欢迎登录材料期刊网

材料期刊网

高级检索

  • 论文(1610)
  • 图书()
  • 专利()
  • 新闻()

原子层淀积制备金属氧化物薄膜研究进展

, 徐敏 , 张剑云 , 陈玮 , 任杰 , 张卫 , 王季陶

功能材料

原子层淀积(ALD)技术作为一种先进的薄膜制备方法近年来越来越得到重视,它能精确地控制薄膜的厚度和组分,实现原子层级的生长,生长的薄膜具有很好的均匀性和保形性,因而在微电子和光电子等领域有广泛的应用前景.本文综述了ALD技术的基本原理,及其在金属氧化物薄膜制备上的研究进展.

关键词: 原子层淀积(ALD) , 金属氧化物薄膜 , 高k材料

原子层淀积 Al2O3薄膜的热稳定性研究

, 徐敏 , 丁士进 , 任杰 , 张卫

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.01217

以Al(CH3)3和H2O为反应源, 在270℃用原子层淀积(ALD)技术在Si衬底上生长了Al2O3薄膜. 采用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)和傅立 叶变换红外光谱(FTIR)等分析手段对Al2O3薄膜的热稳定性进行了研究. 结果表明刚淀积的薄膜中含有少量Al--OH基团, 高温退火后, Al--OH基团几乎消失, 这归因于Al--OH基团之间发生反应而脱水. 退火后的薄膜中O和Al元素的相对比例(1.52)比退火前的(1.57)更接近化学计量比的Al2O3. FTIR分析表明, 在刚淀积的Al2O3中有少量的--C 3存在, --CH3含量会随热处理温度的升高而减少. 此外, 在高温快速热退火后, Al2O3薄膜的表面平均粗糙度(RMS)明显改善, 900℃热退火后其RMS达到1.15nm.

关键词: Al2O3薄膜 , atomic layer deposition , X-ray photoemission spectroscopy (XPS)

原子层淀积Al2O3薄膜的热稳定性研究

, 徐敏 , 丁士进 , 任杰 , 张卫

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2006.05.031

以Al(CH3)3和H2O为反应源,在270℃下用原子层淀积(ALD)技术在Si衬底上生长了Al2O3薄膜.采用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)和傅立叶变换红外光谱(FTIR)等分析手段对Al2O3薄膜的热稳定性进行了研究.结果表明刚淀积的薄膜中含有少量Al-OH基团,高温退火后,Al-OH基团几乎消失,这归因于Al-OH基团之间发生反应而脱水.退火后的薄膜中O和Al元素的相对比例(1.52)比退火前的(1.57)更接近化学计量比的Al2O3.FTIR分析表明,在刚淀积的Al2O3中有少量的-CH3存在,-CH3含量会随热处理温度的升高而减少.此外,在高温快速热退火后,Al2O3薄膜的表面平均粗糙度(RMS)明显改善,900℃热退火后其RMS达到1.15nm.

关键词: Al2O3薄膜 , 原子层淀积(ALD) , X射线光电子能谱(XPS)

改良聚酰胺吸附-高效毛细管电泳内标法测定饮料中的蓝和苋菜

闫正 , 李盈辰 , 张玉

色谱 doi:10.3724/SP.J.1123.2010.01185

以日落黄为内标物,建立了碳酸饮料中蓝和苋菜的高效毛细管电泳内标测定方法.毛细管有效长度40 cm,内径75 μm,分离电压20 kV,进样量14 kPa×3 s,室温下分离,缓冲溶液为10 mmol/L 磷酸氢二钠(pH 8.56),检测波长390 nm.蓝与苋菜的相对校正因子分别为 0.8329(相对标准偏差(RSD)为3.3% )和 1.2253(RSD为2.6% );定量限(S/N=10)分别为1.629 mg/L 和4.160 mg/L;回收率分别为97.87% ~102.1%(RSD为1.8% )和94.07% ~103.8%(RSD为4.1% );方法的精密度分别为3.2%和2.0% .对样品预处理的优化使该法更适用于碳酸类饮料中蓝和苋菜的高效毛细管电泳分析.以样品空白为基液进行内标法定量测定,基本上消除了背景带来的系统误差.将该方法应用于实际样品的测定,结果准确.

