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溅射时间对GZO薄膜光电性能的影响

丛芳玲 , 赵青南 , 刘旭 , 罗乐平 , 宝宝 , 董玉红 , 赵杰

硅酸盐通报

采用射频磁控溅射法在普通玻璃衬底上制备了Ga2O3含量为3wt.%的掺镓氧化锌透明导电薄膜(GZO).通过X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、四探针测试仪、台阶仪、UV-Vis-NIR3600型紫外-可见分光光度计研究了溅射时间对薄膜结构、表面形貌及光电性能的影响.结果表明,溅射时间为40 min时制备的GZO薄膜的光电综合性能最好,可见光区透过率峰值86%,方阻为16.4Ω/□,电阻率为1.18 ×10-3Ω·cm,性能指数ΦTc为4.73 ×10-3 Ω-1;随着溅射时间增加,薄膜光学带系从3.69 eV减少到3.56 eV.在溅射时间60 min时结晶度最高,方块电阻为9.0Ω/□,电阻率最低为9.7×10-4 Ω·cm,可见光透过率峰值为81%.

关键词: GZO薄膜 , 溅射时间 , 光电性能 , 射频磁控溅射

基片温度对直流反应磁控溅射法制备氧化钨电致变色材料循环寿命的影响

罗乐平 , 赵青南 , 刘旭 , 丛芳玲 , 宝宝 , 董玉红 , 赵杰

硅酸盐通报

通过选取室温、100℃、200 ℃三个不同基片温度制度来探讨基片温度对氧化钨薄膜电致变色循环寿命的影响.实验结果表明:当基片温度由室温提高至100℃后,氧化钨薄膜的循环寿命有较大的改善,循环次数由806次提高至3000次.当基片温度由100℃提高至200℃时,循环寿命反而有所衰退,循环次数由3000次减少至1000次.

关键词: 直流反应溅射 , 氧化钨薄膜 , 基片温度 , 循环寿命 , 光学调制幅度

彩色镀膜玻璃的溅射法制备及其环境稳定性研究

刘旭 , 赵青南 , 罗乐平 , 丛芳玲 , 宝宝 , 董玉红 , 赵杰

人工晶体学报

经过膜系设计,以TiO2和SiO2为介质膜,采用磁控溅射镀膜工艺,制备了不同颜色的镀膜玻璃,计算了不同颜色玻璃的色坐标.用XPS表征了TiO2薄膜中Ti元素价态以及化学计量比;用紫外-可见光谱仪测试了复合膜选择性反射的特性;通过将镀膜玻璃浸泡于酸、碱中测试了其环境稳定性.测试结果表明,复合膜具有较强的抗碱能力,但其抗酸腐蚀能力较弱,随着腐蚀时间的延长,反射谱线向短波方向漂移且峰值降低;同时,也分析了腐蚀机理和谱线漂移的原因.

关键词: 彩色镀膜玻璃 , 磁控溅射 , TiO2和SiO2薄膜 , 环境稳定性

氮氩流量比对玻璃基TiN薄膜的结构和硬度的影响

宝宝 , 赵青南 , 刘旭 , 罗乐平 , 丛芳玲 , 赵修建

硅酸盐通报

采用直流磁控溅射镀膜工艺,在不同的氮氩流量比条件下,制备了玻璃基TiN薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM、EDS)、纳米显微硬度仪,研究了TiN薄膜的组织结构、物相组成、表面形貌、元素成份、维氏硬度,分析了氮氩流量比对TiN薄膜结晶取向、硬度的影响机理.结果表明,在低的氮氩流量比条件下,TiN薄膜以(111)晶面择优取向;随着氮氩流量比增加,择优取向由(111)晶面向(200)晶面过渡;氮氩流量比为1∶2时薄膜以(200)晶面择优取向;继续增加氮氩流量比(1∶2 ~2∶1),TiN薄膜衍射峰强度降低,晶粒尺寸减小;当氮氩流量比增加到2∶1时,薄膜开始呈现非晶态.随着氮氩流量比的增加,薄膜硬度呈现先增加后减小的趋势;当氮氩流量比为1∶1时,TiN薄膜以(200)晶面择优取向结晶,组织致密均匀,晶粒尺寸最小,具有最大的硬度值(825 HV),相比未镀膜的玻璃基片,硬度值增加了20.44%.

