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磁控反应溅射制备GexC1-x薄膜的结构

刘正堂 , , 宋建全 , 朱景芝 , 郑修麟

材料热处理学报 doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2000.02.016

利用射频磁控反应溅射以Ar、CH4为原料气体,在较宽的工艺参数范围内制备出了GexC1-x薄膜.利用X射线衍射(XRD)、X射线光电子谱(XPS)对制备的薄膜进行了分析.结果表明,GexC1-x薄膜的结构强烈依赖于制备的工艺参数.当沉积温度较低、射频功率不大时,GexC1-x薄膜主要为非晶态结构.随着沉积温度升高、射频功率增大,薄膜中出现Ge微晶相.GexC1-x薄膜中Ge与C发生电荷的转移,形成化学键.

关键词: GexC1-x薄膜 , 磁控反应溅射 , 薄膜结构

长波红外增透保护薄膜的进展

宋建全 , 刘正堂 , , 郑修麟

材料导报

镀膜是保证红外窗口和头罩使用性能的关键技术.重点结合作者近几年的研究,介绍了类金刚石(DLC)、碳化锗(GexC1-x)、磷化物(BP、GaP)、金刚石(Diamond)等几种薄膜材料及其膜系的光学性能.

关键词: 红外 , 增透保护薄膜 , 膜系

铈对2090铝锂合金织构和力学性能的影响

张敏刚 , 金志浩 , 严隽民 , , 张宝昌

中国稀土学报

为了解Ce对铝锂合金力学性能各向异性的影响,对不同Ce含量2090铝锂合金织构进行了ODF(取向分布函数)测算,对合金不同方向性能进行了测量,分析了Ce对合金织构和力学性能的影响.2090铝锂合金主织构类型为{225}<554>,Ce不改变合金主织构类型,但造成主织构类型分布漫散;由于Ce降低了增加屈服强度各向异性织构成分的含量,故Ce可改变2090铝锂合金理想织构成分的体积分数,减小屈服强度各向异性.

关键词: 稀土 , 铝锂合金 , 力学性能

GaP薄膜的制备与性能研究

宋建全 , 刘正堂 , 郭大刚 , , 郑修麟

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2001.10.008

利用磁控溅射法成功地制备出GaP薄膜,并对GaP薄膜的沉积速率、成分、结构及红外光学性能进行了研究.结果表明,沉积薄膜中Ga与P的原子比接近1:1,形成了GaP化合物,呈非晶态结构.设计并制备出GaP/DLC复合膜系,结果表明该膜系在8~11.5μm波段对ZnS衬底具有明显的增透效果.制备的GaP薄膜的硬度明显高于ZnS衬底的硬度,且与ZnS衬底结合牢固,可提供良好的保护性能.

关键词: GaP薄膜 , 射频磁控溅射 , 增透保护膜系

工艺参数对磁控溅射磷化镓(GaP)薄膜沉积速率的影响

郭大刚 , 刘正堂 , 宋健全 ,

兵器材料科学与工程 doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2002.03.010

采用磁控溅射方法成功地在ZnS衬底上制备了磷化镓(GaP)薄膜,并系统地研究了射频功率、气体流量、工作气压、衬底温度等主要工艺参数对GaP膜沉积速率的影响规律.实验表明,随着射频功率、气体流量的增加,沉积速率逐渐增大;工作气压增大,沉积速率降低;衬底温度对沉积速率影响不太明显.

关键词: 红外窗口 , 硫化锌 , 磷化镓 , 磁控溅射

磁控反应溅射制备GexC1-x薄膜的特殊性分析

宋建全 , 刘正堂 , 于忠奇 , , 郑修麟

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2000.10.004

利用射频磁控反应溅射法,以Ar,CH4为原料气体,在较宽的工艺参数范围内制备出了GexC1-x薄膜,用干涉法测量了薄膜的厚度,对GexC1-x薄膜的沉积速率和Ge原子百分比进行了研究.结果表明,GexC1-x薄膜的沉积速率并没有随着靶中毒后而显著下降,甚至略有提高,而且Ge原子百分比可以任意变化,表现出与通常磁控反应溅射法不同的特征,这与靶中毒之后反应气体粒子在靶面和基片上的反应特点有关.这一结论对磁控反应溅射法制备碳化物有普遍意义.