关键词: 高效毛细管电泳 , 内标法 , , 苋菜 , 饮料

镍镀层的脆性问题

袁诗璞

电镀与涂饰

总结了镍镀层脆性的一般规律,给出了用以判断镍镀层脆性的简单方法,讨论了分别由内应力、异种阳离子引入及有机杂质夹杂所引起的脆性问题.强调了正确采用并补加添加剂的重要性,分析了对镀液盲目进行大处理的不良后果,指出了采用活性炭吸附有机杂质时应注意的问题.

关键词: 镍镀层 , 脆性 , 内应力 , 光亮剂 , 杂质 , 活性炭 , 吸附

基于蓝为显色剂的高酸度试纸

赫春香 , 王微 , 霍春宝 , 高峰

应用化学 doi:10.11944/j.issn.1000-0518.2015.10.150056

研究了色素蓝对氢离子浓度大于1 mol/L溶液的颜色响应及其变色机理,并将其作为显色剂应用于高酸度试纸的研发.研究表明,固定于改性基纸上的蓝处于氢离子浓度为0.1~9.0 mol/L范围的介质溶液中时,其颜色变化表现出明显的酸度响应特征,即随着溶液酸度的提高,蓝逐渐由蓝色转化为蓝绿色、绿色、黄绿色直至黄色.该响应具有普适性,不受无机酸的种类与氧化性强弱的影响.采用分光光度法研究了溶液酸度对蓝光吸收特性的影响,提出其可能的变色机理.以蓝为显色剂开发出高酸度试纸,该试纸可以直接检测溶液中0.1~9.0 mol/L范围内的氢离子平衡浓度,精确度为±1 mol/L.

关键词: , 酸度响应 , 高酸度试纸 , 变色机理

汉代含“银灰”钱币的锈蚀产物

贾松 , 刘成

腐蚀与防护 doi:10.11973/fsyfh-201701017

采用超景深三维显微镜和扫描电镜(SEM)对汉代含“银灰”钱币锈蚀产物进行显微观察,并通过电子能谱、X射线粉末衍射和X射线荧光光谱等手段,对钱币本体、银灰层及其他锈蚀产物进行了研究,利用离子色谱法对钱币的包裹土进行了分析.确定钱币表面的锈蚀物主要为Cu2S(银灰色)、Cu2O(红褐色)、Cu2(OH)2CO3(绿色)和PbCO3(白色),探讨了含银灰钱币锈蚀结构的形成机理.

关键词: 汉代钱币 , 银灰亮光泽 , 锈蚀结构 , 形成机理

钢球表面磷化着黑色的工艺研究

周元贵 , 张黔

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2005.02.010

成品轴承钢球表面的磷化膜一般较粗糙,为此,对含硝酸钡的磷化液在钢球表面获得黑色磷化膜的配方进行了试验研究.结果表明,成分为30 g/L Ba(NO3)2,10 g/L Zn(H2PO4)2,15 g/L Zn(NO3)2的磷化液,在磷化温度80~85 ℃,磷化时间10 min的条件下可在钢球表面获得膜厚为2 μm的黑色磷化膜,膜层抗CuSO4点蚀时间大于2 min.

关键词: 磷化 , 轴承钢球 , 着色

冷轧产品表面带类缺陷成因及预防措施

王畅 , 徐海卫 , 任群 , 李飞 , 朱国森

物理测试

冷轧板最主要的质量问题就是表面缺陷,带缺陷是目前首钢冷轧板最为常见的表面问题。通过研究不同带表面缺陷形貌及带处缺陷形貌、发生规律、元素构成、以及全流程缺陷的遗传性,分析了首钢冷轧带缺陷的主要原因,包括连铸坯皮下夹渣、皮下气泡、氧化铁皮压入以及辊印等因素。

关键词: 冷轧板 , 带缺陷 , 夹杂物 , 氧化铁皮

铝合金表面着黑色的研究

程蔚 , 陈日耀 , 郑曦 , 陈震

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2000.06.002

以循环伏安法研究了锡、铜、镍离子在电解着色条件下的电化学行为,实验结果表明,当锡、铜、镍离子共存于电解质溶液中,以交流电作电解电源时,锡、铜将优先于镍沉积于铝合金表面上,形成黑色的坚实膜层,电沉积10 min,膜层厚度大于4 μm.以扫描电镜分析了膜层的表面形貌,用X-射线电子能谱分析了膜层的成分及锡、铜在膜层中的相对含量.

关键词: 铝合金 , 电解着色 , 氧化膜 , 硫酸盐电解液

  • 首页
  • 上一页
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • 5
  • 下一页
  • 末页
  • 共161页
  • 跳转 Go

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词