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射频磁控溅射制备Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜的表面结构调控

王萍 , 李弢 , , 古宏伟

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2007.01.026

研究了Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备Ba0.7Sr0.3TiO3(BST7/3)薄膜时,基片加热温度和溅射功率对薄膜显微形貌和成相的影响.实验结果表明:常温下低功率溅射的BST7/3薄膜,表面形貌非常平整,但为非晶态物质的堆积;400 ℃高功率150 W溅射4 h的BST薄膜,其最大表面起伏约为40 nm;400 ℃低功率、长时间8 h溅射的BST薄膜,其表面起伏约为12 nm;说明在保证BST充分成相的前提下,可以通过控制溅射功率和时间调控BST薄膜的表面形貌,降低表面粗糙度,使之适于后续器件制备工艺.介电性能测量表明,400 ℃,75 W,8 h溅射获得的BST7/3薄膜体现出典型的位移型铁电体特征;1 kHz薄膜的损耗约为0.04.

关键词: 射频磁控溅射 , Pt/Ti/SiO2/Si , BST薄膜 , 表面形貌

射频磁控溅射法制备(100)择优取向Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜

, 李弢 , 古宏伟

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2006.03.031

用射频磁控溅射法在快速热处理过的Pt/Ti/SiO2/Si(100)基体上制备了Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜.通过引入溅射因子α,在相同工艺条件(高温大功率溅射)下,对靶材成分进行调整,使薄膜成分无化学计量比偏离.薄膜成相较未调整前有显著改善,低角区的衍射杂峰消失.{100}方向有择优生长,同体材料及sol-gel法制备的BST薄膜有明显不同,研究认为是成分调整后,薄膜成分无偏离所致.

关键词: 射频磁控溅射 , 铁电薄膜 , BST

非致冷红外焦平面阵列用铁电薄膜

, 李弢 , 古宏伟

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2005.01.021

在简要阐述红外成像发展现状基础上,系统介绍了铁电薄膜的性质、制备及在非致冷红外热成像系统应用中的一些热点问题.重点介绍当前有重大技术突破的介质测辐射热式焦平面探测器,比较了热释电模式、介电模式的优缺点及发展前景.由于介质测辐射热式信号获得方式较热释电式有较高的比探测率、响应率、成象精度和质量及较轻的体积和重量,可以预测在不断提高探测用铁电薄膜介电温度系数、损耗及大面积均匀性,不断改进其读出电路的基础上,将成为今后铁电非致冷红外热成像发展的主流.

关键词: 非致冷红外热成像 , 铁电薄膜 , 介电-温度响应 , 热释电性

涂料概述

王连杰 , 高焕方

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2004.06.005

重点对吸涂料的吸机理以及粘结剂和吸收剂种类进行了论述,并对吸涂料的发展趋势进行了简单描述.

关键词: 吸收剂 , 涂料 , 隐身涂料

毫米/厘米兼容吸涂层的设计与研究

于名讯 , 丁文皓 , 李云南 , 何华辉

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2007.07.003

以电磁理论为基础,对两层结构的毫米/厘米兼容吸收涂层的设计方法进行了分析,并根据理论分析的结果进行了系列吸涂层的实验.理论分析和实验结果表明,先分别以电损耗和磁损耗为主,采用单层结构分别对毫米和厘米实现较好的吸收,然后以厘米吸收层作为内层,以毫米吸收层作为外层,并进一步改善内外层之间的阻抗匹配,利用两层结构可以对毫米和厘米实现较好的兼容吸收.

关键词: 兼容吸涂层 , 毫米 , 厘米

材料的研究进展

王海泉 , 陈秀琴

材料导报

综述了目前国内外吸材料的研究动态,介绍了传统吸材料以及新型吸材料,如铁氧体吸材料、碳纤维结构吸材料、纳米吸材料、手性吸材料,多晶铁纤维吸材料,导电高聚物吸材料,雷达红外兼容吸材料的研究状况.

关键词: 材料 , 隐身技术 , 吸收剂 , 纳米材料

SiC(N)/LAS吸材料吸性能研究

罗发 , 周万城 , 焦桓 , 赵东林

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2003.03.011

研究了由SiC(N)纳米吸收剂制备的SiC(N)/LAS吸材料的介电性能,对影响介电性能的吸收剂的含量、吸材料烧结温度和碳界面层等因素进行了较为全面的研究.结果表明,在1080℃以下烧结温度对陶瓷致密度的影响较大而对陶瓷介电常数的影响较小;在1080℃以上烧结温度对烧结致密度的影响较小,对陶瓷介电常数的影响较大.吸材料介电常数的实测值与计算值之间存在很大的差异.这种差异是吸材料制备过程中纳米级的SiC(N)促进了碳界面层形成,导致了在较高温度烧结时吸材料介电常数对温度的敏感性,使吸材料介电常数的实测值与计算值之间出现了很大的差异.形成的碳界面层复介电常数的虚部较高,使吸材料对电磁的损耗进一步升高,从而使吸材料的吸性能得到增强.

关键词: 纳米SiC(N) , LAS玻璃陶瓷 , 介电常数 , 界面层 , 材料

新型吸材料研究动态

赵九蓬 , 李垚 , 吴佩莲

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2002.02.027

综述了目前国内外新型吸材料的研究动态,介绍了吸材料的吸原理和新型吸材料,包括吸涂层材料如铁氧体、纳米吸材料、手性材料、雷达红外兼容吸材料、等离子体吸材料及结构型吸材料的最新研究现状.

关键词: 材料 , 涂层 , 结构型

结构吸复合材料的吸性能

邓京兰 , 冯彬

材料科学与工程学报

本文制备了以石墨粉为添加剂的结构吸复合材料,研究了吸剂含量和材料厚度对材料吸性能的影响并分析了其相关机理.结果表明:随着石墨粉含量、材料厚度的增加,复合材料的最大吸收峰均向低频方向移动,实验试样中最大反射率可达-16.8dB,有效带宽约3GHz,具有一定的工程实用价值.复合材料的吸性能与石墨粉含量、材料厚度密切相关,含量、厚度引起材料的电磁参数发生改变,进而导致吸性能发生变化,电磁参数与吸性能的规律有待进一步深入探讨.

关键词: 材料 , 石墨粉 , 电导率 , 吸收峰值

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