黎午升
,
惠官宝
,
崔承镇
,
史大为
,
郭建
,
孙双
,
薛建设
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20142904.0544
实现高PPI(单位面积像素个数),需要更细的线宽和更窄的间距,这往往受到光刻设备解像力的限制,本文对基于不改造镜像投影曝光设备而提高光刻解像力进行研究.用半导体工艺模拟以及器件模拟软件模拟分析了离焦量为0时,相位移掩膜和传统掩膜下2.5 μm等间隔线的光强分布.根据设备参数模拟分析离焦量为15、30 μm时通过掩膜得到的光刻间距情况,最后,实际比较测量了相同条件下各自曝光剂量范围和切面坡度角.实验结果表明:相位移掩膜能使镜像投影曝光机分辨力以下间距(线宽)的工艺容限增大1倍,并使相应曝光量下间距(线宽)的分布更集中,从而增加细线化的稳定性.使用相位移掩膜能提高镜像投影曝光机的解像力.
关键词:
相移掩膜
,
等间隔线
,
模拟
,
曝光容限
,
解像力
曲连杰
,
郭建
,
史大为
,
陈旭
,
闵泰烨
,
杨莉
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20153002.0246
为了满足市场对显示产品高分辨率的要求，需要从产品的设计和工艺各个方面进行优化，其中过孔尺寸和线宽两个因素对阵列基板分辨率影响最大，本文通过相移掩模技术可以实现对过孔尺寸的精确控制，通过在普通过孔上增加一定厚度和透过率的相移层，并对各种参数下过孔的光透过率进行模拟分析，可以获得不同相移层参数对过孔特性的影响，最后提出一种可以获得稳定微小过孔的方法。结果表明，通过对相移层透过率和宽度的控制，可以获得对曝光光强不敏感的稳定微小过孔，曝光量增大一倍乃至数倍的过程中，过孔尺寸始终保持稳定，提高了工艺容忍度。对于模拟中过孔尺寸可以小于设备的4μm 分辨极限。通过减小过孔尺寸，可以有效提升 TFT 显示产品的开口率，实现产品对高分辨率的要求。
关键词:
薄膜晶体管液晶显示器
,
过孔
,
高分辨率
童景山
,
柯红缨
工程热物理学报
本文简单地阐述了物理科学的发展电,在19世纪末期,物珲科学已经有相当发展,并形成了三个科学分支--研究物体运动,有牛顿力学;研究物质热运动,有热力学和统计力学;研究电磁波和光波,有电动力学,可是,这三种经典力学在20世纪初面临着新的挑战(困难),从而,相应地产生了三种新的基础理论,即狭义相对论,广义相对论;聚集理论,聚集力学;量子理论,量子力学,具体实践表明,它们在解决新的难题方面都取得很大成功.
关键词:
物理科学
,
分子聚集理论
,
聚集力学
郭可信
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2001.03.001
Faraday进入皇家学院(Royal Institutio n)后,在1820-1822年间从事包括铜、镍、铬及贵金属在内的合金钢研究,尽管未发展出有实际用途的钢种,也可算是合金钢研究的先驱.1856年转炉炼钢法出现后,钢产量猛增,Mu sh et高碳高钨自淬火刀具钢应运而生(1868),逐渐发展成18\|4\|1高速钢(1906).Hadfield在 1882年研制出高碳高锰奥氏体耐磨钢,成分至今未变.他还研制出硅钢片,并在1903年制出第一台铁损小的变压器.Brearley在1913年研制出低碳高铬(1Cr13)马氏体不锈钢,在这之后,铬镍奥氏体不锈钢才问世.本世纪初汽车工业的兴起,促进了合金结构钢的发展(合金钢牌号前面冠以SAE就是美国汽车工程师学会的缩写),而两次世界大战都伴随有合金钢的产量及品种的大发展.
关键词:
金相
,
历史
,
合金钢
温靖邦
,
吴元康
电镀与涂饰
列举了古代汉语中有“镀”含义的汉字,概述了鋈白铜、鎏镀金/银等中国古代金属镀工艺的发展历史,分析了相关理论并比较了它们的镀层特征.探究了2件战国时期青铜器的制作过程,以说明热镀锡工艺在中国古代的应用.
关键词:
青铜器
,
鎏镀
,
热镀
,
金
,
银
,
锡
,
富锡铜
