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Ar+离子束对U薄膜表面粗糙度的影响

张厚亮 , , 任大鹏 , 李嵘 , 赖新春 , 赵天明

稀有金属材料与工程

采用Ar+离子束对U薄膜表面进行反应溅射,通过白光干涉仪和台阶仪的测量与分析,着重研究Ar+离子束溅射能量、入射角度对其表面粗糙度Ra的影响,并与Ar+离子束刻蚀试验进行比对.结果表明,以30°角入射,随溅射时间的增加,能量为0.5 keV的Ar+离子束较1.0 keV对U薄膜表面粗糙度趋于减小,表面愈光滑,溅射深度仅限于纳米级,而与金属Mo的刻蚀效果相比与之相反.Ar+离子束溅射对材料表面具有精细抛光的效果,辅之于离子束微米级刻蚀减薄,将有助于U薄膜表面精细加工.

关键词: Ar+离子束 , 反应溅射 , 刻蚀 , U薄膜 , 表面粗糙度

铀上化学镀非晶态Ni-P镀层研究

鲜晓斌 , 任大鹏 , , 张永彬 , 李科学 , 唐凯

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2001.06.006

对在U上化学镀Ni-P工艺进行了研究,并用扫描透射电镜(STEM),X射线衍射仪研究了P含量为9.00~10.50(质量分数)的Ni-P镀层性能、经不同温度热处理后其组织结构的转变以及室温稳定性.结果表明:镀后镀层组织为非晶态,但局部存在短程有序的尺度差异,室温下非晶态组织是稳定的;高温下,非晶态将转变为Ni、Ni3P晶体组织.

关键词: 化学镀 , 非晶态 , 组织结构 , 稳定性

U上Al,Ti/Al镀层研究

鲜晓斌 , 刘柯钊 , , 张永彬

稀有金属材料与工程

用循环Ar+轰击-磁控溅射离子镀(MSIP)法在U表面上镀Al,Ti/Al,并采用俄歇电子能谱仪(AES)、扫描电镜(SEM)、电化学实验和平面磨耗实验,研究了其表面、剖面形貌和耐磨耐蚀性能,以及Al/U和Ti/Al镀层界面.结果表明:U上循环Ar+轰击-磁控溅射离子镀Al,Ti/Al界面存在较宽的原子共混区,且Ti/Al镀层的耐磨耐蚀性能明显优于单一磁控溅射离子镀Al层.

关键词: Ti/Al镀层 , 界面 , 耐磨性 , 耐蚀性

蒸发、磁控溅射沉积真空对铀薄膜组成和结构的影响

鲜晓斌 , , 伏晓国 , 任大鹏

材料导报

用X-光电子能谱仪(XPS)、扫描透射电镜(STEM)分析了蒸发、磁控溅射沉积真空对铀薄膜组成和结构的影响。结果表明,在沉积真空2Pa下,蒸发、磁控溅射沉积的铀薄膜已完全氧化;在沉积真空2×10-1Pa下,磁控溅射沉积的铀薄膜由金属铀和二氧化铀组成,薄膜呈微晶或无定形结构。

关键词: 沉积真空 , 铀薄膜 , 组成 , 结构

Al2 O3/Al 复合涂层对贫铀的保护性能研究

, 郎定木 , 张延志 , 汪小琳

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2005.02.014

为探讨Al2O3/Al复合涂层在贫铀表面保护中应用的可行性,采用盐雾腐蚀试验和磨损试验方法,结合SEM/EDS和XRD表征,分析了贫铀表面Al2O3/Al复合涂层的保护性能.结果表明,贫铀表面反应磁控溅射Al2O3/Al涂层没有明显的腐蚀特征,而等离子喷涂Al2O3/Al涂层发生了严重的腐蚀剥落现象.Al2O3/Al涂层表现为磨粒磨损行为,抗磨损性好.作为对比样的贫铀表面Al涂层则表现为粘着磨损行为,抗磨损性差.讨论了贫铀表面涂层的腐蚀和磨损行为.

