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新型MPCVD装置在高功率密度下高速沉积金刚石膜

于盛旺 , 李晓静 , , 范朋伟 , 黑鸿君 , 唐伟忠 , 吕反修

功能材料

使用自行研制的新型MPCVD装置,以H2-CH4为气源,在输入功率为5kW,沉积压力分别为13.33、26.66kPa和不同的甲烷浓度下制备了金刚石膜。利用等离子体发射光谱法对等离子体中的H原子和含碳的活性基团浓度进行了分析。用扫描电镜、激光拉曼谱对金刚石膜的表面和断口形貌、金刚石膜的品质等进行了表征。实验结果表明,使用新型MPCVD装置能够在较高的功率密度下进行金刚石膜的沉积;提高功率密度能使等离子体中H原子和含碳活性基团的浓度明显增加,这将提高金刚石膜的沉积速度,并保证金刚石膜具有较高的质量。

关键词: 新型MPCVD装置 , 金刚石膜 , 功率密度 , 生长速率

不同压力下硬质合金表面微波等离子体化学气相沉积SiC涂层规律性的研究

于盛旺 , 黑鸿君 , 胡浩林 , 范朋伟 , , 唐伟忠 , 吕反修

人工晶体学报

以氢气和四甲基硅烷作为先驱气体,采用微波等离子体化学气相沉积法,不同沉积压力条件下、在YG6硬质合金表面制备了的SiC涂层.利用SEM、EDS、XRD、划痕测试法对SiC涂层的表面形貌、相组成和附着力进行了分析.实验结果表明,在较低的压力下,SiC涂层为胞状的纳米团聚物,且胞团的尺度随压力的升高而变小;随着压力的升高,胞状SiC开始并最终全部转变为片层状SiC,并在此过程中伴随着颗粒状Co2Si的形成与长大;随着压力的继续升高,片层状SiC开始转变为须状SiC.胞状SiC向片层状SiC的转变会使涂层致密度提高,而涂层对硬质合金衬底的附着力也会随之增强;Co催化作用的上升引起的片层状SiC向须状SiC的转变会导致SiC涂层的附着力明显降低.以具有片层状特征的SiC作为过渡层,可在未经去Co酸蚀预处理的硬质合金衬底上制备出具有较好附着力的金刚石涂层.

关键词: SiC涂层 , 硬质合金 , 沉积压力 , 金刚石涂层

微波等离子化学气相沉积金刚石膜新型微波谐振腔设计

李晓静 , , 于盛旺 , 唐伟忠 , 吕反修

功能材料

提出新型微波谐振腔用于化学气相沉积金刚石薄膜,腔体有效体积可以调节,采用环形介质窗口,置于沉积基台的下方,允许产生较大并且温度较高的等离子体.同轴内导体与沉积台相连接,微波从谐振腔底端传输经同轴导体耦合进入腔体.采用有限元的方法优化谐振腔的尺寸,使其能耦合进更大的微波能量,优化后,最大电场区域位于沉积台上方,并且均匀分布,在腔体内其它区域和介质窗口附近电场强度则很小,满足设计要求.采用时域有限差分法模拟了谐振腔在一定微波输入功率下产生等离子体的特性,并对设计的谐振腔进行试验研究,实验观察到的等离子体位置与模拟结果一致.

关键词: 微波谐振腔 , 数值模拟 , 电场分布 , 金刚石薄膜沉积

新型MPCVD金刚石膜等离子发生器及等离子特性数值模拟

李晓静 , 于盛旺 , , 唐伟忠 , 吕反修

人工晶体学报

本文提出了用于化学气相沉积金刚石膜的新型微波等离子体发生器.使用环形介质窗口,置于沉积台的下方而远离等离子体,允许产生体积较大并且温度较高的等离子体.采用时域有限差分法结合Matlab语言,模拟了发生器内的电场分布和等离子体电子密度,研究微波输入功率﹑气体压力等控制工艺参数对等离子体特性的影响.模拟结果表明,在一定微波输入功率和气体压力条件下,在沉积台上方形成均匀分布的等离子体,电场强度﹑电子密度和吸收功率密度随微波工艺参数的改变而呈现有规律的变化.本研究将为微波等离子体化学气相沉积技术的改进提供参考,为进一步建立使用此种新型等离子发生器的MPCVD设备奠定了基础.

