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一种应用于半导体的钽板制备工艺研究

张春恒 , 吴红 , 李桂鹏 , , 汪凯 , 李兆博

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2010.06.008

磁控溅射吸附器应用于半导体制造的金属化工艺,其作用是在溅射过程中起到聚焦和净化的作用.由于需要在表面进行均匀一致的滚纹处理,所以对其坯料的板形以及板差有非常严格的要求,同时对内部组织也有较高要求.为了制备满足其要求的钽板,本文主要从锻造工艺以及轧制工艺进行讨论,最终得到适宜于批量生产的加工工艺,使钽板满足小于0.15mm的板差的要求,同时晶粒尺寸在200~300μm之间,并且均匀一致.

关键词: 溅射 , 板差 , 晶粒度

溅射镀膜用铌靶材晶粒尺寸控制工艺研究

李兆博 , 张春恒 , 李桂鹏 ,

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2010.06.009

铌靶材主要应用于表面工程材料,如船舶、化工、液晶显示器(LCD)以及耐热、耐腐蚀等镀膜行业.作为被溅射的基材,为了获得均匀一致的薄膜淀积速率,对溅射铌靶材的主要要求是均匀的组分、合适的颗粒尺寸以及具体的结晶学取向.本文主要研究在实际生产中,锻造工艺、轧制工艺以及热处理工艺对溅射镀膜用铌靶材晶粒尺寸的影响.通过多次试验,得到合理的锻造工艺、轧制工艺以及热处理工艺,从而对铸锭晶粒进行彻底的破碎和再结晶,最终得到晶粒尺寸小于100μm,且均匀一致的等轴晶组织,满足了溅射镀膜用铌靶材要求的晶粒尺寸和均匀等轴晶组织.

关键词: 溅射镀膜铌靶材 , 晶粒尺寸 , 等轴晶组织

钢种外径不同壁厚涡流探伤样管替代初探

王东 , 李士佩 , 张文

冶金分析 doi:10.3969/j.issn.1000-7571.2004.z2.037

利用涡流探伤原理中的涡流趋近钢管表面的趋肤效应现象,研究涡流探伤钢种、外径、不同壁厚试样的替代可行性.

关键词: 涡流探伤试样 , 趋肤效应

新大线沟敷设热力分析

凌霄 , 王艺 , 宇波 , 张劲军 , 王凯 , 达鑫

工程热物理学报

针对新大线沟敷设管道,采用非结构化有限容积法,分析了不同的物性条件下,常温输送原油对加热输送原油的热力影响.

关键词: 沟敷设 , 新大线 , 热力分析 , 数值模拟 , 有限容积法

微流动的伦分析法解析求解

张田田 , 贾力 , 王志成

工程热物理学报

建立了滑移流区二阶滑移流动的控制方程,引入相似变换将微尺度二阶滑移流动的控制方程变换为非线性常微分方程.采用伦分析法解析求解了该方程,获得了微尺度滑移流动的速度分布,发现在不同Knudsen数下,充分发展段无量纲速度分布有同一交点.通过与文献结果对比验证了本文求解结果的正确性.为深入研究微尺度滑移流动的物理本质提供了数学支持.

关键词: 微流动 , 速度滑移 , 伦分析法 , 相似变换

含量对聚丁烯-1室温结晶性能的影响

赵永仙 , 王秀峰 , 杜爱华 , 姚薇 , 邵华锋 , 黄宝琛

高分子材料科学与工程

采用负载钛催化体系合成了全含量为86%和99%的两种聚丁烯-1.通过差示扫描量热仪、偏光显微镜和红外光谱仪研究了室温时全含量对聚丁烯-1结晶和晶型转变的影响.结果表明,全含量越高,其结晶性能越好,结晶速率快,熔点高,由晶型Ⅱ向晶型Ⅰ的转变速率也越快;不同全含量的聚丁烯-1中的晶型Ⅱ向晶型Ⅰ转变的80%以上发生在前48 h,48 h之后转变速率减缓.

关键词: 全同聚丁烯-1 , 结晶 , 晶型转变

作波分复用AWG频串扰的相关特性及理论研究

丁么明 , 鲁德初 , 张国平

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2002.05.013

本文讨论了光信号在阵列波导光栅(AWG)中频光电流串扰的自相关函数,从理论上探讨了频串扰的自相关系数,研究了相关系数与频串扰引起延时的关系,及频串扰噪声功率和串扰的极化方向的关系,得到了相关系数RF与AWG延时时间T、记录值n之间的关系曲线.数值计算表明:串扰延时使AWG的传输信号存在负相关、弱相关、正相关,其串扰延时对记录长度的影响呈周期性变化.

关键词: 阵列波导光栅 , 频串扰 , 相关系数 , 延时

预报单光子源下的经典-量子信息共信道传系统研究

王宇帅 , 李云霞 , , 东晨 , 蒙文 , 姬一鸣

连铸 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2015.04.010

分析了密集波分复用下的经典-量子信息共信道传系统噪声特性,提出基于预报单光子源的经典-量子信息共信道传方案.与传统的弱相干光源相比,其可以更精确地控制APD探测门限,进而实现时域滤波减少信道噪声干扰;并且可以通过控制探测器开启时间,有效避免空光子发送时的信道噪声及探测器暗计数影响.仿真结果表明,本方案提出的传系统可有效抑制噪声干扰,与弱相干光源方案相比于更远距离达到误码率阈值,提升了安全通信距离,可作为远距离量子密钥通信共信道传参考方案.

关键词: 量子光学 , 共信道 , 量子密钥分发 , 预报单光子源 , 时域滤波 , 密集波分复用

面向局部高点控制的工作辊宽轧制公里数

于斌 , 王义栋 , 杨旭 , 郭宝安 , 刘宏民

钢铁

为适应市场和节能降耗的迫切需要,提出了工作辊宽轧制公里数研究,基于金属塑性变形和辊系弹性变形等模型耦合建立起描述带钢断面形状的仿真系统,以带钢断面形状良好即局部高点为控制对象,研究了在不同轧制模式下,工作辊宽轧制公里数与带钢局部高点的关系.模拟计算和生产试验表明,普通模式下工作辊轧制公里数明显受限于宽带钢轧制,相比普通轧制,采用合理的窜辊轧制可以大大提高带钢宽轧制公里数,有效控制带钢局部高点,研究结果对组织轧制生产和制定换辊制度具有重要的指导意义和实用价值.

关键词: 局部高点 , 宽带钢 , 轧制公里数 , 窜辊轧制 , 普通轧制

黔东古金矿床成矿流体地球化学探讨

吴攀 , 叶俊 , 余大龙

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2005.10.003

黔东古金矿床产于元古界下江群浅变质岩系中,矿体严格受构造控制,矿体划分为层间脉型、破碎带型和网脉型3种类型,矿石贫硫化物.通过对古金矿床流体包裹体的成分、氢氧同位素及包裹体CO 2的碳同位素特征研究分析,认为古金矿床主成矿阶段的成矿流体是以大气降水为主的富含CO 2的弱酸、弱还原混合地热流体.

关键词: 成矿流体 , 地球化学 , 古金矿床

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