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高质量立方氮化硼薄膜的射频磁控溅射制备及其性能表征

蔡志海 , 杜玉萍 , , 张平 , 赵军军 , 黄安平 , 许仕龙 , 严辉

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2005.01.003

运用射频磁控溅射法在硅片上制备了立方氮化硼薄膜,并对射频功率、气体分压比及衬底偏压等参数对膜中立方氮化硼(c-BN)含量的影响进行了研究.采用傅立叶红外光谱(FTIR)、拉曼光谱、X射线光电子能谱(XPS)和原子力显微镜(AFM)对c-BN薄膜进行了表征和分析.结果表明:300 W的射频功率是制备c-BN薄膜的最佳条件;当气体分压比Ar/N2=5:1时,制备的薄膜中c-BN含量相对最高;立方氮化硼的形成存在偏压阈值(约80 V),低于此偏压c-BN很难形成.拉曼光谱分析进一步确认了BN薄膜的晶相结构.AFM和XPS分析结果表明c-BN薄膜结晶良好,晶粒尺寸细小,具有很好的化学配比,B原子与N原子的含量比为1:l.

关键词: 立方氮化硼薄膜 , 射频磁控溅射 , 拉曼光谱分析

镍基纳米陶瓷颗粒脉冲电刷镀复合层的形貌及磨损性能

, 姚琼 , 徐滨士 , 杜婧瑶 , 郭文才 , 杨红军

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2005.02.001

为了探讨不同电源电刷镀层的形貌及耐磨性,用直流电源和不同电参数脉冲电源制备了镍基纳米陶瓷颗粒(Ni/n -SiO2)复合镀层,用Quanta 200型扫描电镜、T -11球盘摩擦磨损试验机对其表面形貌、磨损性能进行了分析比较.结果表明:脉冲电刷镀Ni/n -SiO2复合镀层比直流Ni/n -SiO2复合镀层表面更平整,镀层晶粒团更加细小、孔隙率更低、耐磨性更高.纳米颗粒的复合提高了复合镀层的强度,从而避免了快镍镀层磨损中柱状晶脆性断裂磨损方式,提高了复合镀层的耐磨性;脉冲电源通过改善镀层的致密程度,减小了粘着磨损中微凸体的接触应力,使脉冲刷镀层的耐磨性优于直流刷镀层.

关键词: 电刷镀 , 纳米结构镀层 , 脉冲电流 , 磨损

宁夏贺兰山北段金成矿类型及构造控矿规律

黄金 doi:10.11792/hj20131203

贺兰山北段是中国新兴的金找矿潜力区。在分析矿体地质的基础上,结合野外地质调查,从找矿角度详细划分了区内金的成矿类型,并系统分析了断裂构造体系对成矿的具体控制作用。综合成矿构造应力场、矿体(带)空间构型及成矿流体-物质场结构分析,指出了区内下一步找矿方向,强调勘查工作应以低缓石英脉型金矿床为重点对象,兼顾F1中构造破碎带蚀变岩型金矿床。

关键词: 贺兰山北段 , 金矿床 , 成矿类型 , 构造控矿规律 , 成矿预测

纳米结构镀层的制备及其应用

, 徐滨士

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2004.01.008

对近年来国外纳米结构镀层研究的文献进行了综述,介绍了纳米晶镀层、纳米颗粒增强镀层、纳米多层镀层的制备方法、性能特点及应用的最新进展.

关键词: 电沉积 , 纳米晶 , 纳米颗粒 , 纳米多层镀层 , 镀层制备

电流特性和纳米颗粒对电刷镀复合镀层耐腐蚀性能的影响

郭文才 , , 苏强 , 周亮

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2008.04.010

为获得性能优良的镀层,利用不同的电沉积方法(直流、脉冲电流及脉冲换向电流)制得了Ni、Ni/n-SiO2和Ni/n-Al2O3复合镀层,分别对其表面形貌(SEM)进行了观测和分析,测试了镀层的孔隙率,并通过海水浸泡方法检测其耐腐蚀性能.比较测试结果后发现:电流特性和纳米颗粒对电刷镀复合镀层的耐腐蚀性能均有影响,采用脉冲换向电流沉积得到的Ni/n-SiO2复合镀层具有致密精细的表面形貌、较小的孔隙率和较好的耐腐蚀性能.

关键词: 直流 , 脉冲 , 脉冲换向 , 电刷镀 , 纳米复合镀层

电刷镀镍基SiO2复合镀层热稳定性能研究

郭文才 , , 常祖鹏 , 陈晓华

材料导报

采用脉冲换向复合电沉积的方法,制备出了含纳米SiO2的纳米晶复合镀层.通过引入弥散纳米SiO2的技术途径,来阻碍纳米晶晶粒界面的迁移,进而控制纳米晶的高温生长.通过改变工艺参数,研究纳米SiO2对镀层纳米晶生长的影响规律,探讨纳米第二相对纳米晶复合镀层晶粒热稳定性控制的机制.

