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工作气压对磁控溅射Mo膜的影响

廖国 , 王冰 , 张玲 , 牛忠彩 , 张志娇 , 何智兵 , 杨晓峰 , 李俊 , 许华 , , 曾体贤 , 谌家军

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2011.06.024

采用直流磁控溅射沉积技术在不同工作气压下制备Mo膜,研究了工作气压对Mo膜的沉积速率、表面形貌及晶型结构的影响规律,研究表明:工作气压在0.1~0.5 Pa范围内,沉积速率基本保持不变,在0.5~1.5 Pa范围内沉积速率随工作气压的升高而增大;Mo膜的表面粗糙度随工作气压的升高而增加;不同工作气压下制备的Mo膜为立方结构,在较低工作气压下薄膜结晶性能较好.

关键词: 直流磁控溅射 , Mo薄膜 , 工作气压 , 沉积速率 , 表面形貌

无籽晶化学气相法生长ZnO晶体

胡永琴 , 曾体贤 , , 王茂州 , 彭丽萍 , 王雪敏 , 吴卫东

人工晶体学报

采用化学气相法自发成核的方式生长出φ4mm×5 mm ZnO单晶体.分析了化学气相输运机制,获得ZnO-C体系在生长过程中的压强为0.43 MPa,确定以扩散传输为主;设计了新的生长石英安瓿(锥角约为35°),让沿较快面生长的晶核能淘汰其他晶胚,易长大并形成单晶;X射线衍射测试晶体生长显露面为(002)面,其回摆曲线半峰宽为18arcsec;六边形的腐蚀蚀坑确定该面为ZnO(001)的Zn面,位错缺陷密度为103 cm-2量级.晶体在368 nm处出现了较强的紫外发光峰,属带边激子跃迁;紫外透过率在450~1000 nm内达65%,截止波长为390 nm,对应禁带宽度约为3.12 eV.结果表明,采用无籽晶化学气相法生长的ZnO晶体结晶度好,质量较高.

关键词: ZnO , 无籽晶化学气相输运 , 透过率

化学气相法生长ZnO单晶的热动特性研究

彭柱 , 曾体贤 , , 彭丽萍 , 王新明 , 王雪敏 , 吴卫东

人工晶体学报

研究了ZnO-C体系化学气相法生长ZnO单晶的Zn、CO、O2、CO2、ZnO气体热力学平衡过程,计算发现主要气相物种为Zn,CO.分析了Zn和CO在N2,Ar,He气体中的扩散系数,发现Ar气既可抑制Zn物质流传输,又可减缓Zn扩散系数随温度升高而递减的趋势,是较适宜的外加气体.建立了ZnO单晶气相生长一维传输模型,揭示了Zn的动力学输运过程,获取了三个温度梯度下(氩气背景压力分别为0 atm、0.5 atm、1 atm)Zn的物质流密度,以及温度梯度、背景压力对最大生长速率的影响.

关键词: ZnO单晶 , 化学气相法 , 热力学 , 动力学

工作气压对Bi薄膜沉积速率和表面形貌的影响

廖国 , 何智兵 , 杨晓峰 , , 许华 , 李俊 , 谌加军

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2011.04.011

采用直流磁控溅射方法在不同工作气压下制备了Bi薄膜,对薄膜的晶体结构、沉积速率、表面形貌和生长模式进行了研究,并对其晶粒尺寸的变化规律进行了分析.X射线衍射(XRD)结果表明Bi薄膜均为多晶斜六方结构.研究发现沉积速率随工作气压的升高先增大后减小.扫描电镜(SEM)图像显示随着工作气压的升高,小晶粒尺寸增大、大尺寸晶粒逐渐消失,薄膜变得疏松多孔;薄膜经历柱状-节榴状-楔形3种生长方式.

关键词: 直流磁控溅射 , Bi薄膜 , 工作气压 , 沉积速率 , 表面形貌

超声喷雾热分解法制备ZnO薄膜及衬底温度对其性能的影响

黎波 , 龚恒翔 , 孟祥杰 , 任维义 ,

人工晶体学报

以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,采用超声喷雾热分解法在玻璃衬底上制备得到了温度在350℃到450℃范围内的ZnO薄膜.用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)及紫外-可见分光光度计分析了ZnO薄膜的晶体结构、微观形貌及其光学性质,重点探究了衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响.分析表明:制备的ZnO薄膜为六角铅锌矿结构,衬底温度对薄膜的质量有着重要的影响;所得薄膜在400℃时结晶性能好,沿c轴择优取向生长,具有优良的均匀性和致密性;所制备的薄膜在可见光区透过率高达86%以上,在紫外光区吸收强烈.