关键词: 等离子反应腔 , 数值模拟 , 时域有限差分法 , 电子密度

Rick Reagan就任乐化学总裁

材料保护

美国康涅逖格州西汉文-伦敦确信集团下属的确信高性能材料(CPM,Cookson Performance Materiais)于2012年8月宣布任命RickReagan为乐化学有限公司总裁。Reagan先生将领导乐化学高性能专业化学品全球机构在40多个国家运作,包括战略部署于全球各地的10个生产基地及9个技术中心。

关键词: 化学品 , 总裁 , 高性能材料 , 技术中心 , 生产基地

武汉科特仪器有限公司

腐蚀与防护

武汉科特仪器有限公司专门从事电化学科学仪器以及工业腐蚀监测仪器的技术研发和制造。公司依托华中科技大学的研发实力,在电化学研究方法上积淀了较强的创新实力,

关键词: 监测仪器 , 武汉 , 华中科技大学 , 工业腐蚀 , 科学仪器 , 化学研究 , 电化学 , 研发

西班牙比斯亚公司用于处理高附加值超薄热轧带钢的新酸洗线

钢铁

薄规格热轧带钢的生产需要专门的酸洗线以确保高附加值的热轧产品能够与各种冷轧材料相竞争.介绍奥钢联为西班牙比斯亚公司提供的超薄热带酸洗线的先进特点.

关键词: 超薄热带 , 高附加值 , 酸洗线

减温降计算模型

付国忠 , 刘建平 , 赵晓峰 , 刘建明 , 吕庆功 , 彭龙洲

钢铁

在对轧制时钢管的温降原因进行分析的基础上,给出一种定减温降计算模型,该模型考虑了辐射、接触传导、内部传导对温度的影响.通过对轧制实验测定得到钢管的温降数据与此模型实例计算的结果进行对比分析,表明该模型比较准确,能够满足生产实际的要求,可用于自动控制系统中定减温降的计算,从而为控制系统比较准确地对轧机进行设定及调整提供依据.

关键词: , 温降 , 模型

四川马罗金矿区煌斑岩特征及其与金矿化关系初探

王新文 , 胡晓丽 , 邓伟 , 龚彬 , 夏月成

黄金 doi:10.11792/hj20130907

罗金矿区煌斑岩侵入于盐塘组第二段,呈树枝状、条带状平行展布。岩石为致密块状云煌斑岩,其w( SiO2)变化于37.88%~40.40%,K2 O/Na2 O比值介于1.05~3.63,为碱性系列的钾质煌斑岩。煌斑岩与金矿化在时空分布及成因上有密切的内在联系,认为煌斑岩与金矿体均受控于断裂破碎带,煌斑岩切穿了断裂破碎带及金矿体,煌斑岩的侵入为金进一步富集提供了物源、热能、含矿流体。

关键词: 煌斑岩 , 岩石学 , 地球化学 , 金矿化 , 罗金矿区

四川盐源马罗金矿区物化探异常特征及外围找矿远景

杨忠芳 , 志斌 , 康亚龙 , 厚亮 , 陈钧渝

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2011.12.005

四川盐源马罗金矿区位于扬子板块西缘盐源一丽江构造带中段,其内金铜铅锌成矿条件良好.重点阐述了马罗金矿区物化探异常特征.其中,激电测量显示地表矿体深部存在低阻高激化异常;1:5万水系沉积物测量,圈出了2处Au为主的化探异常,其面积大,分带清晰,浓集中心明显,元素组合特征指示成矿作用与中低温热液有关.另外,在矿区外围新发现1处金矿点和2处铜金矿点.在综合分析研究矿区及外围物化探异常;金矿控矿因素、成矿条件的基础上,圈出2处寻找与中低温热液有关的中大型铜金矿床远景区.

关键词: 物化探异常特征 , 罗金矿区 , 铜金矿床 , 找矿远景 , 四川盐源

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