孙静
,
康琳
,
刘希
,
赵少奇
,
吉争鸣
,
吴培亨
,
郝西萍
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2006.03.005
在制备所有的NbN超导隧道结的过程中,为了得到良好的隧道结,刻蚀是很关键的一步,我们对反应离子刻蚀(RIE)和离子刻蚀两种不同的方法进行了研究比较.通过对多层结构用三种不同的方法刻蚀,再进行SEM观察切面图像,发现离子刻蚀出来的薄膜边缘,与离子源与基片摆放的方向有很大的关系,而RIE刻蚀的结区边缘较为平缓且结果稳定,有利于我们制备更好质量的超导隧道结.
关键词:
反应离子刻蚀RIE
,
离子刻蚀
,
SEM成像
陈亚军
,
康琳
,
蔡卫星
,
施建荣
,
赵少奇
,
吉争鸣
,
吴培亨
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2005.03.004
在制备NbN/AlN/NbN隧道结的工艺过程中,为了获得具有优质单晶结构的NbN薄膜,我们在MgO(111)基片上探索了直流溅射法制备NbN薄膜的生长工艺条件,XRD研究分析表明,我们获得了单晶结构良好的NbN薄膜;为了支持作为上电极的NbN薄膜的生长,也需要良好的AlN薄膜用作势垒层,我们采用射频磁控溅射设备和纯净的Al靶对AlN薄膜进行了制备研究.实验结果表明,所获得的AlN薄膜具有六方c-轴取向,并讨论了衬底和薄膜界面处可能的结构情况.
关键词:
NbN
,
AlN
,
磁控溅射
,
XRD
,
c轴取向
赵少奇
,
康琳
,
吴培亨
,
叶宇达
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2006.01.008
我们用射频磁控溅射方法,在Si(100)单晶衬底上生长MgO薄膜,借助X射线衍射(XRD)分析发现,我们获得了两种不同晶体结构的MgO薄膜,分别是常规的晶格常数为0.421nm的MgO薄膜和晶格常数为0.812nm的新结构的MgO薄膜.我们研究了溅射气压、衬底温度等工艺参数对两种晶体结构择取的影响.实验表明,高的溅射气压和高的衬底温度有利于晶格常数为0.812nm的新结构的MgO相的形成.在高的气压和温度下,我们制备出了晶格常数为0.812nm,具有很好的4次对称性的MgO外延薄膜.利用原子力显微镜(AFM)研究了这种薄膜的表面形貌.
关键词:
MgO
,
射频磁控溅射
,
0.812nm
,
0.421nm
鲁云华
,
赵洪斌
,
迟海军
,
董岩
,
肖国勇
,
胡知之
绝缘材料
以1,4-双(4-氨基-2-三氟甲基苯氧基)苯(6FAPB)为含氟二胺单体,均苯四甲酸二酐(PMDA)和1,2,3,4-环丁烷四酸二酐(CBDA)为二酐单体,经低温溶液缩聚反应得到聚酰胺酸,再经热酰亚胺化处理制备出含氟共聚聚酰亚胺(CPI)薄膜.采用红外(IR)、紫外(UV-Vis)、溶解性测试等对CPI进行结构与性能表征,考察两种二酐单体的不同物质的量之比对共聚聚酰亚胺光学性能和溶解性的影响.结果表明:随着脂环二酐CBDA摩尔配比的增加,CPI薄膜在410 nm处的光透过率逐渐增加,薄膜颜色逐渐变浅,溶解性有所改善.
关键词:
聚酰亚胺
,
共缩聚
,
含氟
,
结构与性能
金属学报
<正> 十年前,伟大领袖毛主席亲自主持制定了中共中央五月十六日《通知》。这个光辉的马克思主义文献,吹响了无产阶级文化大革命的进军号,照亮了这场革命的胜利航程。今天,在批判邓小平、反击右倾翻案风的斗争取得伟大胜利的时候,热烈庆祝文化大革命十周年,重新学习《通知》,我们更加深刻地认识到这场革命的必要性和它的深远意义,对于坚持无产阶级专政下的继续革命,更加充满信心。 《通知》是在毛主席为首的无产阶级司令部同刘少奇为头子的资产阶级司令部的激烈斗争中诞生的。它深刻地批判了刘少奇反革命的修正主义路线,揭露了《二月提纲》
关键词:
金属学报
<正> (一) 1958年,在社会主义建设总路线、人民公社、大跃进三面红旗的光辉照耀下,我们丹阳人民满怀努力改变祖国一穷二白面貌的雄心壮志,兴办了钢铁厂,为加速农业机械化服务,为促进地方工业发展服务。后来受刘少奇的“大办钢铁,得不偿失”的反革命修正主义路线的影响,新生的小钢铁厂被扼杀下马。伟大的无产阶级文化大革命,摧毁了刘少奇、林彪两个资产阶级司令部,批判了修正主义路线对钢铁工业的干扰。1970年10月,镇江地区、丹阳县革命委员会作出重建小钢铁厂的决定。这个消息不胫而走,
关键词:
金属学报
第一期高路不锈翎中裂较的研究········……,..........................................…… ·········~······一李薰、贺潜菊、张振芳、孺梦菊、严媒、赵蕙田(l)高煊煊缸内化学平衡的考察n.矽一硫、矽一碳和矽一锰平衡······……都元满(13)从铅鼓夙攘烟崖富集锡拜回收铅的研究·······································…… ·············....
关键词:
金岩
,
易适
金属学报
<正> 我们的声发射技术是适应无损检验的需要,遵照毛主席关于“独立自主、自力更生”的方针,从无到有,逐步建立并发展起来的。 声发射自六十年代开始发展以来,多用于无损检验方面,既能作为一种对材料进行评价的手段,又可用作构件的安全监控工具,已在许多工业部门应用。 几年来,我们建立起自己的声发射技术的过程,也是不断批判刘少奇、林彪崇洋迷外的修正主义路线,打破帝国主义和社会帝国主义的封锁和技术垄断的过程。在决定建
关键词:
