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载盘预处理对纯铝薄膜小丘生成的影响

肖亮 , 张勋泽 ,

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20173202.0104

在TFT Array制程中,使用刚刚更换过清洗品的载盘生产纯铝薄膜时,基板周边常常会出现小丘,小丘的生成将严重影响产品的电学性能和良率.本文通过生产线上常用的阵列宏微观缺陷检查机对纯铝薄膜表面进行观察并存图,利用MATLAB软件对图片进行分析和计算,实现了工厂端对小丘发生情况的快速识别和比对.本文就可能影响小丘生成的纯铝薄膜膜厚、载盘预处理时间以及成膜后玻璃基板在加热腔室内的停留时间等几个因素设计了正交和单因素实验.实验结果表明,载盘的预处理时间是影响小丘生成的首要因素,当载盘预处理时间大于90 min,膜厚为铝/钼300/80 nm,成膜后基板在加热腔室不停留的情况下,可以获得表面几乎无小丘的纯铝薄膜,这一结果对有效避免生产过程中因更换清洗品等原因导致的小丘生成具有重要的意义.

关键词: 纯铝薄膜 , 小丘 , MATLAB , 磁控溅射 , 残余气体

氧化异阿菲-褪黑素杂合体的合成、抗β淀粉样蛋白聚集及抗氧化活性

唐煌 , 钟书明 , 赵丽珍 , 赵海涛

应用化学 doi:10.3724/SP.J.1095.2012.00281

基于多靶向策略设计合成了氧化异阿菲-褪黑素杂合化合物,测试了它们的抗胆碱酯酶性能及相应的抑制动力学、抗氧化能力和抑制乙酰胆碱酯酶诱导的β-淀粉样蛋白(Aβ)聚集能力.实验结果表明,所合成的化合物对乙酰胆碱酯酶具有中等强度抑制力,其抑制IC50值在微摩尔浓度水平,属于非竞争性抑制剂;对乙酰胆碱酯酶诱导的Aβ淀粉样蛋白聚集的抑制率达到79.3% ~ 84.7%;抗氧化能力是trolox的1.1~1.5倍.

关键词: 氧化异阿菲衍生物 , 褪黑素 , 胆碱酯酶 , 抗氧化 , 抗Aβ聚集

第五次(1991)国家自然科学奖材料与工程科学部分获奖项目介绍

钱浩庆 , 卞文山

材料研究学报

<正> 第五次(1991)国家自然科学奖已于1991年12月揭晓,共有53项优秀成果获奖,其中属材料与工程科学部分的有6项。1 铝电解过程中若干物理化学问题的研究本项研究获三等奖。主要研究者:邱竹贤,姚广春,冯乃,张明杰,李庆峰研究单位:东北工学院

关键词:

08CuPVRE钢耐大气腐蚀的机理

于敬敦 , 吴幼林 , , 张陆

中国腐蚀与防护学报

08CuPVRE钢耐大气腐蚀的机理于敬敦,吴幼林,崔岭,张陆(冶金部钢铁研究总院)一、前言我国研制的08CllPVRE耐候钢,在成都郊外经两年大气暴晒试验以及室内加速试验,表明其耐蚀性能明显优于碳钢,与日本耐候钢SPA-C的水平相当.为深入研究08CllPVRE钢的耐蚀特性,选用碳钢和SPA-C耐候钢作为对比试样,通过多种方法进行测试分析,以揭示08CllPVRE钢的耐蚀机理.二、试样与测?...

关键词:

GH718合金氢渗透特性的研究

徐坚 , , 刘清泉 , 陈文绣

中国腐蚀与防护学报

GH718合金氢渗透特性的研究徐坚,孙魁,刘清泉,陈文绣(中国科学院金属研究所,快速凝固非平衡合金国家重点实验室沈阳110015)1前言GH718(INCONEL718)合金广泛用作为涡轮叶片、氢燃发动机、核反应堆器壁等部件的材料.由于使用环境中氢气氛的存在,选材时必须考虑氢的进入与传输对合金性能的影响.尽管此合金的氢渗透数据曾有报导山,但关于合金的组织结构对氢渗透和扩散特性的影响仍不十分?...

关键词: null , hydrogen diffusion , superalloy , precipitation-phase

环境对LY12CZ铝合金典型螺接件疲劳性能的影响

刘祖铭

中国腐蚀与防护学报

采用加速腐蚀试验方法,研究了环境腐蚀和盐雾对LY12CZ铝合金板材的3种螺接型式、12种防护处理的典型螺接搭接件疲劳性能的影响,提出了几种较适用的螺接结构细节防护方法。结果表明,环境严重降低螺接件的疲劳性能。采用适当的细节防护措施,可提高结构的抗环境损伤性能,疲劳性能一有不同程度提高。其中,采用3号船用润滑脂安装和底漆湿装配是比较有效的方法,与未经防护处理的试验件相比,其在试验环境中的疲劳寿命分别提高78.36%和83.45%,DFR值分别提高15.09%和15.88%。

关键词: 腐蚀环境 , bolted lap joint , corrosion damage , protective measures , fatigue property

磁控溅射制备钛合金扩散焊中间层Ti薄膜的研究

周媛 , 李晓红 , 毛唯 , 毕晓昉 , 熊华平 , 吴欣

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2010.z1.072

以磁控溅射的Ti薄膜作为中间层可在较低温发下实现钛合金的扩散焊.研究了工作气压和溅射功率两个主要工艺参数对Ti薄膜沉积速率、成膜质量的影响规律.在Ar气压为0.8Pa,溅射功率为38W的条件下在TC4试表面沉积了厚约1μm的Ti薄膜,采用感应加热方式将其分别快速加热至600℃,800℃,900℃和1000C.通过对薄膜表面形貌、成分及物相分析发现,随着加热温度的升高,薄膜晶粒显著长大,少量Al,V原子扩散进入Ti薄膜中,除Ti6O外未发现新的物相.

关键词: Ti薄膜 , 扩散焊 , 钛合金

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