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以四面体非晶碳为布拉格反射栅高声阻抗材料的固贴式薄膜体声波谐振器性能仿真分析

陆晓欣 , 朱嘉琦 , 王赛 , 刘罡 , 刘远鹏 , 袁欣薇 ,

功能材料

为了提高固贴式薄膜体声波谐振器(SMR)的电学和声学品质,实现四面体非晶碳(ta-C)在体声波器件领域的新应用,建立了以ta-C为布拉格反射栅高声阻抗材料的SMR模型,利用MathCAD仿真研究布拉格反射栅层数对该SMR的谐振特性的影响以及ta-C中sp3杂化含量和高/低声阻抗层厚度偏差对SMR的品质因子(Q值)的影响。结果表明层数的增加提高了SMR的品质;ta-C薄膜sp3杂化含量越高,达到饱和Q值所需层数越少,当含量为80%时,至少需要6层(3对)布拉格反射层使SMR达到优异Q值;距离压电堆越近的高/低声阻抗层,其厚度偏差对Q值的影响越大,从而实现了高频率(8GHz)低损耗的SMR的设计。

关键词: 固贴式薄膜体声波谐振器 , 四面体非晶碳 , 布拉格反射栅 , 品质因子

固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系研究进展

刘罡 , 朱嘉琦 , 王赛 , 陆晓欣 , 刘远鹏 , , 袁欣薇

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.01233

 固贴式薄膜体声波谐振器(SMR-FBAR)技术是近年来电子工业领域里的突破性技术, 具有2GHz以上的工作频率、极高的的品质因子及良好的机械稳定性等众多的优异特性. 基于其独特的优越性, 固贴式薄膜体声波谐振器成为了科研工作者们关心的热点, 并在第三代无线通信系统中已得到广泛应用, 例如作为基本单元用来制作滤波器、双工器和振荡器等第三代无线通信系统中的频率选择器件. 器件选用的材料体系是决定器件性能的关键因素. 本文以器件结构为线索, 综述了固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系的研究进展, 包括压电薄膜(氮化铝、氧化锌等)、高/低声阻抗材料以及电极薄膜, 讨论了材料性能和器件性能的关系, 并对材料体系下一步的研究方向进行了展望.

关键词: 固贴式薄膜体声波谐振器 , piezoelectric film , Bragg reflector , electrode film , review

固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系研究进展

刘罡 , 朱嘉琦 , 王赛 , 陆晓欣 , 刘远鹏 , , 袁欣薇

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.01233

固贴式薄膜体声波谐振器(SMR-FBAR)技术是近年来电子工业领域里的突破性技术,具有2GHz以上的工作频率、极高的的品质因子及良好的机械稳定性等众多的优异特性.基于其独特的优越性,固贴式薄膜体声波谐振器成为了科研工作者们关心的热点,并在第三代无线通信系统中已得到广泛应用,例如作为基本单元用来制作滤波器、双工器和振荡器等第三代无线通信系统中的频率选择器件.器件选用的材料体系是决定器件性能的关键因素.本文以器件结构为线索,综述了固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系的研究进展,包括压电薄膜(氮化铝、氧化锌等)、高/低声阻抗材料以及电极薄膜,讨论了材料性能和器件性能的关系,并对材料体系下一步的研究方向进行了展望.

关键词: 固贴式薄膜体声波谐振器 , 压电薄膜 , 布拉格反射栅 , 电极薄膜 , 综述

原子核的反常称能谱研究

徐延冰

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2004.01.002

将具有负称的 fp 空间扩大到包含1g9/2 轨道, 采用修正的表面相互作用(MSDI), 对64Ge, 66Ge, 68Ge, 70Se, 72Se, 74Se, 76Kr 和 78Kr等偶偶核作了形变Hartree-Fock计算, 得到了基态和一些激发态的解. 同时, 还用近似角动量投影形变Hartree-Fock(PDHF)方法对偶偶核64Ge, 74Se和奇A核79Kr进行了能谱计算, 得到其正、负称带的解, 计算结果与实验谱基本一致.

