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衬底温度对Cu2O薄膜结构和性能的影响

, 张铭 , 王玫 , 李英姿 , 李朝荣 , 李华 , 黄安平 , 严辉

人工晶体学报

采用射频磁控溅射技术在石英衬底上制备了Cu2O薄膜.系统研究了衬底温度对薄膜结构、光学和电学性能的影响.XRD的结果显示,在所有衬底温度条件下均可得到单相的Cu2O结构,而且随着衬底温度由500 K升至800 K,薄膜表现出(111)择优取向的生长特点.电学和光学测试结果表明,室温电导率和光学带隙随着衬底温度的升高而增加,800 K制备的薄膜的带隙值最高约为2.58 eV.

关键词: Cu2O薄膜 , 电导率 , 光学带隙 , 衬底温度

ITO薄膜可见光区增透性能研究

李仁莹 , 王明 , , 高方圆 , 唐芳 , 王玫 , 刁训刚

人工晶体学报

采用MPS单极性脉冲磁控溅射法,在PMMA衬底上制备SiO2增透薄膜,通过改变溅射时间达到最优的增透效果.在此基础上,制备了不同溅射时间的ITO薄膜,系统研究了增透前后的可见光透过率、方块电阻和红外发射率的变化.实验结果表明,增透后薄膜可见光平均透光率提高大约6%,对于溅射时间小于60 min的ITO薄膜增透之后的平均透光率达到80%以上,同时薄膜的方块电阻以及红外发射率变化较小.

关键词: SiO2薄膜 , 增透 , ITO薄膜

P型宽带隙半导体CuAl1-xFexO2的光电性能研究

赵学平 , 张铭 , , 培明 , 严辉

稀有金属材料与工程

采用固相反应合成了CuAl1-xFeO2单相多晶材料,系统报道了该系列样品的X射线衍射(XRD)、紫外吸收光谱以及电学性能的测量.结果表明,Fe3+取代CuAlO2中的Al3+,不改变材料的晶体结构.随着掺杂量的增加,材料的光学带隙宽度逐渐减小,导电性能明显提高.当x=0.10时,样品的室温电导率达到3.38×10-1 S·cm-1;所有掺杂样品的电导率随温度变化曲线在近室温区,很好地符合Arrhenius关系,其热激活能为20~32 meV;Hall系数均为正值,表明所有样品都为P型半导体.

关键词: P型 , 带隙 , 铜铁矿 , Fe掺杂CuAlO2

衬底温度对溅射法生长Cu-Al-O薄膜性能的影响

兰伟 , , 张铭 , , 严辉 , 王印月

稀有金属材料与工程

使用多晶CuAlO2陶瓷靶,利用射频磁控溅射法沉积Cu-Al-O薄膜.傅立叶变换红外光谱显示薄膜中存在与CuAlO2相关的Cu-O,Al-O和O-Cu-O键.在可见光范围内Cu-Al-O薄膜具有较好的透过性,衬底温度为400℃~500℃时薄膜透过率在60%~70%之间,计算拟合得到Cu-Al-O薄膜的直接和间接带隙能分别为3.52 eV和1.83 eV左右,与多晶CuAlO2薄膜结果一致.在近室温区薄膜符合半导体热激活导电机制,其电导率随衬底温度的升高先增大后减小,500℃沉积的薄膜导电性较好,室温电导率达到2.36×10-3 S·cm-1,这可能源于Cu-Al-O薄膜中与CuAlO2相关的键合形成情况的改善.

关键词: Cu-Al-O薄膜 , 衬底温度 , 透过率 , 电导率

p型透明导电氧化物CuAlO2薄膜的研究进展

李军 , 兰伟 , 张铭 , , 严辉

材料导报

透明导电氧化物(TCO)的出现开拓了光电子器件研究的新领域.但p型TCO的相对匮乏严重制约了透明氧化物半导体(TOS)相关器件的开发与应用.CuAlO2作为一种天然的p型TCO成为近年来p型TCO的研究热点.介绍了p型TCO的研究现状,综述了不同制备方法制备p型CuAlO2薄膜的研究进展,以及在器件方面的应用,并对其前景进行了展望.

