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环氧基紫外负性光刻胶的特性、应用工艺与展望

朱军 , , 张金娅 , 陈迪 , 石磊

高分子材料科学与工程

环氧基紫外负性光胶(SU-8)是一种近几年发展起来的新型的光胶材料.它是一种双酚A酚醛缩水甘油醚环氧树脂溶解于GBL(y-Butyrolactone)而形成的高分子有机聚合物胶体.SU-8胶作为一种光材料,由于其独特的光学性能,力学性能和化学性能等,在MEMS(Micro-electro-mechanic-system)研究领域正受到了越来越多的关注,目前已被广泛的应用于MEMS器件的制备中.本文介绍了它的结构性能以及发展前景并报道了我们在其加工工艺上的研究进展.

关键词: 环氧基紫外负性光刻胶 , 光刻 , MEMS , 微线圈 , 微弹簧

烷基卤去卤化酶对芥子气的催化水解

郭楠 , 董亮 , , 董志扬 , 钟近艺 , 孔令策

环境化学 doi:10.7524/j.issn.0254-6108.2015.07.2015011402

本文通过密码子优化、高效表达并纯化出三种烷基卤去卤化酶DhaA、DmbA与LinB,评价了它们对芥子气的水解效率,分析并优化了酶促水解过程中需要调控的机制.通过实验,最终确定了活性成分为DhaA,缓冲剂为HEPES-NaOH,助溶剂为丙三醇的芥子气高效生物酶洗消体系,使用高效液相色谱质谱确定该体系的洗消产物为无毒硫二甘醇.酶活实验及对芥子气的消毒效果评价结果表明:该洗消体系对芥子气的最佳水解pH值为8.6,kcat/Km值为9.6s-1mmol·L-1,是国外同类水解酶的1.7倍,水解速率为自然水解速率的320倍,对10 mg·mL-1芥子气的水解率从27.4%提高至93.2%,较好解决了高浓度芥子气高效水解脱毒问题.

关键词: 烷基卤去卤化酶 , 芥子气 , 催化水解

面向未来需求的细间距电化学沉积金凸点工艺

靖向萌 , 陈迪 , 黄闯 , 陈翔 , ,

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.035

研究了电化学沉积金凸点的晶圆级直径和厚度分布及表面粗糙度随电镀电流密度和镀槽温度的变化.电化学沉积的金凸点在整个晶圆上的各个位置和方向上直径都增大了.当在40℃下电镀时,金凸点的直径分布与光刻胶的分布规律相似;而电镀温度为60℃时,金凸点的直径分布更倾向于对称分布.其次,当镀槽温度从40℃提高到60℃或者电镀电流密度从8 mA/cm2降低到3mA/cm2时,金凸点的厚度分布更加均匀.再次,60℃下电镀的金凸点表面粗糙度为130到160纳米并与电镀电流密度无关,但是在40℃下电镀时,表面粗糙度随着电镀电流密度的增加从82 nm急剧增加到1572 nm.

关键词: 金凸点 , 电镀 , 晶圆级封装

圆盘型非接触超声波马达定子的振动模拟与测试

杨斌 , , 周广华 , 陈迪 , 方华斌 , 蔡炳初

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.03.019

介绍一种圆盘型非接触超声波马达的结构.利用有限元法计算了超声波马达定子在不同振动模态下的固有频率,并用激光测振仪对定子进行了测试,结果两者吻合较好.由于振幅和非接触马达的声辐射压力密切相关,因此通过谐响应分析计算了定子的振幅与定子驱动电压的关系,从而为马达的实验研究提供了理论依据.在最优模态B21下进行转子转速测试,测得最高转速为1600rpm.

关键词: 非接触马达定子 , 有限元模拟 , 振型 , 振幅

改性SU8光刻胶的光学特性及其工艺

朱军 , 蒋宏民 , 陈翔 , 陈迪 ,

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.03.009

通过改变SU-8光刻胶中PAG浓度获得含不同PAG浓度的各种改性SU-8光刻胶,在对其光学性能以及最小曝光剂量的测定基础上研究改性SU-8光刻胶的光刻工艺,借助于改性SU-8光刻胶的合理设计以及背面曝光和正面曝光的结合应用提高多元材料复杂结构的集成制造能力.

