夏焕雄
,
向东
,
牟鹏
,
姜崴
,
葛研
,
王丽丹
人工晶体学报
等离子辅助化学气相沉积(PECVD)腔室的气流分布、温度分布是影响薄膜沉积工艺均匀性以及沉积速率的重要原因之一.本文对PECVD腔室气流建立连续流体和传热模型,研究了腔室内流场和温度分布特性；讨论了四种不同稳流室结构的PECVD腔室,在加热盘恒温400℃、质量流量5000 sccm、抽气口压力133 Pa的工艺条件下12英寸晶圆片附近上方流速、压力、温度分布情况；选择了其中一种稳流室结构作了多种质量流量( 20 ～ 5000 sccm)入口条件下的流场分析.仿真研究发现:在抽气口位置偏置的情况下,四种不同稳流室结构的腔室内热流场并未出现明显偏置,这表明抽气口偏置对工艺均匀性没有明显影响.加热盘附近上方2 mm处温度场大面均匀、稳定,且随入口质量流量变化波动很小,表现出良好的稳定性；气压分布呈现中心高边缘低的抛物线特征,流速呈现中心低边缘高的线性特征,且晶圆片附近以及喷淋头( Showerhead)入口压力和流速均随着入口质量流量的增加而升高.研究结果对PECVD腔室结构设计及工艺控制具有重要意义.
关键词:
等离子辅助化学气相沉积
,
多孔介质
,
气流仿真
,
稳流室
戴子华
,
朱永伟
,
王加顺
,
肖仁杰
,
朱琳
,
李军
人工晶体学报
建模分析了固结磨料研抛过程中结构因素与工艺参数对磨粒切入工件深度的影响;采用BOE分步腐蚀法测量了不同磨料粒径FAP研抛后K9玻璃、熔石英玻璃亚表面损伤层深度;建立了亚表面损伤层深度与磨粒粒径之间的相关关系.结果表明:固结磨料研抛条件下,工件亚表面裂纹层深度与工件特性、研抛垫特性及磨粒尺寸相关;基于平均切深的亚表面损伤层模型与实验结果有较好的吻合度.为固结磨料研抛垫的设计与工艺参数的制订提供了理论依据.
关键词:
亚表面损伤层深度
,
固结磨料研抛
,
磨粒粒径
,
切入深度
李吉明
,
薛纪东
,
钟汉荣
合成材料老化与应用
采用氯丁橡胶为基体材料，配合邻苯二甲酸二葵酯、银粉、补强填料等助剂，采用行星分散工艺，制备得到广研R型点焊密封胶，对研制的产品进行了性能评估：应用广研R型点焊密封胶的试样，其点焊质量与美国同类产品无明显差距，达到焊接质量标准，且一定范围内的涂胶质量对剪切拉力和焊核直径未显示出差异；密封性能试验中，广研R型点焊密封胶显示出较好的密封性能，试验的最大气压值达0．25 MPa；另外，产品在人工气候老化试验后无裂纹，保持粘性。
关键词:
点焊密封胶
,
双面单点
,
焊接质量
,
焊核直径
,
密封性能
,
耐老化
于仁红
,
周宁生
,
王慧芳
,
胡书禾
耐火材料
doi:10.3969/j.issn.1001-1935.2017.01.022
针对无机非金属材料工程专业毕业论文指导工作中存在的问题,结合河南科技大学高温材料研究院近年来对毕业论文指导工作的实践,对毕业论文工作中的选题、导师、经费与设备等方面的一些新尝试进行了阐述.实践表明,这些新尝试不仅缓解了经费、设备紧张等问题,提高了毕业论文质量和学生综合素质,同时还锻炼了青年教师的科研能力,促进了学校与企业的产、学、研合作.
关键词:
毕业论文
,
无机非金属材料工程
,
选题
,
创新能力
贾明
,
解茂昭
,
周磊
,
刘红
工程热物理学报
非结构化自适应列表法(ISAT)方法以其高效、误差可控的突出优点在最近的使用详细反应动力学的燃烧计算中得到了广泛的应用.本文通过对ISAI,基本原理的分析,讨论了ISAT存在的间题及改进的方法.在配对混合搅拌反应器(PMSR)和均质压燃(HCCI)发动机中,利用ISAZ,对不同的改进方案进行了计算比较,讨论了影响ISAT方法性能,如计算时间、内存占用和误差控制等方面的因素.结果表明逆向搜索方法可以显著提高ISAT的加速比,动态存储库方法可以大大降低内存的占用量.
关键词:
化学动力学模型
,
存储/提取法
,
非结构化自适应列表法
,
配对混合搅拌反应器
,
均质压燃发动机
