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反应离子刻蚀工艺仿真模型的研究

陆建祖 , 魏红振 , 李玉 , 张永刚 , 林世鸣 , 余金中 , 刘忠立

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.031

以SF6/N2混合气体对Si反应离子刻蚀工艺研究为例提出干法刻蚀计算机工艺模拟的方法:在分段拟合优化工艺条件下采用人工神经网络方法建立干法刻蚀仿真模型,可以予测给定射频功率、总气流量下刻蚀速率和纵横比,并且以仿真实验数据训练模型学习,模型具有通用性,与设备无关.

关键词: 干法刻蚀 , 工艺仿真 , 人工神经网络

ECR Plasma CVD淀积光电器件介质膜的工艺模拟

谭满清 , 陆建祖 , 李玉

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.03.028

以实验数据为基础,运用人工神经网络方法,建立了电子回旋共振等离子体化学气相沉积(ECRPlasmaCVD)淀积硅的氮、氧化物介质膜的折射率、速率与气流配比Q(N2)/Q(SiH4)和Q(O2)/Q(SiH4)关系的数学模型,此模型在给定气流配比Q(N2)/Q(SiH4)和Q(O2)/Q(SiH4)时所预测的成模折射率跟实验值符合得很好,为ECRPlasmaCVD淀积全介质光学膜的工艺打下坚实的基础.

关键词: ECRPlasmaCVD , 人工神经网络 , 气流配比 , 折射率 , 淀积速率

古代中国的金银测技术

赵怀志 , 宁远涛

贵金属 doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2001.02.012

本文系统总结了中国古代的金银鉴定检测技术,包括:比重测定;权衡金银所用的砝码天平;利用矿物形态识别自然金;利用颜色确定金中的含银比例;利用合金性能来鉴别金和银中的杂质元素;采用硬度测定法区别黄金的真伪;采用金银分离技术提高金的质量和鉴定金的成色;采用银的精炼技术提高银的质量和鉴定银的成色;采用试金石法鉴定金的纯度和区别金与黄银(银金矿);采用氧化法区别金的真伪;采用焰色试验法辨别真金与"药金”.在重量测定的单位上,发现古代中国的"两”与古希伯莱人的"谢克尔”(Shekel)相差无几,古代中国金银的测技术对世界金银科学技术的发展作出了重要贡献.

关键词: 古代中国 , , , 测定 , 鉴定

烟气脱硫脱硝技术的现状与发展

姚雨 , 郭占成 , 赵团

钢铁

介绍了国内外烟气脱硫、脱硝及同时脱硫脱硝技术的现状,分析了各种技术手段的特点和适用范围,指出了我国解决二氧化硫和氮氧化物污染办法,对于钢铁企业废气处理有借之处.

关键词: 脱硫 , 脱硝 , 电子束 , 选择催化还原

无线视频监控系统中的安全机制研究

张峰

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2010.03.021

无线视频监控系统的安全不能单纯依靠加密来保证.从信息系统安全体系的角度,对无线视频监控系统的安全进行了分析,并对系统中主要应用的权、密钥管理、空中接口加密、端到端加密等安全机制进行了分析研究.

关键词: 信息处理 , 无线视频监控系统 , 安全策略 , , 密钥管理 , 加密

LCD背光源产品的新发展

季旭东

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2002.02.007

目前,多数LCD器件都配备了背光源.在这些器件中,背光源对显示画面的亮度、对比度、发光均匀性等许多重要的性能都有影响,因而不断地改进LCD背光源,并研制新型LCD背光源是开发LCD技术的一个重要的组成部分.此,对LCD背光源产品的新发展作了介绍.

关键词: LCD , 背光源 , 荧光灯 , 性能 , 发展

北京科技大学在金属材料领域强化优势地位的思路与对策

褚洪 , 孙景宏 , 孙雍君 , 范拓源

材料导报

北京科技大学能否发挥金属材料领域的优势,不仅事关学校的发展,也关系到工业化的基础--设备制造业的发展.基于金属材料学科的大类发展思路--即四要素核心体系,着眼于制造工业的发展,提出设立材料学科综合管理机构,整合学校资源、调控招生总量和优化层次结构、建构全校统一专业规范和认体系,进一步探索特色教学法和改进大类教学与完善校企合作机制等相关思路与对策.

关键词: 金属材料 , 强化优势 , 思路与对策

紫金山金矿露天开采的几个特点

刘献华

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2006.03.008

紫金山金矿于1993年首先进行地下开采,几经扩建后1997年转向露天开采,当年实施上部矿体覆盖层揭顶大爆破,低成本大批量剥离废石;2000年全部转为露天开采,并使用陡帮开采工艺,以减少基建剥岩及费用投入;利用采场附近高阶段大容量排土场,实现30多个台阶同时排土作业;采场内多条高度大于200m放矿溜井,平硐电机车或1 132m长距离胶带机输送矿石,降低采场矿石运输距离和成本.其露天开采的几个显著特点值得类似矿山借.

关键词: 揭顶大爆破 , 陡帮开采 , 溜井-平硐运输 , 高阶段排土 , 紫金山金矿

国家自然科学基金重大项目“材料在大气、海水、土壤环境中腐蚀数据积累及腐蚀与防腐研究”通过国家鉴定和联合验收

王光雍

材料研究学报

<正> 由国家科委、国家自然科学基金委员会共同组织,并得到11个部门联合资助的国家自然科学基金重大项目“材料在大气、海水、土壤环境中腐蚀数据积累及腐蚀与防护研究”,1991年6月27日在北京通过国家鉴定和联合验收。参加鉴定和验收会的领导有中国科学院李苏,国家自然科学基金委员会常务副主任胡兆森,副主任孙枢,顾问师昌绪,国家技术监督局副局长李瑞。会议邀请14位专家,组成两个

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