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采用水基原子层沉积工艺在石墨烯上沉积Al2O3介质薄膜研究

张有为 , 万里 , 程新红 , 王中健 , , 曹铎 , 贾婷婷 , 俞跃辉

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2012.11663

采用水基原子层沉积(H2O-based ALD)方法在石墨烯上直接生长Al2O3介质薄膜, 研究了Al2O3成核机理. 原子力显微镜(AFM)对Al2O3薄膜微观形态分析表明, 沉积温度决定着Al2O3在石墨烯表面的成核生长情况, 物理吸附在石墨烯表面的水分子是Al2O3成核的关键, 物理吸附水分子的均匀性直接影响Al2O3薄膜的均匀性. 在适当的温度窗口(100~130℃), Al2O3可以均匀沉积在石墨烯上, AFM测得Al2O3薄膜表面均方根粗糙度(RMS)为0.26 nm, X射线光电子能谱(XPS)表面分析与元素深度剖析表明, 120℃下在石墨烯表面沉积的Al2O3薄膜中O和Al元素的含量比约为1.5. 拉曼光谱分析表明, 采用H2O-based ALD工艺沉积栅介质薄膜不会降低石墨烯晶体质量.

关键词: 石墨烯; 原子层沉积; Al2O3薄膜

采用水基原子层沉积工艺在石墨烯上沉积Al2O3介质薄膜研究

张有为 , 万里 , 程新红 , 王中健 , , 曹铎 , 贾婷婷 , 俞跃辉

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2012.11663

采用水基原子层沉积(H2O-based ALD)方法在石墨烯上直接生长Al2O3介质薄膜,研究了Al2O3成核机理.原子力显微镜(AFM)对Al2O3薄膜微观形态分析表明,沉积温度决定着Al2O3在石墨烯表面的成核生长情况,物理吸附在石墨烯表面的水分子是Al2O3成核的关键,物理吸附水分子的均匀性直接影响Al2O3薄膜的均匀性.在适当的温度窗口(100~130℃),Al2O3可以均匀沉积在石墨烯上,AFM测得Al2O3薄膜表面均方根粗糙度(RMS)为0.26 nm,X射线光电子能谱(XPS)表面分析与元素深度剖析表明,120℃下在石墨烯表面沉积的Al2O3薄膜中O和Al元素的含量比约为1.5.拉曼光谱分析表明,采用H2O-based ALD工艺沉积栅介质薄膜不会降低石墨烯晶体质量.

关键词: 石墨烯 , 原子层沉积 , Al2O3薄膜

基于SCR的SOI ESD保护器件研究

, 王中健 , 何大伟 , 徐大伟 , 张有为 , 程新红 , 俞跃辉

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2012.01.004

本文具体分析了体硅SCR(晶闸管)和SOI SCR的抗静电特性,利用软件Sentaurus对埋氧层3μm,顶层硅1.5μm的SOI衬底上的SCR进行了工艺和性能仿真,仿真结果达到了4.5kV的抗静电能力,符合目前人体模型的标准2KV.研究发现,注入剂量(9*13 -8*14cm-2)增加会引起触发电压减小,维持电压升高;Trench长度(0.8 -1.1μm)增加,器件触发电压几乎不变,维持电压降低;场氧化层长度(2 -4.5μm)增加,触发电压和维持电压均增加.

关键词: SOI ESD , SCR , Sentaurus , 保护器件

PVA/Mg(NO3)2复合膜的制备及性能

江献财 , 刘磊 , , 张熙 , 代华

高分子材料科学与工程

采用溶液成膜的方法制备了不同Mg(NO3)2含量的聚乙烯醇(PVA)/Mg(NO3)2复合薄膜.考察了PVA/Mg(NO3)2复合薄膜在相对湿度为54%时的含水量.采用X射线衍射(XRD),差示扫描量热(DSC),动态力学性能(DMA)和力学性能测试方法研究了Mg(NO3)2对PVA膜的结构和性能的影响.结果表明,Mg(NO3)2与PVA的相容性非常好,所制备的PVA/Mg(NO3)2复合膜的透明性好.Mg(NO3)2的加入能显著破坏PVA中的氢键作用,增加PVA膜中的水含量,降低FVA的结晶度,使复合膜的玻璃化温度明显降低.拉伸实验表明,PVA/Mg(NO3)2具有比纯PVA膜更低的拉伸强度和更高的断裂伸长率.