关键词: 磁控溅射 , 玻璃基TiN薄膜 , 硬度 , 氮氩流量比

紫外、深紫外非线性光学晶体探索十年回

陈创天

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2001.01.004

本文讨论了近10年来我们研究组在探索紫外、深紫外非线性光学晶体方面的经历。这些经历中有成功的一面,也有不成功的一面。成功的一面包括KBBF晶体的发现及最短倍频波的输出(184.7nm),以及最近使用的一种特殊的器件设计,使KBBF晶体能够产生有效的深紫外谐波光输出;KABO晶体的发现及厘米级晶体的获得,有可能使此晶体在Nd∶YAG激光的4、5倍频器件中得到应用。而我们没有想到的是线性和非线性光学性能均很优秀的SBBO晶体,却发现结构的完整性有问题,目前还不能得到实际的应用,在今后仍需花很大的精力去研究它。最后,我们虽然已花了10年时间,但深紫外非线性光学晶体仍旧没有得到理想的解决,还需我们继续努力。由此可见,一个科学问题的认真解决,是需要花非常长的时间。本文希望把我们研究组的近10年来的经验写出来,供大家参考,以求共勉。

关键词: 非线性光学晶体 , 紫外 , 深紫外 , 结构性能关系 , KBBF , KABO

济钢竖炉球团生产30年回

赵忠文

钢铁

回顾了济钢球团竖炉的发展及其主要设备的技术改造,介绍了不同发展时期的主要做法和经验.

关键词: 竖炉球团 , 发展 , 回顾

陶瓷膜分离技术发展30年回与展望

孟广耀 , 陈初升 , 刘卫 , 刘杏芹 , 彭定坤

膜科学与技术 doi:10.3969/j.issn.1007-8924.2011.03.014

值庆贺《膜科学与技术》杂志创刊三秩之年,陶瓷分离膜技术从核燃料浓缩分离转而民生应用至今也走过了大约30个春秋.现借机简要回顾其三个十年的历史性发展,阅历现状、展望未来,以期对促进无机膜在新工业革命中发挥关键创新作用有所助益.

关键词: 陶瓷膜 , 膜技术 , 水处理 , 新能源

热喷涂纳米涂层20年回与展望

王铀

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.09.001

概述了热喷涂纳米涂层的发展,包括通过纳米粉体的再造粒技术形成热喷涂纳米结构涂层的过程,热喷涂纳米结构氧化铝/氧化钛耐磨抗蚀涂层材料的研发、产业化与成功应用,偶然获得热喷涂纳米自润滑涂层的过程,液料热喷涂纳米热障涂层的研发,新型热喷涂纳米热障涂层材料等.展望了热喷涂纳米涂层技术在国防和民用领域的应用前景,预计到2025年,全球热喷涂纳米涂层市场会达到65亿美元,其中20%左右的市场份额在中国.最后,指出通过对纳米粉体进行再造粒,在纳微观尺度上调控可喷涂粉体喂料的成分和组织结构,能够获得各种所需性能的纳米结构热喷涂涂层,可以用纳米材料制备出常规材料无法获得的全新高性能热喷涂纳米涂层,以满足各种高端装备关键构件的各种表面性能需求.所以,要通过政产学研用合作创新,加快纳米结构可喷涂粉体喂料产业化,发展高性能的热喷涂纳米涂层.

关键词: 热喷涂 , 纳米粉体 , 再造粒过程 , 纳米涂层

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