度和CH4摩尔分数条件下,生长金刚石的驱动力将大于零且生长石墨的驱动力小于零。结果表明,此时气相中碳的化学势高于金刚石的化学势而低于石墨的化学势因此,气相中将只生长金刚石而不生长石墨,甚至出现金刚石生长的同时石墨被腐蚀的现象。

关键词: 金刚石 , vapor phase growth , chemical potential

固溶处理对Mg-4Y-2Nd-1Gd-0.4Zr镁合金组织和性能的影响

, 吴国华 , 文才 , 丁文江

材料热处理学报

通过金相观察、X射线衍射、扫描电镜和拉伸性能测试等方法,研究了不同固溶处理工艺对砂型铸造Mg-4Y-2Nd-1Gd-0.4Zr镁合金微观组织和力学性能的影响.结果表明:合金铸态组织主要由α-Mg基体和共晶Mg24Y5相组成,共晶相区域存在少量的方块相;固溶处理后,合金中方块相明显增多,且主要分布在晶界处;525℃×8h为合金的最佳固溶工艺;铸态与固溶态合金的室温拉伸断裂方式有所不同,铸态合金总体呈准解理断裂,而525℃×8h固溶处理后则为典型的穿晶解理断裂方式.

关键词: Mg-4Y-2Nd-1Gd-0.4Zr , 砂型铸造 , 固溶 , 显微组织

激活温度对C-H体系低压金刚石生长条件的影响

, 张卫 , 万永中 , 王季陶

无机材料学报

本文根据非平衡热力学耦合模型计算了不同激活温度下的金刚石生长相图,研究了不同激活温度下金刚石生长区的变化.激活温度升高,金刚石生长区变大,有利于生长金刚石.对干不同的衬底温度,随激活温度的升高,金刚石生长区的变化也有所不同.

关键词: 激活温度 , diamond , C-H system , phase diagram

碳—氢—氯体系金刚石薄膜生长条件预测

万永中 , 张剑云 , , 张卫 , 王季陶

材料研究学报

首次计算了碳—氢—氯体系中生长金刚石薄膜的相图,研究了该体系中金刚石生长区随衬底温度及氯含量变化的趋势,与实验结果符合较好计算结果表明,C—H—Cl系相图中金刚石生长区被限制在两个小三角形(CH4—H—HCl和CCh—HCl—Cl)中变化.可能生长金刚石薄膜的碳氢纪组分被严格地限制在金刚石生长区内,并随生长温度和压力等条件而变化.当气相中氯含量与氢的含量相近时,金刚石生长区趋于消失金刚石生长区为实验提供了选择和优化碳氢级组分、生长温度及压力的理论依据.

关键词: 金刚石 , film , thermodynamics , halogen

含氮体系CVD低压金刚石薄膜淀积条件

, 张卫 , 张剑云 , 万永中 , 王季陶

无机材料学报

根据非平衡热力学耦合模型理论首次计算得到了碳氢氮体系的金刚石生长的非平衡定态相图与近几年在国际上发表的该体系实验结果相符合,可以为今后的实验研究提供定量化的理论依据.根据理论相图讨论了系统压力和体系中氮的添加对金刚石薄膜淀积条件的影响.

关键词: 金刚石 , null , null , null , null

复合材料多隔板框梁结构的RTM工艺成型

, 闫超 , 罗辑 , 祝君军 , 漆松林

玻璃钢/复合材料

复合材料多隔板框梁结构复杂,内外形精度要求高,本文研究了采用树脂传递模塑成型(RTM)工艺实现该类结构的精确制造.介绍了RTM成型模具的设计、预制体的制备及其注胶工艺的改进,并讨论了它们对于RTM制件质量的影响.结果表明,整体线型注胶口利于大型复杂结构的树脂注胶;适当增大注胶压力,并进行保压,有利改善制件表面质量;控制预制体和树脂中的气泡有利改善制件内部质量;预制体转角区增加额外填充材料可以避免该区域的富树脂及其脱落引起的表面缺陷.最后对其力学性能进行了测试分析.

关键词: 多隔板框梁 , RTM , 流道

硅橡胶热膨胀法制作复合材料加筋面板

, 张艳芳 , 胡克伟 , 杨超

玻璃钢/复合材料 doi:10.3969/j.issn.1003-0999.2010.05.013

本文研究了采用硅橡胶热膨胀法制作复合材料加筋面板的工艺方法,对该法的基本原理进行了简单阐述,探讨了关键参数工艺间隙值的设定方法,并分析了工艺间隙对制件质量的影响,最终制备了优良的复合材料加筋面板结构试验件.

关键词: 硅橡胶 , 热膨胀 , 加筋面板

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