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脉冲红外和热导检测法测定钌粉和钌靶中氧、氮含量

刘伟 , 刘文 , 韩守礼 , 贺小塘 , , 方卫 , 王应进 , 杨晓滔 , 甘建壮 , 唐发静

贵金属

建立了钌粉和钌靶中氧、氮含量的测定方法。研究了样品前处理、仪器条件、助熔剂选择、方法准确度和精密度等。以锡-碳作助熔剂,在选定条件下,采用脉冲红外和热导检测法,测定50×10-6氧时RSD<10%,测定40×10-6氮时RSD<25%;加标回收率:氧100%~102%,氮91%~101%。测定范围:氧0.002%~0.4%,氮0.0001%~0.02%。方法简便、快速、精密度和准确度满足质量控制要求。

关键词: 分析化学 , 钌粉 , 钌靶 , , 氮含量

表面严重塑性变形过程中Ag-Cu共晶合金的结构演变

闻明 , 王一晴 , 管伟明 , , 王传军 , 易伟 , 张俊敏 , 沈月

贵金属

采用表面机械研磨处理技术对Ag-Cu共晶合金进行了表面严重塑性变形处理。采用硬度、透射电镜(TEM)等手段对Ag-Cu共晶合合金结构演变进行了研究。研究表明,采用表面严重塑性变形方法获得了具有纳米表层的Ag-Cu共晶梯度结构,合金变形层厚度为~100μm,最表层纳米晶尺寸~10 nm。同时对其晶粒细化机制进行了讨论。

关键词: 材料表面与界面 , Ag-Cu共晶合金 , 表面严重塑性变形 , 结构演变

磁控溅射用CoCrPt系靶材制备技术研究进展

陈松 , 耿永红 , 王传军 , 闻明 , 张俊敏 , 毕珺 , 李艳琼 , , 张昆华

贵金属

目前在高密度磁记录薄膜中大量使用到CoCrPt系溅射靶材.重点介绍了CoCrPt系磁性靶材国内外发展现状,靶材制备中的主要工艺以及质量控制内容和方法,最后分析了存在的技术难点和需要解决的问题.

关键词: 金属材料 , 粉末冶金 , CoCrPt , 溅射靶材 , 熔铸法 , 质量控制

Ag/TiO2纳米复合材料的结构及抗菌性能研究

李艳琼 , 余巍 , 张俊敏 , 毕珺 , , 王传军 , 潘勇 , 管伟明 , 闻明

贵金属 doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2011.04.006

采用化学氧化法在金属Ti表面制备出了多孔纳米TiO2,通过离子束溅射在TiO2表面沉积纳米Ag,最终在Ti表面制备出Ag/TiO2纳米复合材料.利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM),电子探针(EPMA)等分析手段分析了500℃热处理条件下,不同Ag含量对TiO2晶型转变的影响及结构变化.同时,采用细菌生长的抑菌圈法进行测试,研究了Ag/TiO2纳米复合材料对不同菌种的抗菌性能的影响.结果表明:通过化学氧化法和离子束溅射相结合的方法可以得到具有优异抗菌性能的Ag/TiO2纳米复合材料.

关键词: 复合材料 , 氧化钛 , Ag纳米粒子 , 抗菌性能

扩散阻挡层用WT i合金的制备及其表征?

张俊敏 , 闻明 , , 王传军 , 沈月 , 易伟 , 管伟明 , 李艳琼

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.增刊(Ⅱ).025

WTi合金具有低的电阻系数、良好的热稳定性能和抗氧化性能,已被成功地应用于半导体器件的扩散阻挡层.迄今为止,中国大量半导体行业用靶材仍从国外进口.因此,通过研究靶材制备工艺及性能的关系,制备出高密度、高纯度、富钛相β1(Ti,W)少的 WTi合金靶材,不仅能够把握相关领域发展方向,并且具有十分可观的市场前景.本文用行星球磨的方式对Ti、W粉末进行预处理及混合,得到不同粒度组成的混合粉末,用真空热压法对粉末进行成型,制备得到的 WTi10合金.利用X射线衍射仪(XRD)、金相和扫描电子显微镜(SEM)分析混合粉末的粒度组成,并对合金的结构和形貌进行分析,采用排水法及ICP测试仪,分析合金的密度及杂质含量.结果表明,在温度1200℃,压力30 MPa的真空热压条件下,制备得到的4个样品均已形成体心立方β相的WTi固溶体.且混粉球磨时间对 WTi固溶体的峰位及峰强没有影响.但粉末混合球磨时间对热压后合金的微观组织形貌影响较大,随着混粉时间的延长,富钛相β1呈先减少后增加的趋势,混粉3 h的热压得到的样品黑色富 Ti固溶体相区域最少,性能最优,合金的密度均达到理论密度的99.48%,纯度>99.97%.采用该方法制备得到的WTi10合金可用于磁控溅射制备 WTi扩散阻挡层.以上研究为真空热压法制备半导体行业用钨钛靶材的研究提供一定的基础研究数据.

