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Pb1-xSrxSe薄膜材料的微结构和光学特性

王擎雷 , 吴惠桢 , 斯剑霄 , 徐天宁 , 夏明龙 , 谢正生 ,

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.01108

采用分子束外延的方法在BaF2衬底(111)上制备出了高质量的Pb1-xSrxSe (0≤ x≤0.050)薄膜. X射线衍射结果表明, Pb1-xSrxSe 薄膜为立方相NaCl型晶体结构, 没有观察到SrSe相分离现象, 薄膜的取向为平行于衬底(111)晶面. 薄膜晶格常数随Sr含量的增加逐渐增大, Sr含量由Vegard公式得到. 再用理论模拟Pb1-xSrxSe 薄膜透射光谱的方法得到了相应的带隙. 最后通过介电函数模型拟合得到了PbSe和Pb1-xSrxSe 薄膜在光子能量位于基本带隙附近的折射率n和吸收系数α.

关键词: Pb1-xSrxSe 外延薄膜 , transmission spectrum , refractive index , absorption coefficient

Pb1-xSrxSe薄膜材料的微结构和光学特性

王擎雷 , 吴惠桢 , 斯剑霄 , 徐天宁 , 夏明龙 , 谢正生 ,

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324x.2007.06.018

采用分子束外延的方法在BaF2衬底(111)上制备出了高质量的Pb1-xSrxSe(0≤x≤0.050)薄膜.X射线衍射结果表明,Pb1-xSrxSe薄膜为立方相NaCl型晶体结构,没有观察到SrSe相分离现象,薄膜的取向为平行于衬底(111)晶面.薄膜晶格常数随Sr含量的增加逐渐增大,Sr含量由Vegard公式得到.再用理论模拟Pb1-xSrxSe薄膜透射光谱的方法得到了相应的带隙.最后通过介电函数模型拟合得到了PbSe和Pb1-xSrxSe薄膜在光子能量位于基本带隙附近的折射率n和吸收系数α.

关键词: Pb1-xSrxSe外延薄膜 , 透射光谱 , 折射率 , 吸收系数

GaAs/AlAs DBR的GSMBE优化生长及表征

谢正生 , 吴惠桢 , , 刘成 , 曹萌

稀有金属材料与工程

采用气态源分子束外延(GSMBE)技术优化生长了GaAs/AlAs分布布拉格反射镜(DBR)材料,并用X射线衍射(XRD)及反射光谱对其生长质量进行了表征.结果表明,采用5 s间断生长的GaAs/AlAs DBR材料质量和界面质量优于无间断生长,并且10对GaAs/AlAs DBR的质量优于30对,说明DBR对数越多,周期厚度波动越大,材料质量越差.优化生长得到的30对GaAs/AlAs DBR的反射率大于99%,中心波长为1316 nm,与理论设计结构的模拟结果基本一致,可用作1.3 μm垂直腔面发射激光器(VCSEL)直接键合的反射腔镜.

关键词: 分布布拉格反射镜 , 气态源分子束外延 , X射线衍射 , 反射谱

气态源分子束外延1.3μm VCSEL器件结构

刘成 , 吴惠桢 , , 黄占超 , 曹萌

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.02.010

采用气态源分子束外延(GSMBE)技术在InP(100)衬底上生长了InAsP/InGaAsP应变补偿量子阱为有源层和InP/InGaAsP分布布拉格反射镜(DBR)为上、下腔镜的垂直腔面发射激光器(VCSEL)结构.通过湿法刻蚀和聚酰亚胺隔离工艺制作出了1.3μm VCSEL,器件在室温下可连续单模激射,阈值电流约为4mA.实验测得的VCSEL结构反射光谱包括高反射带和腔模等参数与传递矩阵法拟合的反射光谱相符合;边发射电致发光谱的增益峰与腔模位置一致.

关键词: 垂直腔面发射激光器 , 气态源分子束外延 , 光电特性

离子注入在1.3μm面发射激光器结构中的应用

刘成 , 曹春芳 , , 曹萌 , 谢正生 , 吴惠桢

功能材料

研究了H+离子注入对InP材料和1.3μm面发射激光器结构的电学、光学性能的影响.当离子注入后InP表面电学特性退化,在300℃以上退火后,材料表面回复较好,H+离子注入区电阻率约为InP体材料的104倍.接着,将离子注入工艺应用于1.3μm面发射激光器结构电流限制孔径的制作,通过比较电学特性得出450℃的最佳退火温度,并发现高温退火后电致发光强度增强.

