王春
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牟宗信
,
刘冰冰
,
臧海荣
,
牟晓东
材料科学与工程学报
本文采用中频孪生靶非平衡磁控溅射技术在不同氮气流量比例的条件下制备出氮化硅薄膜.利用傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)、X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、椭偏仪等研究了氮气流量比率对氮化硅薄膜的微观结构、表面形貌、沉积速率、折射率的影响.结果表明:中频孪生非平衡磁控溅射技术制备的薄膜为非晶态氮化硅.随着氮气流量比率的增加,Si-N键红外光谱吸收带向低波数漂移,薄膜的沉积速率降低,表面结构更为光滑致密,氮化硅薄膜的折射率降低.薄膜的硬度和杨氏模量分别达到22和220GPa左右.
关键词:
氮化硅薄膜
,
折射率
,
磁控溅射
,
红外光谱
张延松
,
牟宗信
,
吴敏
,
丁昂
,
牟晓东
,
钱坤明
稀有金属
doi:10.13373/j.cnki.cjrm.2014.03.013
利用镀膜技术制作锰铜传感器,可以实现传感器的超薄化,提高传感器的灵敏度和线性度.改变溅射功率参数,采用中频磁控溅射技术在玻璃(SiO2)衬底上制备出一系列锰铜镍合金薄膜,重点研究沉积条件对薄膜式锰铜传感器薄膜结构、表面形貌等性能的影响.采用三维形貌仪测试薄膜厚度和计算沉积速率;采用原子力显微镜(AFM)研究薄膜的表面特征;采用X射线衍射(XRD)分析了热处理前后薄膜的微观结构;并采用直读光谱仪(DRS)测试溅射靶材和薄膜的成分.研究结果表明:沉积速率随溅射功率增加而增加,溅射功率达到1 kW后沉积速率保持在100 nm·min-;溅射功率也会明显的影响薄膜的表面形貌,薄膜的表面粗糙度RMS随溅射功率的增加而减小;XRD分析结果表明溅射功率对薄膜的微观结构影响不大,样品的微观结构在热处理前后没有显著变化,只是热处理后样品观察到了微弱的Mn微观结构取向;溅射功率变化对薄膜的成分影响较小,不同功率沉积的薄膜样品的成分相近.
关键词:
锰铜合金
,
溅射功率
,
形貌
,
磁控溅射
杨喜安
,
赵国春
,
刘家军
,
宋玉波
,
董汉文
,
高建伟
黄金
doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2011.02.003
胶东牟乳成矿带位于山东半岛的东部,控矿构造为一系列近似平行且等间距的NNE向的断层.对胶东胶莱盆地、东西向构造、牟乳成矿带及其西部变质核杂岩区的金矿床的控矿构造特征进行了研究,并对牟乳成矿带及其西部变质杂岩区的金矿床的成矿时代、地球化学特征进行了对比.研究表明,胶东胶莱盆地、东西向断裂、牟乳成矿带及其西部变质核杂岩区金矿床的控矿构造是伊佐奈岐板块和欧亚大陆板块碰撞过程产生的一系列构造;胶东牟乳成矿带为拆离断层上盘发育的断层系控矿,预测在牟乳成矿带下部,即在拆离断层附近可能存在品位更高、厚度更大的矿床.
关键词:
胶莱盆地
,
牟乳成矿带
,
拆离断层
,
控矿构造
无
材料科学与工程学报
本刊2012年第五期第801页刊登了熊晓英等作者的论文,这是本刊编辑部自创刊以来收到的第一篇这样的论文,该文对本刊在材料科学期刊中所处的地位及面临问题、发展方向作出如此客观、中肯的评价与指引,均使编辑部成员十分感动。今年恰是本刊创刊30周年纪念,谨以此《编后记》供奉广大读者,
关键词:
科学评价
,
论文
,
作者
,
务实
,
科学期刊
,
编辑部
,
创刊
程振华
,
高常庆
,
张桂霞
膜科学与技术
doi:10.3969/j.issn.1007-8924.1998.02.011
总结了东日电源厂纯水制备系统设计,阐述了高矿化度原水制取纯水工艺选择的要素,以及电渗析-离子交换联合脱盐系统应用于高矿化度原水制取纯水工艺的可行性和经济性.
关键词:
纯水
,
离子交换
,
脱盐
,
电渗析
,
阳床
,
阴床
,
混床