关键词: 磁控溅射 , Al2O3/Al复合涂层 , 贫铀 , 保护性能

微米级Mo-Al轧制箔扩散连接界面相的形貌及反应动力学

熊江涛 , 李京龙 , , 杨卫华 , 张赋升 , 黄卫东

金属学报

采用固相真空扩散连接方法, 在873-913 K保温40-240 min条件下对轧制厚度分别为 20和60 um的Mo和Al箔进行扩散连接. 发现Mo-Al固-固界面反应初生相在Mo箔内部形核进而“破壳”生长的形貌演变模式, 成分分析表明该初生相为Al8Mo3. 初生相“破壳”后,Mo-Al界面上由Mo至Al的产物分布依次是Al8Mo3, Al5Mo和Al12Mo;在913 K保温240 min后, Al8Mo3与Al5Mo间出现Al4Mo相. 界面反应的动力学分析表明, 873-913 K条件下, Mo-Al界面反应初生相孕育期为 52-34.5 min; Al原子在Mo-Al界面新生相内和Mo箔内的扩散指前因子D01和D02分别为4.61 10-2和2.05 10-2 cm2/min, 扩散激活能G Al-1和G Al-2分别为0.98和1.48 eV.

关键词: Mo-Al界面 , null , null

铀表面钛膜在真空升温过程中对残余气氛的吸附行为

白彬 , 陆雷 , 肖红 , 鲜晓斌 , , 杨江荣

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2003.12.005

用磁控溅射镀膜技术在铀表面制备了钛膜防腐蚀层.用俄歇电子能谱仪(AES)研究了在超高真空室中铀表面钛膜从室温加热到400℃过程中表面化学结构的变化,同时对比分析了钛板试样的结构变化.最后分析了TiO2对铀表面钛膜吸附残余气氛的影响.结果表明,钛膜表面吸附了大量的含碳气体并使之分解而形成TiC.加热方式影响钛膜对含碳气体的吸附行为.钛膜表面形成TiO2后可显著降低对含碳气体的吸附能力.

关键词: 钛膜 , 吸附 , 残余气氛 ,

铀表面Al-Zn镀层的结构和保护性能

, 汪小琳 , 鲜晓斌 , 郎定木 , 肖红 , 张延志

稀有金属材料与工程

利用扫描电镜(SEM),俄歇能谱分析(AES),X射线衍射分析(XRD)和电化学等技术,研究了磁控溅射沉积Al-Zn镀层的结构及其对铀的保护性能.结果表明施加偏压显著地影响Al-Zn镀层的结构和保护性能.在-100V偏压下沉积的Al-Zn镀层,其组织更致密,成分有择优重溅射现象并伴有合金相生成,更有利于铀的防腐保护.

关键词: , 磁控溅射 , Al-Zn镀层 , 结构 , 保护

铀表面Cu、Ni-P/Cu镀层研究

鲜晓斌 , , 刘清和 , 李科学 , 唐凯 , 刘卫华

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2003.05.005

用循环Ar+轰击-磁控溅射离子镀(MSIP)和化学镀分别在U表面上沉积Cu、Ni-P/Cu,并采用俄歇电子能谱仪(SAM)、扫描透射电镜(STEM)、电化学实验,研究了其表面、剖面形貌和耐蚀性能,以及U基和镀层界面.结果表明:U上循环Ar+轰击-磁控溅射离子镀Cu结晶细密,界面存在较宽的原子共混区,U表面先溅射沉积Cu镀层,再化学镀非晶态Ni-P镀层,能够有效地改善镀层的结合强度.

关键词: Ni-P/Cu镀层 , 组织结构 , 耐蚀性能

U表面循环Ar+轰击-磁控溅射离子镀Ti研究

鲜晓斌 , 刘柯钊 , , 张永彬

稀有金属材料与工程

用设计的循环Ar+轰击-磁控溅射离子镀法在U表面上镀Ti,并采用扫描电镜(SEM)、X射线光电子能谱仪和湿热加速腐蚀实验,研究了其表面、剖面形貌、镀层的组成与结构、膜基界面特征,以及耐湿热腐蚀性能.结果表明,U上循环Ar+轰击-磁控溅射离子镀Ti层结晶致密、晶粒细化,镀层由表及里分别由TiO2/TiO/Ti构成,镀层厚度≥4μm时、其试样的耐湿热腐蚀性能较之金属U来讲有较大程度的提高.

关键词: Ti镀层 , 循环Ar+轰击 , 耐湿热腐蚀性能 , 组织结构

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