关键词: 电刷镀 , 复合镀层 , 热稳定性能

喷射电沉积Ni及Ni-ZrO2复合镀层的表面形貌和硬度

兰龙 , , 吴迪 , 黄曾辉 , 曾其彬

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2014.16.027

采用喷射电沉积技术在45钢基体上制备了Ni及Ni-ZrO2复合镀层,并对各种镀层进行扫描电子显微镜(SEM)表面形貌观察、能谱分析(EDS)、X射线衍射仪(XRD)晶粒尺寸测定以及镀层显微硬度测定.比较了不同电流密度、温度和纳米颗粒浓度对镀层表面形貌和硬度的影响规律.结果表明:电流密度由0.55 A/cm2提高到1.00 A/cm2后,镀层表面越粗糙,晶粒尺寸由15 nm增大到23 nm,显微硬度由571HV降低到364HV;温度由20℃升高到50℃后,表面呈现先变粗糙后变平整趋势,且镀层中Ni含量上升,Fe含量下降,镀层硬度由551HV降低到364 HV; ZrO2纳米颗粒质量浓度由0 g/L提高到25 g/L时,表面仍呈现先变平整后变粗糙趋势,镀层晶粒尺寸由22nm降低到13 nm,硬度由384HV提高到521HV.

关键词: 喷射电沉积 , Ni-ZrO2复合镀层 , 表面形貌 , 硬度

电刷镀Ni/n-SiO2复合镀层的形貌及摩擦学性能研究

, 郭文才 , 徐滨士 , 杨红军

稀有金属材料与工程

利用脉冲换向电刷镀方法制得了Ni/n-SiO2复合镀层,并对镀层进行了表面形貌观察和分析,测试了镀层的摩擦学性能,与直流工艺条件下的快镍镀层和Ni/n-SiO2复合镀层相比,采用脉冲换向电刷镀工艺得到的Ni/n-SiO2复合镀层,由于脉冲换向电流的细晶强化作用和纳米颗粒的弥散强化作用,镀层致密、晶粒团尺寸细小、硬度高、摩擦系数低,因此耐磨性能更好.

关键词: 直流 , 脉冲换向电流 , 电刷镀 , 纳米复合镀层

电刷镀Cu/Ni纳米多层膜的微动磨损性能

杨红军 , , 郭文才 , 于甜甜

电镀与涂饰 doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2006.06.001

用球-盘磨损装置研究了电刷镀Cu/Ni纳米多层膜的摩擦磨损性能,采用SEM观察了其表面和截面形貌,并比较了该复合膜层与纯镍镀层的摩擦系数随时间的变化趋势、磨损量以及磨痕形貌.结果表明,该纳米多层膜具有较好的抗微动磨损性能,且晶粒细小,组织致密,界面清晰,各子层厚度均匀;该镀层与纯镍镀层的摩擦系数在达到稳定值后无明显变化;该多层膜的微动磨损方式为粘着疲劳磨损.

关键词: 电刷镀 , 纳米多层膜 , Cu/Ni , 微动磨损 , 摩擦系数

气相沉积Ti/TiN多层薄膜的力学及耐腐蚀性能研究

张啸宇 ,

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.12.013

目的 研究多层薄膜的界面对薄膜性能的影响. 方法 通过直流磁控溅射法在45 #钢表面制备TiN及Ti/TiN多层薄膜,采用扫描电镜和XRD衍射分析仪对薄膜表面形貌及相结构进行观察和分析,使用纳米压痕仪、电子薄膜应力分布测试仪对TiN及Ti/Ti多层薄膜的力学性能以及残余应力大小进行研究,并运用电化学设备对TiN及不同调制周期的Ti/Ti多层薄膜的耐腐蚀性能进行研究. 结果 制备的TiN及Ti/TiN多层薄膜表面光滑且结构致密,TiN晶粒细小且为非晶相;薄膜力学性能良好,内部均存在残余压应力. 随着调制周期的减小,弹性模量和硬度先减小后增大,内部残余应力逐渐减小且分布不均匀程度逐渐增大. 薄膜在H2SO4 中的腐蚀试验表明:当Ti/TiN多层薄膜调制周期为1 μm时,多层薄膜的耐腐蚀性能不如TiN薄膜,随着Ti/TiN多层薄膜随调制周期的减小,多层薄膜的耐腐蚀性能逐渐升高;当调制周期为0. 5 μm时,Ti/TiN多层薄膜的耐蚀性能已超过TiN薄膜. 结论 Ti/TiN多层薄膜界面的增多有助于减小薄膜的残余应力,并且可提高薄膜的耐蚀性能.

关键词: 纳米压痕 , 多层薄膜 , 力学性能 , 残余应力 , 调制周期 , 耐蚀性能

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