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脉冲激光沉积法生长In掺杂SrTiO3薄膜及其微观结构研究

张亦文 , , 赵俊亮 , 于伟东 , 高相东 , 吴峰

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00531

采用脉冲激光沉积(PLD)方法在MgO/TiN/Si(100)衬底上, 生长不同In掺杂量的SrInxTi{1-xO3(x=0、0.1、0.2)薄膜, 研究In掺杂及本征SrTiO3(STO)缓冲层对薄膜结晶性能、表面形貌、生长模式及紫外拉曼光谱特性的影响. 结果表明, In掺杂导致薄膜结晶度降低, 通过引入本征STO缓冲层可有提高In掺杂STO薄膜的结晶度, 增强薄膜的(200)择优取向性. 然而随In掺杂量的增加, 薄膜表面平均粗糙度增大; 生长模式由层状生长转变为岛状-层状复合模式; 拉曼一次声子振动模式峰强逐渐增强, 说明薄膜的晶体对称性降低.

关键词: 脉冲激光沉积法 , SrTiO3 film , buffer layer , crystallinity

脉冲激光沉积法生长In掺杂SrTiO3薄膜及其微观结构研究

张亦文 , , 赵俊亮 , 于伟东 , 高相东 , 吴峰

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2008.03.022

采用脉冲激光沉积(PLD)方法在MgO/TiN/Si(100)衬底上,生长不同In掺杂量的SrInxTi1-xO3(x=0、0.1、0.2)薄膜,研究In掺杂及本征SrTiO3(STO)缓冲层对薄膜结晶性能,表面形貌、生长模式及紫外拉曼光谱特性的影响.结果表明,In掺杂导致薄膜结晶度降低,通过引入本征STO缓冲层可有提高In掺杂STO薄膜的结晶度,增强薄膜的(200)择优取向性.然而随In掺杂量的增加,薄膜表面平均粗糙度增大;生长模式由层状生长转变为岛状-层状复合模式;拉曼一次声子振动模式峰强逐渐增强,说明薄膜的晶体对称性降低.

关键词: 脉冲激光沉积法 , SrTiO3薄膜 , 缓冲层 , 结晶度

氧等离子体辅助脉冲激光沉积法制备PMN-PT薄膜的微观结构和电学性能

何邕 , , 高相东 , 冷雪 , 王炜

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2011.11299

采用氧等离子体辅助脉冲激光沉积方法(PLD)在硅衬底上, 制备出高度(001)取向的钙钛矿相结构钛铌镁酸铅(PMN-PT)薄膜. 研究了氧等离子体辅助对PMN-PT薄膜相结构、微观形貌和电学性能的影响. 结果表明, 通过在薄膜沉积过程中引入高活性的氧等离子, 可以有地提高PMN-PT薄膜的结晶质量和微观结构. 未采用氧等离子体辅助PLD方法制备PMN-PT薄膜的介电常数(10 kHz)和剩余极化(2Pr)分别为1484和18 μC/cm2, 通过采用氧等离子体辅助, 其介电常数和剩余极化分别提高至3012和38 μC/cm2.  

关键词: 脉冲激光沉积法 , PMN-PT thin films , microstructure , electrical properties

氧等离子体辅助脉冲激光沉积法制备PMN-PT薄膜的微观结构和电学性能

何邕 , , 高相东 , 冷雪 , 王炜

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2011.11299

采用氧等离子体辅助脉冲激光沉积方法(PLD)在硅衬底上,制备出高度(001)取向的钙钛矿相结构钛铌镁酸铅(PMN-PT)薄膜.研究了氧等离子体辅助对PMN-PT薄膜相结构、微观形貌和电学性能的影响.结果表明,通过在薄膜沉积过程中引入高活性的氧等离子,可以有地提高PMN-PT薄膜的结晶质量和微观结构.未采用氧等离子体辅助PLD方法制备PMN-PT薄膜的介电常数(10 kHz)和剩余极化(2Pr)分别为1484和18 μC/cm2,通过采用氧等离子体辅助,其介电常数和剩余极化分别提高至3012和38 μC/cm2.

关键词: 脉冲激光沉积法 , PMN-PT薄膜 , 微观结构 , 电学性能

基于纳米多孔钛酸锂结构的染料敏化太阳电池复合光阳极研究

虎学梅 , 顾正莹 , , 高相东 , 施鹰

无机材料学报 doi:10.15541/jim20150094

本研究探索了具有良好导电性能的多孔钛酸锂结构对传统氧化钛纳米晶光阳极的增强效果。以钛酸四丁酯、氢氧化锂为源,采用溶胶-凝胶结合溶剂热反应和高温烧结方法,制备了具有多孔结构的尖晶石型 Li4Ti5O12纳米粉体;在表征其结晶性、微观形貌及孔结构的基础上,将其与TiO2纳米晶浆料复合,制备复合光阳极,并详细考察了钛酸锂掺量、结晶性和孔结构等对电池光电转换性能的影响规律。结果表明:随热处理温度升高, Li4Ti5O12结晶性增强,晶粒尺寸明显增大,比表面积下降。掺入Li4Ti5O12粉体可以有提高光阳极膜的染料负载量,降低TiO2/染料分子/电解液界面的电子传输阻抗,从而明显提高复合光阳极的光电流密度(Jsc=13.91 mA/cm2)和开路电压(Voc=0.8 V)。Li4Ti5O12含量为1wt%的复合光阳极电池光电转化效率最好,达到7.011%,比纯TiO2电池(效率:5.384%)提高30%。