关键词: 形变Hartree-Fock态 , 角动量投影 , 单粒子能谱 , 反常称态

奇A核101Pd和101Ru的负称带能谱研究

徐延冰

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2003.03.003

将具有正称的gds组态空间扩大到包含具有负称的1h11/2轨道, 采用修正的表面δ相互作用(MSDI)对101Pd和101Ru两个奇A 核进行了形变HF计算, 得到了基态和一些激发态的解. 同时, 还用近似角动量投影形变Hartree-Fock(PDHF)方法对101Pd和101Ru进行了能谱计算, 得到其正、负称带的解, 计算结果与实验谱基本一致.

关键词: 角动量投影 , 单粒子能谱 , 称带

亥姆兹共振器抑制振荡燃烧理论分析

高原 , 朱民

工程热物理学报

燃烧室是燃气轮机的核心部件之一,其中的燃烧过程的关键技术之一是如何避免和抑制振荡燃烧现象.本文简要阐述了发生振荡燃烧的机理以及亥姆兹共振器抑制振荡燃烧的声学分析,并且通过线性分析与CFD计算相结合的研究方法对燃烧系统的燃烧稳定性进行计算;同时分析了共振器共振频率和安装位置对燃烧稳定性的影响,得出在不同因素影响下,系统的稳定性和模态.这些分析有助于我们在设计和运行燃烧系统时,实现燃烧系统的安全、高效和清洁运行.

关键词: 振荡燃烧 , 亥姆兹共振器 , 线性分析

梅尔T8000表面粗糙度测量仪故障维修

赵文冲 , 唐军 , 张黎明

物理测试

一台德产梅尔(Hommel)T8000表面粗糙度测量仪在使用几年之后出现故障无法使用,主要表现为:测量传感器电控无法左右移动及传感器检测失灵,整机不能实现全自动检测。通过对机械结构及电气连接方面的分析检查,结果表明:该机LV扫描驱动箱内部由于导向杆上生锈斑和螺杆表面污染产生杂质,造成了滑块轴向移动时机械卡阻;在电气方面,由于传感器接插件内部插针错位的异常断路,导致传感器不工作造成无信号输出。经过机械部分清理加油及传感器接插件部分重新校正处理后设备已完全恢复正常,可全程实现全自动测试。

关键词: 粗糙度测量仪 , 梅尔T8000 , LV驱动箱 , 传感器 , 故障维修

梅尔T8000表面粗糙度测量仪故障维修

赵文冲,唐军,张黎明

物理测试

一台德产梅尔(Hommel)T8000表面粗糙度测量仪在使用几年之后出现故障无法使用,主要表现为:测量传感器电控无法左右移动及传感器检测失灵,整机不能实现全自动检测。 通过对机械结构及电气连接方面的分析检查,结果表明:该机LV 扫描驱动箱内部由于导向杆上生锈斑和螺杆表面污染产生杂质,造成了滑块轴向移动时机械卡阻;在电气方面,由于传感器接插件内部插针错位的异常断路,导致传感器不工作造成无信号输出。经过机械部分清理加油及传感器接插件部分重新校正处理后设备已完全恢复正常,可全程实现全自动测试。

关键词: 粗糙度测量仪 , Hommel T8000 , LV driving box , sensor connector , fault repair

单胶子交换和单π交换夸克模型中核子负称共振态的电磁跃迁振幅

, 何军

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2004.02.023

分别利用单胶子交换和单π交换夸克模型计算了核子负称激发态的电磁跃迁振幅, 讨论了两个模型所给出的不同的组态混合角.结果表明,单胶子交换模型所给出的重子波函数比单π交换夸克模型的波函数更为合理.

关键词: 组份夸克模型 , 组态混合 , 跃迁振幅

材料中受交换电子的电导机制

田锡芝

材料与冶金学报 doi:10.3969/j.issn.1671-6620.2004.03.012

金属中相邻原子间交替受互换价电子是金属键合的基本模式[1].作者据此研究金属、半导体、绝缘体中的受交换电子结构,并进而探讨这种结构与上述材料导电特性的关系.

关键词: , 价电子 , 电导 , 金属 , 半导体 , 绝缘体

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