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0.1-0.3μmX射线光刻技术在GaAs器件制作中的应用

, 谢常青 , 李兵 , 陈大鹏 , 陈朝晖 , 赵玲莉 , 胥兴才 , 刘训 , 张绵 , 赵静

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.03.013

对同步辐射X射线光刻及在GaAsPHEMT器件制作中的应用进行了研究,并制作出栅长0.15μm的AlGaAs/InGaAs/GaAsPHEMT晶体管.研究结果表明,X射线光刻在剥离图形及T型栅结构制作工艺中具有极好的光刻图形质量,在混合光刻工艺中,抑止GaAs合金点的形成是取得良好对准标记的关键.

关键词: X射线光刻 , PHEMT , T型栅

用于X射线光刻掩模的纳米金刚石膜成核研究

李东辉 , 刘志凌 , , 陈大鹏 , 吕反修

无机材料学报

介绍了金刚石膜在下一代X射线光刻掩模中应用的必要性;通过调节衬底温度,改变生长时间、控制甲烷浓度等工艺措施,实验研究了不同参数对成核密度及成核质量的影响,获得了高密度形核的样品;对形核后的预生长期进行了工艺优化,有效地控制了核岛的优势生长,总结出了一套优化的形核方案,即甲烷浓度4%,衬底温度700℃,形核时间14min;这套工艺不仅改善了自支撑金刚石薄膜窗口的光学性能,还有效地降低了膜的内应力。

关键词: 成核 , diamond film , MPCVD , X-ray lithography .mask

用于X射线光刻掩模的纳米金刚石膜成核研究

李东辉 , 刘志凌 , , 陈大鹏 , 吕反修

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2004.04.030

介绍了金刚石膜在下一代X射线光刻掩模中应用的必要性;通过调节衬底温度、改变生长时间、控制甲烷浓度等工艺措施,实验研究了不同参数对成核密度及成核质量的影响, 获得了高密度形核的样品;对形核后的预生长期进行了工艺优化,有效地控制了核岛的优势生长,总结出了一套优化的形核方案,即甲烷浓度4%,衬底温度700℃,形核时间14min;这套工艺不仅改善了自支撑金刚石薄膜窗口的光学性能,还有效地降低了膜的内应力.

关键词: 成核 , 金刚石薄膜 , MPCVD , X射线光刻掩模

反相高效液相色谱法测定广西茶中的茶素

卢昕 , 张新申 , 刘承伟

色谱 doi:10.3321/j.issn:1000-8713.2003.03.019

茶素(rubusoside)是广西特产茶(Rubus suavissimus S.Lee)中的主要甜味成分.采用反相高效液相色谱法测定了广西茶中的茶素.条件为:反相C18柱;甲醇-水(体积比为85∶15)溶液为流动相,流速1.0 mL/min;紫外检测波长210 nm;柱温20 ℃;外标法定量.结果表明:茶素的质量浓度为20~1 200 mg/L时,其峰面积与质量浓度具有良好的线性关系,相关系数为0.998.方法的检测限(S/N≥3)为5 mg/L,峰面积测定值的相对标准偏差(RSD)为0.85%(n=8).该方法对茶素工业品及茶原茶素的平均回收率(n=3)分别为100.2%和104.9%.该方法快速简便,准确可靠,可用于茶产品质量的例行监测.

关键词: 高效液相色谱法 , 茶素 ,

手性高效液相色谱法测定板蓝根中表告依和告依含量

聂黎行 , 王钢力 , 戴忠 , 林瑞超

色谱 doi:10.3724/SP.J.1123.2010.01001

采用Chiralpak IC手性柱(250 mm×4.6 mm,5 μm),建立了正相高效液相色谱测定板蓝根中表告依(R-告依)和告依(S-告依)含量的方法.考察了流动相组成、流速和柱温对分离度的影响.经优化后的实验条件:以正己烷-异丙醇(体积比为90∶10)为流动相,流速为0.8 mL/min;检测波长为245 nm,柱温为20 ℃.在此优化条件下,表告依和告依春分离度为3.4,检出限为2.0 mg/L,在0.02~2.0 g/L 范围内有良好的线性关系,平均回收率为101% ,相对标准偏差(RSD)小于3.0%(n=6).本方法可将具有抗病毒活性的表告依与其对映体告依基线分离并测定,专属性强,能有效控制板蓝根的质量.

