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快速热处理对直拉硅单晶在模拟CMOS热处理工艺时氧沉淀的影响

马强 , 杨德仁 , 马向阳 ,

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2006.05.015

本文研究了快速热处理工艺(RTP)在模拟的CMOS热处理工艺中对直拉硅单晶中氧沉淀和洁净区(DZ)的影响.研究表明:在模拟的CMOS热处理工艺之前,应用快速热处理(1250℃,50s)代替常规炉处理(1200℃,2h)消除直拉硅单晶热历史,可以更有效地消融原生氧沉淀.经过CMOS热处理工艺后,硅片的表面存在宽度约为20μm的洁净区(DZ),同时其体内有较高密度的体缺陷(BMD).

关键词: 直拉硅单晶 , 氧沉淀 , 快速热处理工艺 , CMOS工艺

高含硫气田快开盲板密封材料耐硫性能评价与失效分析

张分电 , 王国昌 , 丛川波 , , 李文博 , 周琼

合成材料老化与应用 doi:10.3969/j.issn.1671-5381.2011.04.004

以普光油气田现场所用快开盲板密封橡胶为研究对象,进行了室内模拟H2S/CO2环境的腐蚀实验,分析了其腐蚀前后的外观、力学性能、微观结构及红外光谱的变化,推断了快开盲板橡胶密封材料的腐蚀机理.结果表明,腐蚀后密封橡胶材料的力学性能损失严重,主要是由三种原因造成的,一是加压时溶解在密封材料基体内部的气体在减压的过程中膨胀而形成裂纹;二是在腐蚀过程中基体内部的填料与氟橡胶基体之间脱粘;三是在腐蚀过程中硫化氢与主链共轭双键反应,使密封材料的交联点被破坏.

关键词: 快开盲板密封材料 , 硫化氢腐蚀 , 红外光谱 , 失效机理

武钢U71Mn系列重轨生产成套技术达国际领先水平

钢铁研究

近日,武钢"高速铁路用U71Mn系列重轨生产成套技术研究"项目,通过了由湖北省科技厅组织、工程院院士崑教授主持的科技成果鉴定,达国际领先水平。

关键词: 国际领先水平 , 生产成套技术 , 重轨 , 武钢 , 科技成果鉴定 , 工程院院士 , 铁路用 , 科技厅

第27卷B辑作者索引

金属学报

Volu扣ne 27SeriesB1991AUTHOR INDEX CCAO Guanghan(曹光旱)············……6一B科6CAo weijie(曹卫恋)..················……5一B32oCAO Yilin(曹益林)··················……6一B443CHANG Xin(常听)···············……1一B48CHE Guang邻n(车广)·············一6一B科0CHEN Erbao(陈二保)···············……6一B410CHEN Jia....

关键词:

油井缓蚀剂研究与应用

忠兴

腐蚀科学与防护技术

油井缓蚀剂研究与应用忠兴(中原油田设计院,濮阳457001)1.前言中原油田已进入高含水期,油井系统腐蚀严重,直接影响了油田的正常生产l’].为了解决油井系统腐蚀问题,在中科院腐蚀所的专种“基础f,联合开发研制了!MC—SDeZS油井缓蚀剂.该剂以合成炔氧甲基胺和炔氧甲基季法盐衍生物,以这两种衍生物为主体成分复配辅助成分而成的水溶油分散吸附成股型缓蚀剂l’1.通过室内高温高压模拟评价试验.ZI口油井加药试验及测试表明l‘],平?...

关键词: null , inhibitor , IMC-80-2S

08CuPVRE钢耐大气腐蚀的机理

于敬敦 , 吴幼林 , 秀岭 , 张陆

中国腐蚀与防护学报

08CuPVRE钢耐大气腐蚀的机理于敬敦,吴幼林,秀岭,张陆(冶金部钢铁研究总院)一、前言我国研制的08CllPVRE耐候钢,在成都郊外经两年大气暴晒试验以及室内加速试验,表明其耐蚀性能明显优于碳钢,与日本耐候钢SPA-C的水平相当.为深入研究08CllPVRE钢的耐蚀特性,选用碳钢和SPA-C耐候钢作为对比试样,通过多种方法进行测试分析,以揭示08CllPVRE钢的耐蚀机理.二、试样与测?...

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