夏焕雄
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向东
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牟鹏
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姜崴
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葛研
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王丽丹
人工晶体学报
等离子辅助化学气相沉积(PECVD)腔室的气流分布、温度分布是影响薄膜沉积工艺均匀性以及沉积速率的重要原因之一.本文对PECVD腔室气流建立连续流体和传热模型,研究了腔室内流场和温度分布特性；讨论了四种不同稳流室结构的PECVD腔室,在加热盘恒温400℃、质量流量5000 sccm、抽气口压力133 Pa的工艺条件下12英寸晶圆片附近上方流速、压力、温度分布情况；选择了其中一种稳流室结构作了多种质量流量( 20 ～ 5000 sccm)入口条件下的流场分析.仿真研究发现:在抽气口位置偏置的情况下,四种不同稳流室结构的腔室内热流场并未出现明显偏置,这表明抽气口偏置对工艺均匀性没有明显影响.加热盘附近上方2 mm处温度场大面均匀、稳定,且随入口质量流量变化波动很小,表现出良好的稳定性；气压分布呈现中心高边缘低的抛物线特征,流速呈现中心低边缘高的线性特征,且晶圆片附近以及喷淋头( Showerhead)入口压力和流速均随着入口质量流量的增加而升高.研究结果对PECVD腔室结构设计及工艺控制具有重要意义.
关键词:
等离子辅助化学气相沉积
,
多孔介质
,
气流仿真
,
稳流室
杨喜安
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赵国春
,
刘家军
,
宋玉波
,
董汉文
,
高建伟
黄金
doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2011.02.003
胶东牟乳成矿带位于山东半岛的东部,控矿构造为一系列近似平行且等间距的NNE向的断层.对胶东胶莱盆地、东西向构造、牟乳成矿带及其西部变质核杂岩区的金矿床的控矿构造特征进行了研究,并对牟乳成矿带及其西部变质杂岩区的金矿床的成矿时代、地球化学特征进行了对比.研究表明,胶东胶莱盆地、东西向断裂、牟乳成矿带及其西部变质核杂岩区金矿床的控矿构造是伊佐奈岐板块和欧亚大陆板块碰撞过程产生的一系列构造;胶东牟乳成矿带为拆离断层上盘发育的断层系控矿,预测在牟乳成矿带下部,即在拆离断层附近可能存在品位更高、厚度更大的矿床.
关键词:
胶莱盆地
,
牟乳成矿带
,
拆离断层
,
控矿构造
工程热物理学报
根据《吴仲华奖励基金章程》（吴奖[2010]01号），经各高校、中国工程热物理学会和中国科学院工程热物理研究所遴选和推荐，以及吴仲华奖励基金理事会评审，决定授子钟文琪、张鹏、张明明、徐纲4位青年学者“吴仲华优秀青年学者奖”，授予顾超等13位同学“吴仲华优秀学生奖”。
关键词:
基金
,
奖励
,
获奖者
,
中国科学院
,
评选
,
青年学者
,
物理研究所
,
物理学会
粉末冶金国家重点实验室
中国材料进展
粉末冶金国家重点实验室（以下简称实验室）依托于中南大学，是国内惟一的粉末冶金材料领域的国家重点实验室，现已发展成为我国乃至国际上从事粉末冶金高层次科研、培养高级人才、进行国内外合作科研的综合基地。中国工程院黄伯云院士现为重点实验室主任。主要研究方向：相图计算与材料设计；粉末冶金过程理论与模拟；制粉、成形、烧结与全致密化新技术应用基础研究；粉末冶金新材料制备原理与性能；先进航空刹车副用复合材料；纳米粉末及纳米晶块状材料等。其中材料的相图、相变及合金设计研究是实验室的重要研究方向之一。自1978年黄培云院士和金展鹏院士开辟该研究方向以来，相关研究工作在国际上产生了重大影响。杜勇教授作为金展鹏院士和黄培云院士培养的第一位博士，对该研究方向的发展做出了重要贡献。其团队经过10余年的创新研究，取得了一系列的重要成果。
关键词:
金蕾
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唐其环
,
彭长灏
,
牟献良
腐蚀科学与防护技术
大气腐蚀的模拟加速试验方法研究(摘要)金蕾,唐其环,彭长灏,牟献良(中国兵器工业第五九研究所,重庆630039)试样材料为20fi4比学成分《ql.):C017SI020.Mfl04(1.P001,50017,Cfl002、N1001.Cll001、A1001试验方法采用表1列出的加速试验TablelAcceleratedtestingconditions!相关性由于本研究中只m了一种材料,因此不能采用相关系数法定量计算,对相关性只作定性评价1刽1、2分别是加速试验和户外暴露试验结果从图中曲线看,加速试验
关键词:
null
,
accelerated testing
,
correlation analysis
,
carbon steel