关键词: 手性高效液相色谱法 , 表告依(R-告依) , 告依(S-告依) , 板蓝根

利用高粱汁培养面包酵母菌的实验研究

王菊芳 , 马良 , 高峰 , 董喜存 , 李文建 , 肖国青

原子核物理评论

利用优质高粱汁代替粮食进行发酵生产的优越性已经显现, 在此基础上研究了面包酵母在高粱汁中的生长情况, 测定了发酵液中酵母菌的生物量、残总糖等参数, 并在10-100 l的发酵罐中进行了培养优化实验. 结果表明, 高粱汁在工业化生产面包酵母菌中具有很大的潜力.

关键词: 高粱汁 , 面包酵母菌 , 生物量

草Oldenlandia cantonensis How的化学成分

蓝文健 , 李厚金

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2006.08.012

研究了民间草药草Oldenlandia cantonensis How的化学成分.从乙醇提取物的乙酸乙酯洗脱部分得到新的五环三萜urs-12-en-29α-oic acid-3β-ol.该化合物结构通过NMR、IR、MS等波谱数据综合解析确定.研究了urs-12-en-29α-oic acid-3β-ol对重组人DNA拓扑异构酶Ⅰ、肝癌细胞BEL-7402和胃腺癌细胞MCG-803的抑制作用,效果显著,IC50值分别为12.0×10-6、6.5×10-6、8.0×10-6 g/mL.由V(石油醚):V(乙酸乙酯)=20:1洗脱得到的低极性成分进行了气相色谱-质谱分析,共鉴定60个化合物,其中长链脂肪族化合物,如烷烃、饱和及不饱和羧酸(酯)含量较丰富,占36.16%,萜类和甾体类化合物分别占6.42%和9.28%.

关键词: Oldenlandia cantonensis How , 化学成分 , urs-en-29α-oic acid-3β-ol , 生理活性

高碘酸钾氧化丽红G催化光度法测定铱

侯能邦 , 李祖碧 , 李崇宁 , 王加林 , 曹秋娥

冶金分析 doi:10.3969/j.issn.1000-7571.2002.05.006

利用铱催化高碘酸钾氧化丽红G(PG)的褪色反应,建立了测定痕量铱的催化动力学光度法.在硫酸介质和90℃加热15min的条件下,于500nm波长处,采用固定时间法测定丽红G吸收值的降低.Ir(Ⅳ)的浓度在0~1.0μg/25mL范围内与催化反应的速率有良好的线性关系,检出限为1 81 ×10 mg/mL.对0.3μg/25mLIr(Ⅳ)测定的相对标准偏差为1.61%(n=11).体系至少稳定3.5h.考察了40多种共存离子的影响,大多数常见离子不干扰,方法有较好的选择性.催化反应对Ir(Ⅳ)和丽红G均为一级反应,催化反应的表观活化能为103.66kJ/mol.用于冶金产品及岩矿中铱的测定,结果与推荐值十分吻合.

关键词: , 红G , 高碘酸钾 , 催化光度法

C离子束诱变产生高粱汁酒精酵母高产菌株的研究

严亚平 , 王菊芳 , 陆栋 , 董喜存 , 高峰 , 马良 , 李文建

原子核物理评论

利用100 MeV/u C离子束对高产酒精酵母菌株进行了辐照诱变的研究.采用红四氮唑作为筛选指示剂,得到了5株产酒能力有所提高的突变酵母菌.利用高梁汁的发酵结果表明,T4突变菌株的产酒精能力比原始出发菌株提高了18.6%,且发酵液中的残糖含量也有所降低.随后对T4菌株在高粱汁中的最适宜发酵条件做了初步探索,结果表明:最适发酵温度和pH值分别为30℃和4.5.通过10 l发酵罐的验证试验表明:在同样发酵条件下,T4菌株的发酵率和产酒精能力都比原始出发菌株提高了12%.

关键词: 重离子束 , 酒精酵母 , 高粱汁 , 发酵

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