熊伟
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储向峰
,
董永平
,
毕磊
,
叶明富
,
孙文起
人工晶体学报
本文制备了几种含不同磨料(SiC、Al2O3不同粒径SiO2)的抛光液,通过纳米粒度仪分析磨料粒径分布,采用原子力显微镜观察磨料的粒径大小.研究了不同磨料对蓝宝石晶片化学机械抛光(CMP)的影响,利用原子力显微镜检测抛光前后蓝宝石晶片表面粗糙度.实验结果表明,在相同的条件下,采用SiC、Al2O3作为磨料时,材料去除速率与表面粗糙度均不理想；而采用含1％粒径为110 nm SiO2的抛光液,材料的去除速率最高为41.6 nm/min,表面粗糙度Ra=2.3 nm；采用含1％粒径为80 nm SiO2的抛光液,材料的去除速率为36.5 nm/min,表面粗糙度最低Ra=1.2 nm.
关键词:
蓝宝石
,
化学机械抛光
,
去除速率
,
表面粗糙度
,
磨料
王婕
,
储向峰
,
董永平
,
白林山
,
叶明富
,
孙文起
稀有金属材料与工程
研究了抛光液中H2O2和水杨酸浓度对钌的抛光速率的影响.采用电化学方法和X射线光电子能谱分析了H2O2和水杨酸对金属钌腐蚀效果的影响;采用原子力显微镜观察钌表面的微观形貌.结果表明:水杨酸浓度的增加有利于金属钌表面钝化膜的形成,抛光速率值随之增加;随着H2O2浓度的不断增加,抛光速率不断增加,当H2O2质量分数大于3％时,抛光速率值随浓度的增加而降低.抛光后的金属钉表面平均粗糙度Ra为7.2 nm.
关键词:
钌
,
化学机械抛光
,
水杨酸
陈同云
,
朱小华
,
储向峰
,
葛秀涛
,
董永平
,
叶明富
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2012.11780
通过溶剂热法(无水乙醇)制备了Cu2+(0~6mol%)掺杂ZnO纳米棒粉体, 采用X射线衍射仪和扫描电镜对掺杂ZnO纳米粉体的晶体结构和微观形貌进行了表征. 研究了Cu2+掺杂比例、溶剂热反应温度及时间对材料气敏性能的影响; 考察ZnO(120℃, 10 h)和3mol% Cu2+掺杂ZnO(120℃, 10 h)粉体对应元件对甲醛、乙酸、甲苯、乙醇、丙酮、三甲胺等六种气体的气敏性能. 结果表明: 通过溶剂热法制备的ZnO粉体为纳米棒状结构, 棒长度和直径随Cu2+掺杂比例不同发生变化; 3mol% Cu2+掺杂ZnO(120℃, 10 h)样品对应元件对低浓度乙醇有很好的选择性, 在395℃工作温度下对1×10–3乙醇的灵敏度为380.5, 响应恢复时间分别为5 s和40 s, 对1×10–6乙醇的灵敏度可达4.2.
关键词:
ZnO; 纳米棒; 气敏性能
熊伟
,
储向峰
,
白林山
,
董永平
,
叶明富
表面技术
概述了化学机械抛光作用机制,着重阐述了3种常见衬底(α-Al2O3,SiC,Si)的化学机械抛光现状,主要从抛光工艺参数和抛光液组成(不同磨料、磨料粒径、氧化剂、络合剂、pH值等)对晶片抛光效果的影响展开研究,并指出了目前化学机械抛光存在的问题,进一步展望了LED衬底化学机械抛光的发展前景.
关键词:
衬底材料
,
化学机械抛光
,
抛光工艺
,
抛光浆料
陈同云
,
朱小华
,
储向峰
,
葛秀涛
,
董永平
,
叶明富
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2012.11780
通过溶剂热法(无水乙醇)制备了Cu2+(0～6mol％)掺杂ZnO纳米棒粉体,采用X射线衍射仪和扫描电镜对掺杂ZnO纳米粉体的晶体结构和微观形貌进行了表征.研究了Cu2+掺杂比例、溶剂热反应温度及时间对材料气敏性能的影响;考察ZnO(120℃,10 h)和3mol％ Cu2+掺杂ZnO(120℃,10h)粉体对应元件对甲醛、乙酸、甲苯、乙醇、丙酮、三甲胺等六种气体的气敏性能.结果表明:通过溶剂热法制备的ZnO粉体为纳米棒状结构,棒长度和直径随Cu2+掺杂比例不同发生变化;3mo1％ Cu2+掺杂ZnO(120℃,10 h)样品对应元件对低浓度乙醇有很好的选择性,在395℃工作温度下对1×10-3乙醇的灵敏度为380,5,响应和脱附时间分别为5s和40 s,对1×10 6乙醇的灵敏度可达4.2.
关键词:
ZnO
,
纳米棒
,
气敏性能
徐乃欣
,
J.L.Dawson
,
G.E.Thompson
,
G.C.Wood
中国腐蚀与防护学报
利用富里叶级数展开作谐波数据处理同样可以同时测定腐蚀体系的瞬时腐蚀速度和塔菲尔斜率。富里叶级数的系数可以用计算机算出。这一方法对于激励正弦波信号的幅值大小没有任何限制。富里叶级数展开法的优点是,在较大的交流激励信号之下,相应的二次和三次谐波成份容易被精确地测出。利用适当的计算机程序,把富里叶级数展开和多元联立方程求解两个子程序结合起来,可以根据实验测得的最初三个谐波成份计算出腐蚀系统的腐蚀电流、阳极塔菲尔斜率和阴极塔菲尔斜率。这些理论考虑用0.5NH_2SO_4中的碳钢作了实验验证。
关键词:
张来新
,
朱海云
合成材料老化与应用
简要介绍了罗丹明化合物的结构特征、合成、特性及应用，重点介绍了：①新型罗丹明类荧光探针的合成与性能研究；②新型罗丹明及香豆素类荧光探针的合成及其对金属离子的识别。并对罗丹明化学的发展进行了展望。
关键词:
罗丹明
,
合成
,
应用
陈培
,
刘润龙
,
朱丹
,
江林
,
郎林
,
冯景伟
,
袁守军
环境化学
doi:10.7524/j.issn.0254-6108.2015.01.2014042802
通过溶胶凝胶法制备载钛活性炭纤维（ TiO2?ACF）复合材料，采用X射线衍射仪（ XRD）、扫描电子显微镜（ SEM）、紫外?可见吸收（ UV?Vis）、傅里叶红外分光光度计（ FT?IR）、X射线光电子能谱（ XPS）对TiO2?ACF进行了表征，并研究了TiO2?ACF对水中罗丹明B 的光催化性能．结果表明，煅烧温度为400—600℃时，负载在ACF上的TiO2为锐钛矿型，当煅烧温度上升到700℃时，TiO2开始出现金红石型，600℃时煅烧制备的TiO2?ACF对水中罗丹明B的降解效果最佳；TiO2?ACF对罗丹明B的吸附能力比ACF低；但是在紫外光条件下，60 min后TiO2?ACF 对罗丹明 B 的降解率比 ACF、TiO2对罗丹明 B 的降解率分别高8．6％和16．2％， TiO2?ACF表现出较高的光催化活性．
关键词:
载钛活性炭纤维
,
制备
,
光催化
,
罗丹明B
康峰
,
张海峰
,
卢胜明
材料导报
利用亚胺叶立德的1,3-偶极环加成法合成了2种带活性基团的富勒烯吡咯烷中间体,即氨基乙基富勒烯吡咯烷和N取代3,4-富勒烯吡咯烷.经基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱仪、傅里叶变红外光谱仪和紫外可见光分光光度计表征可知,它们是2种富勒烯吡咯烷中间体.这2种中间体含活性基团,可用于合成更多的富勒烯衍生物,因此在富勒烯化学领域具有广阔的应用前景.
关键词:
氨基乙基富勒烯吡咯烷
,
N取代3,4-富勒烯吡咯烷
,
合成
