王宽
,
刘敬成
,
刘仁
,
穆启道
,
郑祥飞
,
纪昌炜
,
刘晓亚
影像科学与光化学
doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2016.02.123
随着微电子工业的蓬勃发展,光刻技术向着更高分辨率的方向迈进,运用底部抗反射涂层有效消除光刻技术中的驻波效应、凹缺效应,提高关键尺寸均一性和图案分辨率,引起了广大研究者的关注.本文简要介绍了光刻胶和光刻技术,底部抗反射涂层的分类、基本原理、刻蚀工艺以及其发展状况.重点对底部抗反射涂层的最新研究进展进行了总结,尤其是碱溶型底部抗反射涂层在光刻胶中的应用研究,最后对底部抗反射涂层的发展前景和方向进行了展望.
关键词:
光刻胶
,
光刻技术
,
底部抗反射涂层
刘敬成
,
郑祥飞
,
林立成
,
穆启道
,
孙小侠
,
刘晓亚
影像科学与光化学
doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2015.03.230
以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、N-苯基马来酰亚胺(N-PMI)、甲基丙烯酸环己基酯(CHMA)为反应单体,通过自由基共聚合成了一系列共聚物PMMNC,然后与甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)反应制备了甲基丙烯酸酯共聚物G-PMMNC.利用傅立叶红外光谱(FT-IR)、核磁共振氢谱(1HNMR)、凝胶渗透色谱(GPC)、差示扫描量热(DSC)等表征了共聚物的结构与性能.随着N-PMI含量的升高,共聚物的分子量增大,玻璃化转变温度升高;以G-PMMNC为基体树脂制备了光致抗蚀剂,考察了光致抗蚀剂的耐酸性和分辨率,研究结果表明,该光致抗蚀剂的耐酸性良好,分辨率为40 μm.
关键词:
N-苯基马来酰亚胺
,
甲基丙烯酸酯共聚物
,
光致抗蚀剂
,
分辨率
林立成
,
徐文佳
,
刘敬成
,
刘仁
,
穆启道
,
刘晓亚
影像科学与光化学
doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2016.04.371
以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸苄基酯(BZMA)、甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)和丙烯酸正丁酯(BA)为共聚单体,偶氮二异丁腈(AIBN)为引发剂,2-(十二烷基三硫代碳酸酯基)-2-甲基丙酸(DMP)为链转移试剂,采用可逆加成-断裂链转移聚合(RAFT)制备了甲基丙烯酸酯共聚物(PMBBH).利用傅立叶红外光谱(FT-IR)、核磁共振氢谱(1HNMR)和凝胶渗透色谱(GPC)对共聚物的结构进行了表征.以共聚物PMBBH为基体树脂制备了负性光致抗蚀剂,考察了PMBBH的分子量对光致抗蚀剂分辨率的影响.结果表明,以数均分子量为5.45×103g/mol,重均分子量为7.79×103 g/mol的PMBBH-2作为基体树脂时,该光致抗蚀剂得到的图像轮廓清晰,图形分辨率可达50μm.
关键词:
可逆加成-断裂链转移聚合(RAFT)
,
甲基丙烯酸酯共聚物
,
光致抗蚀剂
何鉴
,
盛瑞隆
,
穆启道
影像科学与光化学
浸没式光刻技术是在原干法光刻的基础上采用高折射率浸没液体取代原来空气的空间,从而提高光刻分辨率的一种先进技术. 此项技术的实际应用,为当前IC产业的飞速发展起到了关键的作用. 本文概述了浸没式光刻技术的发展历程和浸没式光刻胶遇到的挑战及要求;对浸没式光刻胶主体树脂、光致产酸剂及添加剂的研究进展进行了综述;最后对浸没式光刻胶的研究发展方向作了进一步的探讨及初步预测.
关键词:
浸没式光刻
,
光刻胶
,
主体树脂
,
光致产酸剂
沙晔
连铸
辊道是连铸机中不可或缺的部分.辊道不仅需要满足铸坯的输送能力,更重要的是能满足其所处位置的速度调节要求.在实际运用过程中辊道除了由于本身结构不合理导致故障外,辊道控制上的不合理同样也会发生故障.通过在辊道调试和生产过程中发生的问题,从辊道的结构、辊道齿轮马达的选型以及辊道的控制这3个方面,来分析辊道设计时需要考虑的因素.辊道的结构除了分析固定式和吊挂式辊道的区别外还着重分析了减速箱和辊道轴的联接方式.文章详细阐述了辊道齿轮马达的选型步骤,并就不同控制要求对齿轮马达选型的影响进行了分析,从而进一步指出了辊道设计中齿轮马达选型与控制之间相辅相成的重要性.
关键词:
辊道
,
辊道齿轮马达
,
辊道控制
穆海玲
,
王洺浩
,
吴小红
,
王志登
,
李宁
电镀与涂饰
以不同粗糙度的钢板为基体,采用弗洛斯坦镀锡液在赫尔槽中电镀锡.先采用扫描电子显微镜观察了电镀初始阶段的锡镀层形貌,并通过赫尔槽试验研究了钢板粗糙度对镀层覆盖度的影响.在总电量相等的前提下,采用前期大电流后期小电流的方式电镀锡,以研究大电流启镀对镀锡层覆盖度的影响.结果表明,电镀初期锡晶核优先在原板表面轧制纹的凸起处生成并持续生长,导致镀层分布不均匀、覆盖度较低.采用大电流启镀可有效提高镀层覆盖度、均匀性和致密度.
关键词:
钢板
,
镀锡
,
粗糙度
,
大电流冲击
,
覆盖度
张增磊
上海金属
建立了启停式棒材飞剪的动力学参数计算模型,利用某棒材生产线调试和实际生产过程中获取的数据,验证了计算模型的正确性,并优化了启停式棒材飞剪设计和电机选型计算.设计中应重点注意飞剪电机的选型计算和传动系统飞轮矩的合理选取,飞剪电机必须满足飞剪加速起动的全部能力要求,能够频繁快速地起动和制动.系统飞轮矩的选取既要有利于飞剪的快速起动,又要确保传动系统在剪切过程中释放足够的动能.
关键词:
启停式
,
棒材
,
飞剪
,
动力学参数
徐成华
,
罗里荣
钢铁
介绍了启停式曲轴驱动摆动飞剪的结构形式;对其运动特性和动态特性进行了深入分析,通过理论计算确定剪切速度和电机转速的对应关系,并绘出了剪刃运动轨迹图,理论计算推导和实践调试结果一致,从而为这种飞剪的调试和控制提供了理论指导;推荐在高速薄板生产线上使用这种飞剪.
关键词:
飞剪
,
运动分析
,
轨迹图
张荣品
,
王洺浩
,
吴小红
,
王志登
,
李宁
材料保护
为得到具有良好耐蚀性的镀锡层,在对镀锡电流密度优化的基础上,保持总电镀电量及其他工艺条件不变,采用大电流冲击启镀对2种不同粗糙度的T4CA低碳钢板进行镀锡.利用扫描电子显微镜对比研究了常规电镀与大电流启镀下,不同粗糙度低碳钢板镀锡层及其软熔合金层微观形貌的变化,以及由此对镀锡板耐蚀性产生的影响.结果表明:大电流启镀可获得细致、均匀且覆盖度高的镀层,软熔合金层较为均匀、致密,耐蚀性较强.
关键词:
大电流启镀
,
冲击镀锡
,
T4CA低碳钢板
,
粗糙度
,
软熔
,
耐蚀性