关键词: 沉积速率 , 磁控反应溅射 , 靶中毒 , 原子百分比

有害杂质及Ce对8090合金薄板不同加载方向断裂特性的影响

孟亮 , , 郑修麟

金属学报

测定了含不同浓度有害杂质及Ce的8090合金薄板不同方向力学性能及断裂性能.结果表明:Fe,Si使各方向的断裂韧性下降,并使45°方向上的裂纹启裂阻力下降,Na,K除对T-L方向的启裂阻力不造成明显损害外,能够损害各方向的断裂性能.在合金中添加0.09%Ce即可显示有益的合金化作用;如果添加0.28%Ce,可明显改善含一定量Fe,Si的合金薄板各方向的断裂性能,其主要原因在于Ce可通过使再结晶组织均匀,细化晶粒,减少晶界析出相及改善断裂过程等机制抑制杂质对断裂性能的危害.

关键词: Al-Li合金 , impurity , Ce , fracture behaviour

靶材溅射及溅射原子输运的计算机模拟

李阳平 , 刘正堂 ,

功能材料

用软件SRIM及蒙特卡罗法综合模拟了靶材溅射及溅射原子输运的过程.模拟结果包括溅射原子输运到衬底时的能量、入射角和入射位置.由模拟结果知,溅射原子输运主要受P×d影响(P为真空室气压,d为靶基距),P×d愈大输运到衬底的溅射原子愈少,且能量愈小;溅射原子到达衬底时,能量集中在几电子伏范围内,且在能量很低的区域有分布峰;角度分布主要集中在垂直方向,这与从靶面出射时的分布相似,但垂直方向的分布有所减小;位置分布与从靶面出射时相比,分布范围在径向扩大、趋于均匀化,但主要在靶直径范围内.

关键词: 计算机模拟 , 溅射 , 输运 , 溅射原子

添加高岭土对准煤燃烧PM1成影响的研究

曾宪鹏 , 于敦喜 , 徐静颖 , 吴建群 , 樊斌 , 徐明厚

工程热物理学报

煤在中国能源利用中具有重要地位,由于特性独特,对准煤燃烧颗粒物的生成特性和相应控制方法的研究十分必要.本文在沉降炉中研究了1000~1300℃C下准煤高岭土添加对PM1(空气动力学直径小于1μm的颗粒物)生成的影响.实验结果表明,随着温度的升高,准煤PM1的生成量先急剧减少后略微增加,并向小粒径偏移.高岭土的添加对PM1的作用在不同温度下差异明显,1000℃C时高岭土添加大幅降低了PM1的生成量;1100℃C时,PM1的生成量较原煤有一定的降低;1300℃C时反而略微增加了PM1的生成.

关键词: , 颗粒物 , 高岭土 , 碱金属

沂沭断裂与鲁金矿床的成关系

刘永祥 , 张宝福

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2001.09.002

沂沭断裂在山东地质演化史中发挥了重要作用,它由四条主干断裂组成,每条断裂具有自己的形成演化过程和变形特征.表现在自西向东形成活动时间由老(前古生代)变新(中-新生代);力学性质由扭张-压扭-走滑;伴生(NNE向)与派生(NW向)断裂由密到疏相间展布,显示倒N字型构造型地工,控制着鲁金矿床类型及特征.基底滑脱层为地壳高导层(深17km),其中的热液体沿低级序断裂上升,对古老的重熔花岗质岩石进行广泛的碱交代作用,在不同的构造部位及层次上被改造为具不同结构与构造的花岗岩.碱交代作用的排硅、提取矿质的过程,促使热液具有了成矿能力,并随断裂构造的时空特征而变化.

关键词: 沂沭断裂 , 演化规律 , 金矿床 , 关系

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