关键词: 聚乙烯醇 , 硝酸镁 , 改性 , 复合膜

稳定多晶氧化铝纤维质量之研究

王孝瑞 , 付顺德 , , , 梁献雷 , 阴怀亮

耐火材料 doi:10.3969/j.issn.1001-1935.2000.04.006

通过改变胶体添加剂和热处理参数,提高纤维化器的转速,达到了稳定胶体粘度、改善成纤性能、降低纤维直径、稳定并提高氧化铝纤维质量、降低生产成本之目的.

关键词: 多晶纤维 , 氧化铝纤维

环氧丙烯酸树脂涂料的制备及性能研究

任宇红 , 彭桂荣 , , 陈静

涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2011.03.004

通过正交实验考察了环氧丙烯酸酯的制备及固化工艺,最终确定聚合反应温度、催化剂N,N-二甲基苯胺和阻聚剂对苯二酚的用量,以及引发剂过氧化苯甲酰、交联剂苯乙烯、催化剂N,N-二甲基苯胺的用量,结果表明酸转化率为99.2%,固化反应为双键加成反应.合成产物的红外光谱研究发现915 cm-1处的环氧官能团吸收峰消失,而1 720 cm-1处出现酯羰基吸收峰,表明聚合机理为环氧开环酯化反应;同时产物中出现了甲基丙烯酸中的特征官能团.TG分析表明其热分解温度可提高到427℃.漆膜性能测试表明漆膜的耐腐蚀性、附着力、耐冲击性均有提高.

关键词: 环氧丙烯酸酯 , 工艺 , 酯化反应 , 分析

耐火可塑料马值的测定

曹喜营 , 张三华 , 石会营 , 王金相 , 洪彦若 , 李再耕

耐火材料 doi:10.3969/j.issn.1001-1935.2009.06.015

采用特级矾土、黏土为主要原料,液体磷酸盐做结合剂,制备了6种满足不同施工方式的w(Al2O3)>70%的高铝可塑料,并采用马值测定仪测定了可塑料的可塑性.结果表明:马值测定法可以用于耐火可塑料的可塑性测定,而且其检测范围更宽,可测定采用橡皮锤人工捣打或风镐机械捣打等不同施工方式的可塑料的可塑性.橡皮锤人工捣打可塑料的马值范围为1.36~3.74 MPa,风镐机械捣打可塑料的马值范围为7.1~22 MPa.

关键词: 耐火可塑料 , , 可塑性 , 施工方法

甸金矿提升系统优化与应用

郭建军 , 江国建 , 汪宗文

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2002.11.007

甸金矿充分利用现有的提升系统,将相邻两矿区提升系统统筹考虑,进行优化,应用取得了良好的经济效益和社会效益.

关键词: 提升系统 , 优化 , 应用

甸金矿分级尾砂充填材料试验研究

唐占信 , 王金波 , 周东良 , 秦秀合 , 何少博 , 林卫星

黄金 doi:10.11792/hj20160610

为增加甸金矿分级尾砂供应量,提高了全尾砂旋流器分级产率并开展了相关充填材料试验.介绍了分级尾砂胶结充填体强度试验、分级尾砂充填料浆塌落度试验及分级尾砂胶结充填料浆凝固时间测定试验.试验结果表明,甸金矿选厂全尾砂经旋流器分级的尾砂是一种良好的充填骨料,可以作为充填骨料进行充填.试验所得数据和结论对于矿山充填作业具有直接的指导意义.

关键词: 充填采矿 , 分级尾砂 , 强度 , 塌落度 , 凝结时间

钢材比缺口冲击仪器化试验方法的标准化

李久林

冶金分析 doi:10.3969/j.issn.1000-7571.2004.z2.001

介绍了我国新制定的钢材比缺口冲击仪器化试验方法国家标准,并对我国标准与国际标准ISO14556:2000的技术内容进行了比较.

关键词: 钢材 , 比缺口冲击 , 仪器化 , 标准化

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