关键词: ZnO薄膜 , 超声雾化热解法 , 衬底温度 , 微观形貌 , 透过率

晶体LiCl∶Ni2+局域结构、吸收光谱和电子顺磁共振谱的研究

, 何仕碧 , 李明尚 , 熊竹韵 , 曾体贤

人工晶体学报

采用半自洽场自由Ni2+的3d轨道模型以及点电荷-偶极子模型,利用完全对角化方法,建立了LiCl∶Ni2+晶体的D2h对称局域结构与吸收光谱、电子顺磁共振谱之间的定量关系,统一解释了LiCl∶Ni2+晶体的局域结构与吸收光谱、电子顺磁共振谱,确定了实验中测得的零场分裂D、E的符号,预测了实验中未测得的LiCl∶Ni2+晶体的精细吸收光谱.理论计算结果与实验观测值符合得很好.

关键词: 晶体场 , 局域结构 , 吸收光谱 , 电子顺磁共振谱 , 完全对角化

CdSe纳米晶薄膜的制备与特性研究

曾体贤 , 刘其娅 , , 谌家军

人工晶体学报

采用真空热蒸发技术,在光学玻璃基片上生长出排列整齐、高质量的CdSe纳米晶薄膜.通过X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱分析(XPS)、扫描电镜(SEM)、傅里叶红外光谱(IR)等进行表征.结果表明,薄膜结晶性能较好,纳米晶颗粒约为40 ~70 nm,呈半月状,排列整齐;化学元素配比为49.4∶50.6,稍微富Se;红外透过率高,禁带宽度为1.89 eV,高于块状的CdSe晶体(1.70 eV).

关键词: CdSe薄膜 , 热蒸发 , 透过率 , 禁带宽度

CdX2(X=Cl、Br):Ni2+晶体的吸收光谱和EPR谱的统一解释

, 曾体贤 , 彭松山 , 宋婷婷 , 蒲瑾 , 谌家军

人工晶体学报

本文考虑3d电子轨道局域性差异和配体旋-轨耦合作用的影响,在晶体场理论和电子顺磁共振理论基础上,采用d轨道模型,推导出了3d2/d8电子组态在D3d对称下的广义能量矩阵,利用双共价因子双旋-轨耦合EPR谱高阶微扰公式,统一解释了CdX2(X=Cl、Br):Ni2+晶体的吸收光谱和EPR谱.

关键词: 晶体场理论 , 电子顺磁共振 , 吸收光谱 , 局域结构

硒化镉单晶体的研究进展

杨辉 , 张志勇 , 张敏 , 王茂州 , , 曾体贤

人工晶体学报

总结了CdSe单晶体的多种生长方法,包括温度梯度熔体法,移动区熔法,助熔剂法和气相提拉法等,其中气相提拉法能有效提高CdSe单晶体的晶体纯度及光学质量.介绍了CdSe晶体用于红外非线性光学器件以及室温核辐射探测器件的研究进展,并对CdSe晶体制作中红外偏振测量用波片进行了展望.

关键词: CdSe单晶体 , 气相提拉法 , 非线性光学器件 , 中红外波片

密度泛函理论研究MgH2的电子和光学性质

安辛友 , 杨辉 , 任维义 , 贺梓淇 , , 曾体贤

人工晶体学报

基于密度泛函理论,采用平面波赝势和BFGS法计算研究了金红石相MgH2电子结构性质和线性光学性质.基态下,金红石相MgH2晶体具有良好的弹性力学稳定性,基本结构参数与实验值及其其他理论值符合得较好.Mulliken电荷分布和集居数分析发现:金红石相MgH2晶体中电荷主要从Mg原子向H原子转移,电荷总数主要来源于Mg2p态电子和H1s态电子,金红石相MgH2属于共价键和离子键混合型化合物.结合电子性质和频率相关介电函数ε(ω)计算研究了金红石相MgH2的介电函数、线性吸收系数、复折射率及消光系数、反射率和能量损失谱,结果表明:金红石相MgH2的主要吸收区间位于紫外光区;24.88~42.35 eV能量区间金红石相MgH2具有很强的透过性;高频情况下,金红石相MgH2具有极高的反射率.

关键词: MgH2 , 密度泛函理论 , 电子性质 , 光学性质

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