关键词: 扩散阻挡层 , WTi , 真空热压 , 相组成 , 微观结构

铸态Ni-Pt二元合金的显微组织及力学性能

, 张俊敏 , 闻明 , 管伟明 , 沈月 , 易伟 , 王传军

贵金属

通过光学显微金相分析、XRD分析以及显微硬度测试等实验手段,研究Pt添加量为5%~60%的铸态Ni-Pt二元合金的显微组织与力学性能。实验结果表明,Pt质量分数在5%~60%的Ni-Pt二元合金铸态组织为NiPt单相固溶体,且Ni-Pt固溶体为置换型固溶体,其固溶强化主要由Pt原子固溶到Ni基体中产生晶格畸变所导致,各晶面间距d随铂质量分数呈线性增大的趋势,显微硬度随Pt质量分数的增加而增大,且满足:Hv=2.10×Pt%+85.04的线性数学表达式;铸态组织的柱状晶区的柱状晶随铂质量分数的增加向等轴晶和树枝晶发展,晶粒尺寸得到细化。当Pt质量分数达到6%时,铸态组织表现为发达的树枝晶,存在铸造裂纹。

关键词: Ni-Pt二元合金 , 铸态显微组织结构 , 力学性能

放电等离子体烧结FePt合金的微观结构和磁学性能

王传军 , 张俊敏 , , 毕珺 , 闻明 , 管伟明 , 周砚田

贵金属

采用熔炼、机械破碎和放电等离子体烧结法制备了Fe50Pt50合金,研究了合金的微观结构和磁学性能。结果表明在烧结过程中合金中无序的面心立方相向有序的 L10有序相转变,Fe50Pt50合金的有序度和矫顽力随着放电等离子体烧结温度的升高而降低;在800℃烧结时,可获得的最大磁能积为50.81 kJ/m3。

关键词: 金属材料 , FePt合金 , 放电等离子烧结 , 矫顽力 , X射线衍射

Ru籽晶层对CoCrPt-SiO2垂直记录层形貌及结构的影响

张俊敏 , 王传军 , 沈月 , , 毕珺 , 闻明 , 周悓田

贵金属

采用磁控溅射方法,制备了惣不同厚度Ru薄膜为籽晶层的CoCrPt-SiO2垂直磁记录薄膜。利用原子力显微镜(AFM)、透射电镜(TEM)分析 Ru 薄膜的结构和形貌,并悁究了其结构对CoCrPt-SiO2薄膜表面形貌、粗糙度及结构的愝响。结果表明,CoCrPt-SiO2记录层的晶粒尺寸和粗糙度均随着 Ru 籽晶层厚度的增加而增加,薄而粗糙的籽晶层适合于高密度磁记录介质。对于CoCrPt-SiO2记录层晶粒的优化,厚度为70 nm的Ru籽晶层有利于记录层薄膜晶粒的完全隔离,从而提高了磁记录性能。

关键词: 金属材料 , 垂直磁记录介质 , CoCrPt-SiO2 , Ru籽晶层 , 薄膜结构 , 微观形貌

Ru非磁性中间层的制备及其结构研究

张俊敏 , 管伟明 , 李艳琼 , 毕珺 , , 王传军 , 张昆华

贵金属

以不同晶面的Si片作为基底,室温下,采用射频磁控溅射的方法制备得到Ru非磁性薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分析薄膜的结构和形貌.研究不同基底材料对Ru中间层结构和形貌的影响.结果表明:以单晶Si(100)、Si(110)、Si(111)片作为基底制备的Ru薄膜均呈(002)晶面的择优取向生长;Ru-Si(100)、Ru-Si(110)和Ru-Si(111)薄膜表面均由细小的圆形晶粒组成.Si(111)面上生长的Ru薄膜表面颗粒尺寸最小,表面粗糙度最大,有利于磁记录层磁学性能的提高.

关键词: 金属材料 , 非磁性中间层 , Ru薄膜 , 射频磁控溅射

玻纤工业中铂基漏板的设计和优化方法的研究进展

陈松 , 陆建生 , 管伟明 , 张昆华 , 潘勇 , , 夏璐

材料导报

介绍了玻纤工业中玻璃纤维制造用铂基漏板的基本工作原理以及主要构成部件.多年来国内外在漏板设计和优化方面主要采用传统的经验方法,近年来出现了采用有限元方法进行漏板设计和优化的相关研究.详细介绍了传统的经验方法和最新的有限元方法进行漏板设计和优化的基本过程、步骤,并给出了有限元方法设计和优化具体漏板研究实例.通过对传统方法和有限元方法的比较和分析,表明有限元方法将是漏板设计和优化方法发展的方向和趋势.

关键词: 漏板 , 玻纤 , 设计 , 优化 , 有限元方法

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