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一种MEMS结肠癌细胞捕获芯片研究

胡锐军 , , , 景东 , 吴澄 , 杜航向 , 杨治力 , 王志刚 , 夏骏

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2011.02.018

癌症是影响人类健康的重大疾病之一,如何快速、方便地分离癌细胞已经成为制约临床医学和科学研究的重要问题.本文将磁珠技术与MEMS技术相结合,提出了一种等边三角排列的Ni微磁柱结构,在磁场作用下使用CD326免疫磁珠捕获结肠癌细胞.本文对MEMS细胞捕获芯片进行了设计、加工和封装,采用该芯片对与磁珠结合的结肠癌细胞进行了捕获,0.1ml/h流速下捕获效率达92%,证明该芯片具有对结肠癌细胞的捕获能力.

关键词: 结肠癌细胞捕获 , 免疫磁珠

环氧基紫外负性光刻胶的特性、应用工艺与展望

朱军 , 刘景全 , 张金娅 , , 石磊

高分子材料科学与工程

环氧基紫外负性光刘胶(SU-8)是一种近几年发展起来的新型的光刘胶材料.它是一种双酚A酚醛缩水甘油醚环氧树脂溶解于GBL(y-Butyrolactone)而形成的高分子有机聚合物胶体.SU-8胶作为一种光刘材料,由于其独特的光学性能,力学性能和化学性能等,在MEMS(Micro-electro-mechanic-system)研究领域正受到了越来越多的关注,目前已被广泛的应用于MEMS器件的制备中.本文介绍了它的结构性能以及发展前景并报道了我们在其加工工艺上的研究进展.

关键词: 环氧基紫外负性光刻胶 , 光刻 , MEMS , 微线圈 , 微弹簧

基于PDMS纳米粒子改性的热模压技术

汪鹏 , , 肖丽君 , 朱军 ,

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.05.005

介绍了一种采用纳米SiO_2、TiO_2改性聚二甲基硅氧烷(PDMS)的方法,研究了两种纳米材料SiO_2、TiO_2添加的比例对热压效果的影响及优化条件,并分析了其改性后的热膨胀系数及杨氏模量的变化,以及其改性后热压效果的提高进行了初步分析,最后用改性的PDMS材料,快速成型来制造热压模具,热压制作聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流控芯片.与常用的金属模具(如镍模具)相比,此方法具有脱模容易,工艺周期短,难度低,重复性好,价格低等优点.

关键词: PDMS改性 , 纳米粒子 , 热模压 , 微流控

面向未来需求的细间距电化学沉积金凸点工艺

靖向萌 , , 黄闯 , , 刘景全 ,

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.035

研究了电化学沉积金凸点的晶圆级直径和厚度分布及表面粗糙度随电镀电流密度和镀槽温度的变化.电化学沉积的金凸点在整个晶圆上的各个位置和方向上直径都增大了.当在40℃下电镀时,金凸点的直径分布与光刻胶的分布规律相似;而电镀温度为60℃时,金凸点的直径分布更倾向于对称分布.其次,当镀槽温度从40℃提高到60℃或者电镀电流密度从8 mA/cm2降低到3mA/cm2时,金凸点的厚度分布更加均匀.再次,60℃下电镀的金凸点表面粗糙度为130到160纳米并与电镀电流密度无关,但是在40℃下电镀时,表面粗糙度随着电镀电流密度的增加从82 nm急剧增加到1572 nm.

关键词: 金凸点 , 电镀 , 晶圆级封装

超厚SU-8负胶高深宽比结构及工艺研究

张金娅 , , 朱军 , 李建华 , 方华斌 , 杨斌

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.02.027

采用新型SU-8光刻胶在UV-LIGA技术基础上制备了各种高深宽比MEMS微结构,研究了热处理和曝光两个重要因素对高深宽比微结构的影响,解决了微结构的开裂和倒塌等问题;优化了SU-8胶工艺,从而获得了最大深宽比为27:1的微结构.

