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低能低剂量注水形成SOI结构材料的研究

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.02.002

采用无质量分析器的离子注入机,以低能量低剂量注水的方式代替常规SIMOX注氧制备SOI材料.测试结果表明,此技术成功地制备了界面陡峭、平整,表层硅单晶质量好的SOI结构材料.在剂量一定的条件下,研究不同注入能量对SOI结构形成的影响,使用剖面透射电镜技术(XTEM)和二次离子质谱技术(SIMS)等测试方法对注入样品和退火后样品进行分析.结果表明,表层硅厚度随注入能量增大不断增大;埋层二氧化硅厚度相对独立,仅在超低能(50keV)低剂量情况下厚度出现明显降低;埋层质量(包括界面平整度、硅岛密度等)与注入能量变化相关.

关键词: 低剂量注水 , 注入能量 , SOI结构

氢氧复合注入对SOI-SIMOX埋层结构影响的研究

易万兵 , 陈猛 , 陈静 , 王湘 , 刘相华 , 王曦

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.01.004

实验研究了氢、氧复合注入对注氧隔离技术制备 SOI(Silicon On Insulator)材料埋层结构的影响.用截面透射电子显微镜和二次离子质谱技术分析了退火前后材料的微结构变化.研究表明, 氢离子的注入有利于注氧隔离制备的 SOI材料埋层的增宽.进一步的结果表明,室温氢离子注入导致的增宽效应比高温注入明显.

关键词: 注氧隔离 , 氢、氧复合注入 , 埋层增宽

炼油厂污水回用于循环水系统腐蚀影响因素

余伟明 , 田剑临 , 谭红 , 王湘 , 杨军文

腐蚀与防护 doi:10.3969/j.issn.1005-748X.2004.12.011

通过静态、动态等多种试验手段,对炼油厂污水回用于循环冷却水系统中Cl-浓度、油含量、浊度、含盐量、CODcr(化学耗氧量)等因素对循环水系统的腐蚀作用进行了研究.动态模拟试验结果表明,回用100%污水条件下监测试管平均腐蚀速率为0.0695mm/a、粘附速率为18.88mcm(毫克每平方厘米每月).为炼油厂污水回用于循环冷却水的水质控制指标提供了试验依据.

关键词: 循环冷却水 , 污水回用 , 腐蚀 , 动态模拟试验

含碘聚甲基丙烯酸酯类X光显影材料的制备

王湘 , 叶霖 , 张爱英 , 冯增国

应用化学 doi:10.3724/SP.J.1095.2010.90318

由甲基丙烯酸正丁酯(BMA)与2-(2'-碘苯甲酰)-O-甲基丙烯酸乙酯(2-IEMA)自由基共聚制备了一种X光显影材料.~1H NMR分析表明,该共聚物中2种结构单元之比与投料比吻合.GPC测得该共聚物的分子量随2-IEMA含量增加而降低.DSC分析表明,共聚物的玻璃化转变温度在22.3～28.0 ℃之间,与Fox方程计算值比较接近,而且随2-IEMA含量的增加而升高.TGA测得共聚物的分解温度为250 ℃,具有很好的热稳定性.力学性能测试结果表明,共聚物的拉伸强度随BMA含量的增加而增加,最大拉伸强度可达到7.46 MPa.X光显影性测试表明,该共聚物具有良好的显影性,显影效果随2-IEMA含量增加而增强.

关键词: X光显影聚合物 , 自由基聚合 , 甲基丙烯酸正丁酯