关键词: 染料敏化太阳电池 , 复合光阳极 , 钛酸锂 , 光电转换

高质量四脚状ZnO纳米结构的制备及其影响因素

于伟东 , , 高相东

无机材料学报

采用汽相传输法制备高质量四脚状ZnO纳米结构(T-ZnO).以ZnO纳米晶为同质催 化剂,在锌源-衬底间添加蒸汽过滤器,研究过滤器和纳米晶对产物组成和形态的影响,以及 T-ZnO的结构特征.实验结果表明,T-ZnO为纤锌矿结构,分布均匀、尺寸一致,由四个柱 状纳米棒和一个球形核心组成.纳米棒直径约为60nm,沿<0001>晶向生长.过滤器的使用可 有地去除产物中颗粒,而ZnO纳米晶的使用明显降低其尺寸,提高其均匀性.

关键词: 四脚状氧化锌纳米结构 , homogenous catalyst , influence factors

高质量四脚状ZnO纳米结构的制备及其影响因素

于伟东 , , 高相东

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2005.02.012

采用汽相传输法制备高质量四脚状ZnO纳米结构(T-ZnO).以ZnO纳米晶为同质催化剂,在锌源-衬底间添加蒸汽过滤器,研究过滤器和纳米晶对产物组成和形态的影响,以及T-ZnO的结构特征.实验结果表明,T-ZnO为纤锌矿结构,分布均匀、尺寸一致,由四个柱状纳米棒和一个球形核心组成.纳米棒直径约为60nm,沿<0001>晶向生长.过滤器的使用可有地去除产物中颗粒,而ZnO纳米晶的使用明显降低其尺寸,提高其均匀性.

关键词: 四脚状氧化锌纳米结构 , 同质催化 , 影响因素

透明致密ZnO薄膜的恒电流沉积及生长过程研究

彭芳 , , 高相东 , 于伟东 , 邱继军

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.00354

采用阴极恒电流沉积方法, 以Zn(NO 3)2水溶液为电沉积液, 在经电化学预处理后的ITO导电玻璃上生长了具有c轴高度择优取向、均匀致密的透明ZnO薄膜. 采用X射线衍射、扫描电镜和光学透过谱等技术, 对不同沉积时间条件下薄膜的结晶特性、表面和断面结构、光学性质等进行了研究. 结果表明, 沉积时间对ZnO薄膜质量影响明显: 在薄膜生长后期(120min), ZnO薄膜的结晶性和表面平整度明显降低, 晶粒尺寸增大, 可见光透过率下降, 表明高质量ZnO薄膜的电化学沉积有一最佳生长时间; 此外, 薄膜厚度随时间呈线性变化, 表明可通过生长时间实现对ZnO薄膜厚度的精确控制.

关键词: ZnO薄膜 , electro-deposition , pretreatment , microstructure

偏压加强MPCVD法Ir(100)/MgO(100)基片上金刚石异质外延形核

义锋 , 佘建 , 苏静杰 , 唐伟忠 , , 徐小科

人工晶体学报

利用自行研制的可调谐圆柱谐振腔式微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置的结构优势,设计了电极可调节的偏压加强MPCVD装置.采用脉冲激光沉积(PLD)法制备了Ir(100)/MgO (100)基片.采用偏压加强MPCVD装置进行了金刚石异质外延形核的探索,在Ir(100)/MgO (100)基片上实现了金刚石异质外延形核.扫描电镜结果显示,[100]取向的金字塔状外延金刚石晶粒的形核密度达108~109 cm-2.

关键词: 金刚石 , 异质外延 , 化学气相沉积 , 微波等离子体 , 偏压加强

衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响研究

边继明 , , 高相东 , 于伟东

无机材料学报

以醋酸锌水溶液为前驱体,采用改进的超声喷雾热解法在Si(100)衬底上沉积ZnO薄膜,以X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等手段分析所得ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌,着重考察了衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响.结果表明,在衬底温度为500℃下所得ZnO薄膜表面均匀光滑,属六方纤锌矿结构,且沿c轴择优生长,晶粒尺寸的为40~50nm;衬底温度对ZnO薄膜生长过程影响显著,随衬底温度的升高,薄膜生长速率存在一极限值,且ZnO薄膜的c轴取向趋势增强,晶粒尺寸得到细化.

关键词: 氧化锌 , thin film , ultrasonic spray pyrolysis (USP)

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