关键词: 透明导电氧化物(TCO) , p型TCO , CuAlO2薄膜

新型高效热电材料研究进展

石玥 , 高方圆 , , 刁训刚

金属功能材料

热电材料是一种集发电与制冷两种功能于一身的新型功能材料,已经成为21世纪新型功能材料研究领域的热点.概述了热电材料的发展历史,阐明了热电效应的理论基础,新型高效热电材料的发展现状及发展趋势,并对如何提高热电材料的优值系数及热电转化效率进行了分析.

关键词: 热电材料 , 优值系数 , 转换效率 , 温差发电器

N2流量对室温磁控溅射制备Ti-N薄膜太阳能光谱吸收特性的影响

王轩 , , 张敏 , 高方圆 , 朱敦智 , 刁训刚

稀有金属材料与工程

利用非平衡磁控溅射技术,在室温条件下制备了一系列不同N2流量的Ti-N薄膜,研究了N2流量对薄膜微观形貌和光学性能的影响.根据分析结果设计并制备了四层结构的Ti-N太阳能选择性吸收薄膜,通过软件对薄膜进行了优化设计并进行了实验验证.结果表明,随着N2流量的增加,薄膜的微观形貌发生变化,逐渐出现气泡状沉积物及气泡破裂状形貌,直至变为无定型态.通过紫外-可见-近红外光谱分析可知,选用合适的工艺可有效提高太阳能吸收薄膜光学性能,利用软件对薄膜进行优化设计可使薄膜光学性能获得进一步改进,经过优化的薄膜吸收率达0.9048,可用作太阳能光谱选择性吸收薄膜.

关键词: 磁控溅射 , 室温 , 氮化钛 , 选择性吸收薄膜 , 优化设计

含氟共聚聚酰亚胺的合成与性能研究鲁云华,赵洪斌,迟海军,岩,肖勇,胡知之

鲁云华 , 赵洪斌 , 迟海军 , , , 胡知之

绝缘材料

以1,4-双(4-氨基-2-三氟甲基苯氧基)苯(6FAPB)为含氟二胺单体,均苯四甲酸二酐(PMDA)和1,2,3,4-环丁烷四酸二酐(CBDA)为二酐单体,经低温溶液缩聚反应得到聚酰胺酸,再经热酰亚胺化处理制备出含氟共聚聚酰亚胺(CPI)薄膜.采用红外(IR)、紫外(UV-Vis)、溶解性测试等对CPI进行结构与性能表征,考察两种二酐单体的不同物质的量之比对共聚聚酰亚胺光学性能和溶解性的影响.结果表明:随着脂环二酐CBDA摩尔配比的增加,CPI薄膜在410 nm处的光透过率逐渐增加,薄膜颜色逐渐变浅,溶解性有所改善.

关键词: 聚酰亚胺 , 共缩聚 , 含氟 , 结构与性能

新型吸材料研究进展

孙志岗 , 乔小晶 , 任庆 , 李旺昌

宇航材料工艺

以铁氧体复合吸材料为例,概述了吸材料发展趋势;介绍了两种新型隐身材料(碳纳米管复合吸材料和左手材料)的发展现状,并对我材料的发展提出一些建议.

关键词: 隐身材料 , 新型吸材料 , 纳米材料 , 左手材料

声表面用基片材料

郝俊杰 , 徐廷献

硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2000.06.007

本文综述了压电材料在声表面器件中的应用,分别介绍了压电单晶、压电陶瓷、压电薄膜等基片在SAW器件中的发展进程及其各自的特点,并对我声表面用基片材料的发展进行了展望.

关键词: 声表面 , 压电 , 基片

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