关键词: 垂直腔面发射激光器 , 离子注入 , 退火

用于1.44 μm半导体激光器的GaInAs/InGaAsP量子阱结构的设计

, 吴惠桢

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2004.03.017

采用有效质量模型下的4×4 Luttinger-Kohn哈密顿量矩阵对GaxIn1-xAs/In0.80Ga0.20As0.44P0.56/InP量子阱结构进行了能带计算,求得了该量子阱结构跃迁能量随组份及阱宽的变化关系,从而得到了激射波长1.44 μm时的Ga组份x与阱宽Lw(在5~10 nm内取值)的相互关系: x=0.32013+0.06093Lw-0.00534 Lw2 + 0.00017483 Lw3,当阱宽为5~10 nm,因而Ga组份为0.51~0.57时,阱材料中产生的张应变量为: 0.29%~0.70%.最后,我们计算了该量子阱结构的能量色散关系和光增益谱,从而对x与Lw组合值进行优化.

关键词: 半导体激光器 , 量子阱结构 , 应变 , 光增益谱

立方相MgxZn1-xO纳米晶体薄膜的物理特性

吴惠桢 , 梁军 , , 陈乃波 , 徐天宁 , 邱东江

功能材料

介绍了在Si衬底和石英玻璃衬底上生长的立方相MgxZn1-xO(0.55≤x≤1)晶体薄膜的物理特性,AFM和XRD等微结构特性表征显示了良好的表面形貌和高度的(111)取向生长特性.采用Manifacier方法,根据透射光谱中的干涉峰,计算得到立方相MgxZn1-xO薄膜的折射率.与已报道的六方相MgxZn1-xO(0≤x≤0.5)薄膜的折射率相类似,在400~800nm的可见光区域,不同Mg含量的立方相MgxZn1-xO薄膜,其折射率随入射波长的色散关系遵循一阶Sellmeier方程.对给定400nm的入射光波长,当薄膜中的Mg含量由55%增至100%时,其折射率由1.89衰减至1.73.

关键词: 立方相MgxZn1-xO薄膜 , 微结构 , 光学特性

低温Au-In-Au金属键合及其在VCSELs制作中的应用

谢正生 , 吴惠桢 , , 刘成 , 曹萌

金属学报

本文研究了Au-In-Au低温金属键合技术,并把它应用到长波长垂直腔面发射激光器(VCSEL)器件结构的制作中。利用该低温金属键合技术不仅有利于提升器件的热学性能,而且有利于提高VCSEL结构中分布布拉格反射腔镜(DBR)的反射率。实验结果表明,InP基外延半腔VCSEL结构成功地在200 ℃金属键合到Si衬底上,键合强度高,键合质量达到了VCSEL器件工艺制作要求。对键合样品光学特性的分析表明,低温金属键合过程不影响量子阱有源区及DBR的光学性质,这对VCSEL器件结构的制作是有利的。这种低温金属键合技术,有望应用在许多半导体光电器件的制作中。

关键词: 低温金属键合 , vertical cavity surface emitting laser , null

低温Au-In-Au金属键合及其在VCSELs制作中的应用

谢正生 , 吴惠桢 , , 刘成 , 曹萌

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2007.03.008

研究了Au-In-Au低温金属键合技术,并把它应用到长波长垂直腔面发射激光器(VCSEL)器件结构的制作中.利用该技术不仅有利于提升器件的热学性能,而且有利于提高VCSEL结构中分布Bragg反射腔镜(DBR)的反射率.实验结果表明,InP基外延半腔VCSEL结构成功地在200℃低温下金属键合到Si衬底上,键合强度高,键合质量达到了VCSEL器件工艺制作要求.对键合样品光学特性的分析表明,低温金属键合过程不影响量子阱有源区及DBR的光学性质,这对VCSEL器件结构的制作是有利的.这种低温金属键合技术,有望应用在许多半导体光电器件的制作中.

关键词: 低温金属键合 , 垂直腔面发射激光器 , 反射谱 , 光致荧光谱

广西康密锰铁高炉鼓风脱湿实践

罗耀坤

钢铁

鼓风湿度增加是锰铁高炉夏秋两季生产指标变差的根本原因.广西康密锰铁高炉鼓风脱湿的实践证明:鼓风脱湿对节焦、增产、提高回收率、降低成本具有显著作用.国内组装的脱湿装置能够满足锰铁高炉脱湿工艺的要求.

关键词: 锰铁高炉 , 脱湿鼓风

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