关键词: 最小曝光剂量 , PAG , 集成制造

宗昌等《贝氏体铁素体的形核》一文

徐祖耀

材料热处理学报

文中,关于贝氏体形成机制,包括形核过程的文献很少被引述。作者(等)的主要论点为贝氏体铁素体以无扩散、非切变机制在奥氏体内贫碳区形核,并未引述形成贫碳区的必要条件。本文作者强调,在钢及铜合金中,不可能由Spinodal分解和位错偏聚形成贫溶质区。等的理念未得到先进理论观点和精细实验结果的支持。在文中,据此对临界核心大小和形核能的计算并无显著意义,期望青年学者对贝氏体相变机制作进一步研究。

关键词: 贝氏体形核 , 扩散机制 , 切变机制 , 贫碳区

汝官瓷、张公巷窑青瓷和家门窑青瓷的判别分析研究

蔡敏敏 , 李国霞 , 赵维娟 , 李融武 , 赵文军 , 承焕生 , 郭敏

硅酸盐通报

利用质子激发X射线荧光分析(PIXE)测试分析汝官瓷、张公巷窑青瓷和家门窑青瓷样品的主要化学组成,用多元统计判别分析方法对数据进行分析,以确定它们的分类和起源关系.结果表明:汝官瓷、张公巷窑青瓷和家门窑青瓷釉基本能很好的区分;但是胎区分得不是很理想,张公巷窑青瓷的胎可以和汝官瓷、家门窑青瓷胎很好的区分,汝官瓷胎和家门窑青瓷胎有个别样品不能分开.

关键词: 汝官瓷 , 张公巷窑青瓷 , 家门窑青瓷 , 判别分析

汝官瓷、钧官瓷和家门窑青瓷的多元统计分析

肖朋飞 , 赵红梅 , 李融武 , 赵文军 , 李国霞 , 赵维娟 , 承焕生

硅酸盐通报

本文采用质子激发X射线荧光分析(PIXE)技术测试了34个汝官瓷样品、30个蓝色系列钧官瓷样品(不含红釉系列)和17个家门窑青瓷样品的主量化学组成含量,根据这些样品的主量化学组成含量数据,应用多元统计分析方法进行分析.结果表明:汝官瓷、钧官瓷和家门窑青瓷的釉样品能够较好的区分开;但是3种瓷胎并不能很好的分开.

关键词: 汝官瓷 , 钧官瓷 , 家门窑青瓷 , PIXE , 因子分析

基于InSAR时序形变的矿区盆地沉降时空演化规律分析

杨泽发 , 易辉伟 , 朱建军 , 李志伟 , 苏军明 ,

中国有色金属学报

利用10ALOS PALSAR影像获取山西云冈某矿区在2007年7月1日至2009年1月3日的地表时序沉降值,并使用Logistic模型拟合该矿区盆地时序沉降.结果表明:通过交义验证Logistic模型估计参数预测的时序沉降与InSAR监测值后发现,两者吻合较好,且其平均均值和均方根误差分别为-0.4和2.5 cm,表明在整个下沉盆地内,各点的动态沉降均符合“S”型增长,且Logistic模型能较好地描述该过程.统计该矿区盆地Logistic模型形状参数a和b后,发现参数a和b分别服从Weibull分布和随机分布,且其数值变化较大,表明利用少量离散地表监测数据拟合的Logistic模型参数预测的盆地动态沉降结果可靠性不高.最后,利用盆地Logistic模型估计参数预测了该矿区2009年2月18日的地表沉降值,该值与InSAR监测结果吻合较好,均方根误差为2.15cm.

关键词: InSAR时序形变 , 开采沉陷 , 时空演化 , Logistic模型 , 遗传算法 , Levenberg-Marquard算法

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