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基底温度对直流磁控溅射制备氮化铜薄膜的影响研究

李兴鳌 , 杨建平 , 左安友 , 高雁军 , , 任山令 , 李永涛

材料导报

采用反应直流磁控溅射镀膜法,在氮气分压为0.9Pa、不同基底温度下、玻璃基底上制备了纳米多晶Cu_3N薄膜,并研究了基底温度对薄膜结构和性能的影响.结果表明,当基底温度为100℃及以下时,薄膜以[111]方向择优生长为主;在150℃及200℃时,薄膜以[100]方向择优生长为主;250℃时开始出现Cu的[111]方向生长,300℃时已完全不能形成Cu_3N晶体,只有明显的Cu晶体.随基底温度的升高,薄膜的沉积速率在13~28nm/min呈U型变化,低温和高温时较高,150℃时最低;薄膜的电阻率显著降低;薄膜的显微硬度先升后降,100℃时显微硬度最大.

关键词: 氮化铜薄膜 , 直流磁控溅射 , 基底温度 , 热稳定性

磁控溅射制备铁掺杂氮化铜薄膜的研究

李兴鳌 , 刘祖黎 , 左安友 , , 杨建平 , 姚凯伦

材料导报

采用反应磁控溅射法在氮气分压0.5Pa、基底温度100℃条件下,在玻璃基底上分别制备了氮化铜薄膜和铁掺杂氮化铜薄膜.XRD显示氮化铜薄膜择优(111)晶面生长,铁掺杂使氮化铜薄膜的结晶程度减弱.AFM显示铁掺杂使氮化铜薄膜粗糙度增加.铁掺杂不同程度地提高了氮化铜薄膜的沉积速率和电阻率.

关键词: 氮化铜薄膜 , 磁控溅射 , 电阻率

直流磁控溅射制备氮化铜薄膜的热稳定性研究

左安友 , , 杨建平 , 李兴鳌

材料导报

用直流磁控溅射方法,在氮气分压为0.5Pa、不同的基底温度下,于玻璃基底上制备了Cu3N薄膜.当基底温度为100℃及以下时,温度越高薄膜的结晶程度越好.当基底温度在100℃以上时,随着基底温度的升高,薄膜的结晶程度逐渐减弱,200℃时结晶已很弱,300℃时已完全不能形成Cu3N晶体.薄膜的电阻率随基底温度的变化不大,薄膜的沉积速率随基底温度的升高在18~30 nm/min之间近似地线性增大,薄膜的显微硬度随基底温度的升高而略有降低.对基底温度为室温和100℃下制备的氮化铜薄膜进行不同温度下的真空退火,研究了它们的热稳定性.XRD测试表明,薄膜在200℃时开始出现分解,350℃时完全分解.比较在基底温度为室温和100℃下制备的样品,发现室温下制备的氮化铜薄膜比100℃下制备的氮化铜薄膜稳定.

关键词: 氮化铜薄膜 , 直流磁控溅射 , X射线衍射 , 热稳定性

磁控溅射制备Al掺杂氮化铜薄膜研究

, 左安友 , 李兴鳌

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.05.033

利用磁控共溅射方法在玻璃基底上制备出了Al掺杂Cu3N薄膜,研究了其晶体结构、表面形貌、光学特性和电学特性.XRD结果表明Al掺杂没有引起峰位的明显变化,说明Al替代了Cu的位置或者进入晶界处,并且随掺杂含量升高,结晶度降低;扫描电子显微镜图像表明Al掺杂之后使得氮化铜晶粒形状变得不规则,晶界变得模糊,说明Al掺杂会抑制氮化铜晶体的生长;通过光学透射谱计算得到光学带隙,Al掺杂降低了氮化铜薄膜的光学带隙,并随着掺杂含量的增加而逐渐减小,实现了Al掺杂氮化铜薄膜光学带隙的连续可调,带隙减小源于Al外层电子的局域态进入氮化铜的带隙间,增加了中间态.同时四探针的测试也表明掺杂之后电阻率变小.

关键词: 氮化铜 , 薄膜 , Al掺杂 , 光学特性 , 电学特性

模具钢合金化及其强化机制

程先华

上海金属 doi:10.3969/j.issn.1001-7208.2001.02.001

归纳了常用和新型的热模具钢,并着重介绍热模具钢中的合金元素,碳化物及其强化机制

关键词: 模具钢 , 合金化 , 强化机制

用基准试剂标准测定钢中微量氧

郭少毅

冶金分析 doi:10.3969/j.issn.1000-7571.2000.04.026

介绍用重铬酸钾基准试剂配制氧浓度标准曲线,可适用于钢中微量氧的测定.

关键词: 基准试剂 , ,

用洗精煤燃料的烧结生产

李利剑 , 高丙寅

钢铁

本文论述了在安钢原、燃料条件下用洗精煤替代原煤燃料的烧结生产可行性研究及效果.实践证明,烧结生产用洗精煤替代原煤燃料,可使烧结矿SiO2降低,TFe提高,高炉技术经济指标改善.

关键词: 洗精煤 , 固体燃料 , 烧结生产

用褐铁矿烧结铺底料的研究

臧疆文 , 张群 , 刘新娣 , 张则刚 , 柯建新 , 杨恒远

钢铁

为解决不加铺底料烧结的弊端,研究了用褐铁矿烧结铺底料.研究结果表明:用梧桐沟褐铁矿烧结铺底料可以取得较好的烧结生产指标,烧结后梧桐沟褐铁矿的烧失降至0.48 %,TFe提高到63 %;转鼓指数降至80 %;可以利用烧结过程产生的热量使结晶水充分脱除,并使碳酸盐充分分解.

关键词: 褐铁矿 , 铺底料 , 烧结

用块铁矿烧结铺底料的试验研究

应自伟 , 许力贤 , 姜茂发 , 廉树杰 , 田青

材料与冶金学报 doi:10.3969/j.issn.1671-6620.2002.03.004

用纽曼铁矿和海南铁矿铺底料的烧结杯试验表明:两种块矿替代烧结矿铺底料都有利于提高烧结生产率,降低烧结能耗,改善烧结矿强度和低温还原粉化指标,后者效果更显著.在烧结过程中,两种块矿铺底料不发生爆裂,还可脱除结晶水及硫等有害杂质.

关键词: 铺底料 , 烧结生产率 , 强度 , RDI

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