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LTPS工艺中光刻胶与膜层粘附力的研究

剧永波 , 陈建军 , 张宸铭 , 简月圆 , 熊正平 , 张龙泉 , 东升 , 罗少先 , 刘昊 , 孙宏伟 , 白贺鹏

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20173203.0190

本文对影响LTPS工艺中光刻胶和衬底间粘附力的4个因素进行了实验及理论分析.经实验发现:衬底的材质和粗糙度以及光刻胶中分子量的分布是影响光刻胶和衬底粘附力的最重要的两个因素.在改善粘附力方面HMDS对于电负性较强的金属衬底和光刻胶的粘附力有较好的改善效果,对于SiNX、A-Si及P-Si衬底改善效果明显,且无差异,对于ITO没有改善.光刻胶涂布后适当延长烘烤时间也可以有效改善光刻胶和衬底的粘附力.

关键词: 粘附力 , 光刻胶 , , , 氧化铟锡 , 多晶硅 , 非晶硅 , 氮化硅

纳米氧化锌的合成及其在去除水中铜离子的应用

李丽 , 王雅萍 , 丁亚平 , 东升 , 张芬芬

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2011.06.001

采用一步水热法制备了纳米氧化锌粉体,并利用透射电子显微镜、X射线衍射仪进行了表征.以石墨炉原子吸收光谱法为检测手段,研究了纳米氧化锌粉体对水中铜离子的吸附性能.结果表明:该法合成的纳米氧化锌粉体为六方红锌矿结构,平均粒径为40 nm;该粉体对水中的铜离子具有较高的选择吸附能力,其吸附量受介质的pH值影响,当pH值为5.0时,纳米氧化锌粉体对水中铜离子的吸附容量可达13.85 mg/g,能够去除水中98.1%的铜离子,结果满意.

关键词: 纳米氧化锌 , 吸附 , 铜离子 , 石墨炉原子吸收光谱法

PVDF压电薄膜传感器的研制

东升

物理测试 doi:10.3969/j.issn.1001-0777.2007.01.007

传感器采用的28 μm厚的4层结构PVDF压电薄膜制成,传感器表面电极形状的制作采用剪切加丙酮腐蚀的方法,保证了传感器有一定的非金属化的边缘.对于电极的引出是将传感器上、下电极面引脚错开,引出电极比较容易做到穿透式,采用压接端子压接和空心小铆钉铆接两种方法.

关键词: PVDF压电薄膜 , 传感器 , 制作

PVDF压电薄膜制作传感器的理论研究

东升

物理测试 doi:10.3969/j.issn.1001-0777.2005.02.006

利用PVDF压电薄膜制作传感器是近年来传感器领域的研究新热点.通过对PVDF压电薄膜压电性能的研究,导出PVDF压电薄膜的传感方程,从而为用其制作传感器提供了理论基础,并对偏转角θ进行分析讨论.

关键词: PVDF压电薄膜 , 传感器 , 压电方程

PVDF压电薄膜传感器的研制

东升

物理测试

传感器采用的28 μm厚的4层结构PVDF压电薄膜制成,传感器表面电极形状的制作采用剪切加丙酮腐蚀的方法,保证了传感器有一定的非金属化的边缘。对于电极的引出是将传感器上、下电极面引脚错开,引出电极比较容易做到穿透式,采用压接端子压接和空心小铆钉铆接两种方法。

关键词: PVDF压电薄膜 , sensor , manufacture

含氟共聚聚酰亚胺的合成与性能研究鲁云华,洪斌,迟海军,董岩,肖国勇,胡知之

鲁云华 , 洪斌 , 迟海军 , 董岩 , 肖国勇 , 胡知之

绝缘材料

以1,4-双(4-氨基-2-三氟甲基苯氧基)苯(6FAPB)为含氟二胺单体,均苯四甲酸二酐(PMDA)和1,2,3,4-环丁烷四酸二酐(CBDA)为二酐单体,经低温溶液缩聚反应得到聚酰胺酸,再经热酰亚胺化处理制备出含氟共聚聚酰亚胺(CPI)薄膜.采用红外(IR)、紫外(UV-Vis)、溶解性测试等对CPI进行结构与性能表征,考察两种二酐单体的不同物质的量之比对共聚聚酰亚胺光学性能和溶解性的影响.结果表明:随着脂环二酐CBDA摩尔配比的增加,CPI薄膜在410 nm处的光透过率逐渐增加,薄膜颜色逐渐变浅,溶解性有所改善.

关键词: 聚酰亚胺 , 共缩聚 , 含氟 , 结构与性能

金属学报 第二卷 1957 目录

金属学报

第一期高路不锈翎中裂较的研究········……,..........................................…… ·········~······一李薰、贺潜菊、张振芳、孺梦菊、严媒、蕙田(l)高煊煊缸内化学平衡的考察n.矽一硫、矽一碳和矽一锰平衡······……都元满(13)从铅鼓夙攘烟崖富集锡拜回收铅的研究·······································…… ·············....

关键词:

“液态镓-銻系合金中组分銻的蒸气压”一文的討論

金属学报

<正> 朱锡熊:由彭年和莫金璣同志所作“液态鎵-锑系合金中组分锑的蒸气压”一文的突验数据,可以进一步了解到有关Ga-Sb溶液的热力学性质。 、莫在720°,750°和780℃测定了x_(Sb)=0.30-1.00成分范围的Ga-Sb溶液中组元Sb的蒸气压,因原数据比较散乱,欲根据其原始数据进行分析,需要先对数据进行处理。先按原始数据画出三个温度的lg P_(Sb_4)-x_(Sb)的光滑曲线,由曲线读出不同x_(Sb)成分时的lg P_(Sb_4)值。固定溶液的成分,再以lg P_(Sb_4)对1/T作直线,由直线读出该成分对应于上述三个温度的1g P_(Sb_4),也即组元Sb的蒸气压。两次处理的曲线示于图1,取出的组元Sb的蒸气压(毫米汞柱)列于表1。

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