关键词: UV-LIGA技术 , SU-8胶 , 高深宽比微结构

新型纳米磁色谱微流体芯片

潘欣欣 , , , 朱军 , 高峰

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.035

通过标准光刻电铸工艺,在玻璃基片上制备了不同形状的顺磁性镍铁微柱阵列作为微流控通道内的磁力元件;通过SU-8胶光刻模板PDMS快速成型制备了微流控通道结构,通过O2 Plasma 处理和显微镜下对准,实现在玻璃基片上的永久封装,制备了磁分离微流控芯片;在微流控通道中引入含有微磁珠的溶液,通过外加磁场和流动式进样,观察微磁珠的对磁场的响应情况以及层流中的磁珠分离情况及捕获,并进行了DNA提取实验.

关键词: 镍铁柱阵列 , 磁色谱 , 磁珠 , 微流体

基于磁性的CTCs捕获芯片的优化设计

魏世隽 , 蔡贤华 , , , 景东

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2012.04.007

本文主要研究基于磁性的CTC捕获芯片中细胞受力情况,提出该类芯片中细胞捕获可分为偏移阶段和吸附阶段,并使用COMOSL软件分析了各个阶段的受力特点.通过模拟计算及实验结果可以看出,传统的垂直捕获模式由于其受流场作用力影响,不适合在高流速下进行CTC细胞捕获.基于此我们提出一种新型的平行捕获模式芯片的设计,该设计可以显著减少流场对CTC细胞捕获的影响.优化后的芯片流速可以达到6ml/h.

关键词: CTC细胞 , 磁柱 , 微流控 , 平行捕获模式

圆盘型非接触超声波马达定子的振动模拟与测试

杨斌 , 刘景全 , 周广华 , , 方华斌 , 蔡炳初

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.03.019

介绍一种圆盘型非接触超声波马达的结构.利用有限元法计算了超声波马达定子在不同振动模态下的固有频率,并用激光测振仪对定子进行了测试,结果两者吻合较好.由于振幅和非接触马达的声辐射压力密切相关,因此通过谐响应分析计算了定子的振幅与定子驱动电压的关系,从而为马达的实验研究提供了理论依据.在最优模态B21下进行转子转速测试,测得最高转速为1600rpm.

关键词: 非接触马达定子 , 有限元模拟 , 振型 , 振幅

改性SU8光刻胶的光学特性及其工艺

朱军 , 蒋宏民 , , , 刘景全

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.03.009

通过改变SU-8光刻胶中PAG浓度获得含不同PAG浓度的各种改性SU-8光刻胶,在对其光学性能以及最小曝光剂量的测定基础上研究改性SU-8光刻胶的光刻工艺,借助于改性SU-8光刻胶的合理设计以及背面曝光和正面曝光的结合应用提高多元材料复杂结构的集成制造能力.

关键词: 最小曝光剂量 , PAG , 集成制造

一种新型钼钒酸盐的合成、结构和磁性表征

孙英华 , 杨美玲 , 郭庆芳 , , 姜小宇

应用化学 doi:10.3724/SP.J.1095.2014.30648

用水热方法合成了一个新型的钼钒多金属氧酸盐[PⅤ Mo7ⅥMoⅤV8ⅣO44][Ni(Phen)2OH]4·3H2O(1),用元素分析、红外光谱和X射线单晶衍射等技术手段对化合物的晶体结构进行了表征.结果表明,该化合物属于三斜晶系,P-1空间群,a=1.51300(11) nm,b=1.74813(15) nm,c =2.58896(18) nm,α=72.842(4)°,β=89.240(5)°,γ=72.627(5)°,V=6.2233(8) nm3,Z=1,R1=0.0962,wR2=0.2572.化合物是高还原态的四帽α-Keggin结构钼钒多金属氧簇,通过簇阴离子4个钒帽上的端氧分别支撑4个镍过渡金属配合物,形成一个中性的多金属氧酸盐.多金属氧簇上的端氧与结晶水分子之间的强烈氢键使化合物形成了三维超分子结构.

关键词: 钼钒酸盐 , 超分子 , 水热合成 , 磁性

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