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MEMS用Si台面及SiO2/Si衬底上3C-SiC的LPCVD生长

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.06.005

本文报道用在Si台面及热氧化SiO2衬底上3C-SiC薄膜的LPCVD生长,反应生长使用的气体为SiH4和C2H4,载气为H2,采用光学显微镜、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、扫描电镜(SEM)、以及室温Hall测试对所生长的3C-SiC材料进行了测试与分析,结果表明在3C-SiC和SiO2之间没有明显的坑洞形成.

关键词: 3C-SiC , LPCVD生长 , Si台面 , SiO2/Si

基于中间硅片厚度可控的三层阳极键合技术

吴 , 巩全成 , 贾世星 , 王敏杰 , 张勇 , 朱健

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.021

三层键合Glass-Silicon-Glass(GSG)结构在光MEMS、微惯性器件、微流体芯片、射频MEMS以及低成本圆片级封装技术领域里是一项重要技术.基于MEMS精密研磨抛光工艺和阳极键合,结合新型玻璃通孔的腐蚀工艺,开展了中间硅片厚度可控的三层阳极键合工艺研究,成功制备了带有通孔的GSG微流体器件.总厚度1360μm,中间硅片厚度60μm,通孔直径100μm,孔间距(圆孔的中心距离)200μm,孔内边缘圆滑无侧蚀.三层结构的键合几率为90%,为探索多层键合技术打下坚实基础.

关键词: GSG键合 , 研磨抛光工艺 , 微流体器件

无规立构聚丙烯对全同立构聚丙烯流延基膜取向片晶结构及拉伸成孔性的影响

杨兴成 , 沈鹏 , 俞强

高分子材料科学与工程

将无规立构聚丙烯(a-PP)与全同立构聚丙烯(i-PP)共混改性树脂在一定流延工艺务件下制备流延基膜,经过热处理后施加单向拉伸作用使流延基膜转变为微孔膜;通过差示扫描量热分析、红外光谱、原子力显微镜及力学性能、孔隙率和透气率测试来表征流延基膜的取向片晶结构和微孔膜的孔结构.研究了添加无规立构聚丙烯对全同立构聚丙烯流延基膜取向片晶结构及拉伸成孔性的影响.结果表明,流延基膜中含有少量a-PP可以增强i-PP链段的运动能力,促进分子链沿牵伸方向取向,从而使流延基膜冷却结晶过程中形成的取向片晶结构比较完善.但是当流延基膜中含有较多a-PP时,其稀释作用和对链段松弛的促进作用使结晶度以及晶区和非晶区取向程度下降.热处理后流延基膜的取向片晶结构进一步改善,相对于未改性流延基膜,含少量a-PP流延基膜在120℃热处理可以取得未改性流延基膜在145℃热处理的效果.含少量a-PP流延基膜拉伸制备的微孔膜具有较大的孔隙率和透气率,但是随着流延基膜中a-PP含量增加,拉伸后制备的微孔膜孔隙率和透气率均下降.

关键词: 聚丙烯流延基膜 , 无规立构聚丙烯 , 取向片晶结构 , 硬弹性 , 拉伸成孔性

十八胺高温成膜特性及成膜形态

谢建丽 , 邓佳杰 , 胡家元

材料保护

十八胺（ODA）高温成膜特性可为燃气机组停机保养过程的防护提供科学依据。采用高压釜模拟350-560℃水汽环境，对燃气机组管材受热面ODA成膜进行研究，探讨了各条件对成膜耐蚀性的影响。结果表明：ODA最佳成膜条件：80mg／L ODA，温度480℃，pH值9．5，恒温时间2h；560℃时形成的膜层也具有很好的保护性，表明不降温加入ODA进行停机保养也是可行的；所成膜为含ODA的氧化铁层，ODA中N与Fe发生化学吸附形成保护膜。

关键词: 十八胺(ODA) , 成膜特性 , 成膜形态 , 耐蚀性

攀钢全脱硫工艺探讨

叶翔飞 , 张玉东 , 杜德忠

钢铁钒钛 doi:10.3969/j.issn.1004-7638.2001.03.006

针对攀钢铁水预脱硫处理工艺现状,就攀钢实现铁水全脱硫、满足全连铸需要,进行了组罐-脱硫-扒渣-提钒工艺流程试验.在组罐试验的基础上,结合攀钢实际提出了在攀钢实现铁水全脱硫的技术设想.

关键词: 铁水 , 全脱硫 , 全连铸 , 工艺优化

TiC-Ni-Mo复合材料的燃烧全成研究

江建利 , 张幸红 , 韩杰才

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.1999.03.020

关键词:

乳白玻璃全电熔

吴嘉培 , 陈世超

硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.1999.05.017

乳白玻璃采用全电熔窑熔制,无论从玻璃质量、经济效益及环境保护都比较合理,本文简介我国第一个自行设计的30t/d乳白玻璃全电熔窑.

关键词: 乳白玻璃 , 全电熔

全憎水硅钙材料

邢锋

复合材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-3851.2000.02.023

硅钙材料具有轻质、耐火、保温诸优异性能,但吸水率高.吸水后,上述性能急剧降低.以往,表面涂覆或掺加憎水剂,效果不大而且昂贵.作者提出的全憎水化是一种全新的憎水化方法,即以硅藻土为载体,先吸附憎水剂,再掺入坯体中.水热处理过程中,憎水剂逐渐释放,并均匀分布于整个坯体中,从而获得了理想又经济的全憎水效果(制品的重量吸水率从330%降到3.9%),而制品的高耐热性、高保温性、低容重仍保持不变.本文中给出了材料、掺量选择和基本性能的实验结果,探讨了全憎水化机理,并分析了效益与前景.

关键词: 硅钙材料 , 憎水 , 载体

乳液涂料成膜过程中成膜助剂的挥发

殷耀兵 , 李国强 , 管文超

涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2007.08.006

成膜助剂的水溶性、相对挥发速度影响其在涂膜干燥过程中的挥发.热失质量和激光粒度分析发现,成膜助剂挥发过程分两个阶段.在第一阶段,成膜助剂一方面挥发,另一方面因浓度提高而向聚合物粒子内部渗透,油溶性成膜助剂挥发速度比较快;在第二阶段,成膜助剂的挥发受到成膜助剂分子由聚合物内部向外扩散的控制,油溶性成膜助剂挥发速度比较慢.由于成膜助剂水溶性的这种差异,导致油溶性成膜助剂容易出现缩边现象.这对于成膜助剂的选用和减量增效,以及提高成膜性能具有重要意义.

关键词: 成膜助剂 , 水溶性 , 挥发 , 缩边