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PECVD SiO2/Si3N4双层膜驻极体性能

陈治宇 , 吕知秋 , 张锦文 , 金玉 , 李婷 , 田大宇 , 王颖

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.028

本文研究了在带有Cr/Au电极的玻璃衬底上利用PECVD制备的SiO2/Si3N4双层膜驻极体性能.针对这种驻极体提出了一个简单的工艺流程暴露出一部分金属电极,并在电晕注极过程中将底电极引出接地.通过实验改变电晕注极过程中的注极时间、温度等因素,希望得到对PECVD制备的SiO2/Si3N4双层膜驻极体性能的优化.本文证实了PECVD双层膜具备良好的驻极体性能,有望广泛应用于微器件中.

关键词: 驻极体 , SiO2/Si3N4双层膜 , PECVD

基于粘附剂键合的圆片级MEMS塑料封装技术

楼夏 , 金星 , 金玉 , 李志宏

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.003

设计了一套采用聚合物粘附剂(Epo-Tek301)键合的圆片级MEMS塑料(polymethyl methac- rylate)封装方法.塑料封装封盖采用热压成型,激光划片形成4寸圆片.封盖和衬底键合工艺的粘附剂优化厚度为12μm,键合过程中不需要加压加温.测试结果显示该工艺的键合强度(1.3~1.6Mpa)可以满足一般封装需要,而所带入的应力也很小.划片采用分开划片:封盖采用激光划片而硅衬底采用机械划片.该方法封装的微流体芯片已经顺利测试和应用.由于工艺简单,成本低廉,该技术除了用于MEMS封装应用,也可作为划片测试保护.

关键词: 聚合物 , 键合 , 圆片级封装 , PMMA

中子轻核新幻数N=16的解释

任中洲 , S.Sugimoto , H.Toki

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2001.04.018

基于中子分离能的分析, Ozawa 等提出中子轻核存在新幻数N=16. 对N=16同中子素进行了形变和球形的相对论平均场计算. 相对论平均场的数值结果表明N=16同中子素有形状相变. 这是一些中子核新幻数出现的可能原因.

关键词: 形变 , 相对论平均场 , 新幻数

中子锰同位素的壳模型计算

金华 , 王韩奎 , 孙扬

原子核物理评论 doi:10.11804/NuclPhysRev.33.03.268

利用球形壳模型和投影壳模型两种方法对Z 628,N=40附近pf壳的中子核素的结构进行了一系列的研究。以中子的锰同位素为例讨论了对奇奇核58,60Mn的两种壳模型计算结果。结果显示,两种理论方法都很好地再现了58,60Mn 实验上观测到的从低激发到高自旋态的能级。在对这两个同位素由中子g9/2轨道闯入所产生的负宇称转动带进行描述时,两种理论计算也得到了一致的结果。通过对比,阐明了两种壳模型方法及其采用的有效相互作用在该中子核区的适用性,特别强调了中子g9/2轨道的激发对于pf壳Z 628中子核素结构的重要性。

关键词: 中子核 , 锰同位素 , 球形壳模型 , 投影壳模型

元素指定是鉴别重中子核的重要手段

徐岩冰 , 袁双贵 , 杨维凡 , 丁华杰 , 牛雁宁

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2005.01.011

简单地介绍了远离β-稳定线重质量中子核的合成和研究的科学意义, 报告了元素指定对远离β-稳定线重中子核研究的重要作用.

关键词: 元素指定 , 重要作用 , 中子核

唐山国高炉生产低硅生铁的分析

鲁芳臣 , 么占坤

钢铁研究 doi:10.3969/j.issn.1001-1447.2000.04.005

唐山国钢铁有限公司1号高炉,有效容积179 m3,自1996年10月开炉以来,重视原燃料的质量,不断探索合理的炉料结构和装料制度,严格控制渣中w(MgO),加之其它技术的采用,生铁中的含硅量一直处于较低水平,降低了焦比,提高了产量,取得了良好的经济效益.

关键词: 高炉 , 生铁 , 含硅量 , 焦比

中子核91 Y的高自旋能级结构

何小风 , 周小红 , 方永得 , 柳敏良 , 张玉虎 , 王凯龙 , 王建国 , 郭松 , 强华 , 郑勇 , 张宁涛 , 李广顺 , 高丙水 , 吴晓光 , 贺创业 , 郑云

原子核物理评论 doi:10.11804/NuclPhysRev.32.04.375

再次研究了中子核91Y 的高自旋能级结构通过82Se(13C, p3n)91Y 反应。新建立的包含几条关键能级的能级纲图澄清了以前研究中的几点不确定的地方。这几条能级具有Z=38和N=56子闭壳打破的特征,这涉及到张量力和自旋-同位旋依赖的中心力。

关键词: 中子核 , 能级纲图 , 张量力 , 自旋-同位旋依赖的中心力

密封容器中钚材料同位素度和年龄的测量

刘素萍 , 龚建 , 郝樊华 , 伍怀龙 , 胡广春 , 向永春 , 迮仁德 , 章建华

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2005.01.039

根据相对效率法的原理, 利用PC/FRAM分析软件, 开展了用高分辨γ谱仪测量密封容器中钚材料的同位素度和年龄的实验研究.研究结果表明, 同位素度和年龄的分析精度随能谱测量精度的提高而提高, 如果能谱的测量精度不够, 通过PC/FRAM分析得出的钚材料的同位素度和年龄有偏低的可能.因此, 在能谱测量过程中, 建议通过监测某个特征峰的峰面积计数来判定239Pu度和年龄的测量精度是否已满足测量要求.

关键词: 相对效率法 , 钚材料 , 同位素 , 年龄

通过破裂反应研究轻中子核的集团结构

范凤英 , 郑涛 , 叶沿林 , 江栋兴 , 华辉 , 李智焕 , 葛愉成 , 史帆 , 聂鹏煊

原子核物理评论

概括介绍了关于轻中子同位素链集团结构的理论模型和通过破裂反应研究该结构的实验方法、实验装置及物理分析.

关键词: 集团结构 , 破裂反应 , 激发能谱 , 中子核

1780m3高炉烧结-高炉系统碱金属平衡的研究

张建良 , 王传琳 , 国宏伟 , 尹慧超 , 李净

钢铁研究

为了弄清国1 780 m3高炉中碱金属的来源与去向,降低高炉碱负荷以减轻碱金属对高炉的危害,对国1 780 m3高炉以及为其供给烧结矿的230 m2烧结机进行了碱金属的平衡研究.结果表明:国烧结过程中的K主要由白灰带入,Na主要由巴西粗矿带入;1 780 m3高炉吨铁碱负荷为5 047 g,进入高炉的碱金属主要来源于烧结矿;高炉中的K、Na主要通过炉渣排出.

关键词: 高炉 , 碱平衡 , 碱负荷

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