李明升
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范永中
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张淑娟
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祝文
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段为梁
稀有金属材料与工程
利用非对称双极脉冲磁控溅射技术,双极分别接纯铬靶和纯铝靶,通过调整两靶的功率,以反应溅射的方式沉积不同铬铝比的氮化铬铝涂层.研究不同Al含量的氮化铬铝涂层的结构和硬度.所获得的涂层依次为Cr0.95Al0.05N、Cr0.9Al0.1N、Cr0.83Al0.17N和Cr0.75Al0.25N,均为B1NaCl结构,(220)为主要的织构取向.随着涂层中Al含量的增加,涂层表面突起的尺寸逐渐降低,涂层趋于光滑致密;低Al含量涂层为柱状晶结构,随Al含量提高,涂层结构更加致密,并向等轴晶结构转变.涂层硬度随Al含量的提高先增加后降低,Cr0.83Al0.17N涂层表现出最高的硬度,维氏硬度达到33 GPa以上.
关键词:
非对称双极脉冲磁控溅射
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氮化铬铝涂层
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微观结构
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硬度
金属学报
<正> 十年前,伟大领袖毛主席亲自主持制定了中共中央五月十六日《通知》。这个光辉的马克思主义文献,吹响了无产阶级文化大革命的进军号,照亮了这场革命的胜利航程。今天,在批判邓小平、反击右倾翻案风的斗争取得伟大胜利的时候,热烈庆祝文化大革命十周年,重新学习《通知》,我们更加深刻地认识到这场革命的必要性和它的深远意义,对于坚持无产阶级专政下的继续革命,更加充满信心。 《通知》是在毛主席为首的无产阶级司令部同刘少奇为头子的资产阶级司令部的激烈斗争中诞生的。它深刻地批判了刘少奇反革命的修正主义路线,揭露了《二月提纲》
关键词:
