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GMR硬磁偏置层加工技术

郑洋 , 刘晰 , 曲炳郡 , 韦丹 , 福林 , 任天令 , 刘理天

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.03.016

磁控溅射是一种能够在低温条件下生长大面积优质薄膜的工艺,广泛用在磁传感器和存储等领域.本文研究了在巨磁电阻(Giant Magneto Resistance:GMR)多层膜周围溅射接触紧密的CoCrPt硬磁膜的工艺,使得硬磁膜能为GMR提供磁场偏置,以解决小尺度GMR的噪声问题.研究中采用了1:5的BHF溶液的湿法刻蚀工艺,刻蚀速率为25 A/s,实现了刻蚀深度的精确控制,解决了薄膜对准的问题.同时改进了CoCrPt薄膜溅射的种子层,使得CoCrPt能在常温下溅射得到很好的晶体结构.这种工艺为基于GMR的小尺寸器件设计提供了可能性.

关键词: 巨磁电阻 , 磁控溅射 , 湿法刻蚀 , 粗糙度 , 种子层

微型NiFe磁性薄膜元件中Neel畴壁极性的转变过程

余晋岳 , 朱军 , 周狄 , 禹金强 , 俞爱斌 , 蔡炳初 , 福林

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2000.04.006

观察和分析了300 μm×40 μm×40 nm的NiFe磁性薄膜元件在难轴方向反磁化时磁畴结构转变,特别是Neel畴壁从正极性壁(N+)转变为负极性壁(N-)的全过程.磁畴结构的转变包含畴壁合并、封闭畴转变、钩形畴转变及Neel畴壁极性转变等不可逆因素.对畴壁极性转变的两种方式(即N+→N-直接转变及经由十字壁(Nct)的N+→Nct→N-间接转变)进行了分析讨论.N-往往在元件末端新生封闭畴和正极性主畴壁的连结点成核,然后向中间扩展.N+→Nct的转变是通过N+壁的数次分裂来实现的.

关键词: 磁性薄膜元件 , 反磁化 , 磁畴 , Neel畴壁

交替溅射法制备BaM铁氧体薄膜的特性研究

张弘 , 刘曦 , 刘小晰 , 福林 , 贺德衍

人工晶体学报

以双靶射频溅射和交替沉积的方法制备了不同化学组成的BaM铁氧体薄膜.对所沉积的薄膜进行了两种不同方式的热处理.通过热处理后铁氧体薄膜的X射线衍射(XRD), 逆转换电子穆斯堡尔谱(CEMS)及原子力显微镜(AFM)等微观结构的分析和宏观磁性的测试,结果表明两步骤退火过程对于垂直取向结构的形成是有利的.

关键词: 钡铁氧体薄膜 , 垂直各向异性 , 穆斯堡尔谱

溅射法制备Mn-Zn铁氧体薄膜的磁性与微结构

张弘 , 刘朝阳 , 王兰喜 , 贺德衍 , 福林 ,

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.02.005

以交替真空溅射的方法使用成分分别为MnFe2O4与ZnFe2O4的双靶制备了成分变化的系列Mn1-xZnxFe2O4铁氧体薄膜,衬底为Si(100).薄膜的成分通过控制不同靶的溅射时间来进行调整.沉积态的薄膜呈非晶结构,在真空炉中以适当的温度对薄膜进行退火之后能够得到多晶MnZn铁氧体薄膜.组成成分为Mn0.5ZnO.5Fe2O4的薄膜呈现了相对最高的饱和磁化强度.同时还研究了制备条件对薄膜结构与磁性的影响,如溅射氧分压,退火真空度,退火温度及薄膜厚度等等.制备的薄膜相对于块状材料具有较高的矫顽力,进而讨论了应力对薄膜矫顽力的影响.

关键词: 薄膜 , Mn-Zn铁氧体 , 矫顽力

微型NiFe磁性薄膜元件中Neel畴壁极性的转变过程

余晋岳 , 福林

金属学报

观察和分析了300μm×40μm×40nm的NiFe磁性薄膜元件在难轴方向反磁化时磁畴结构转变特别是Neel畴壁从正极性壁(N+)转变为负极性壁(N-)的全过程. 磁畴结构的转变包含畴壁合并,封闭畴转变,钩形畴转变及Neel畴壁极性转变等变的可逆因素,对畴壁极性转变的身份种方式(即N+→N-直接转变及经由十字壁(Net)r N+-→N-间接转变)进行了分析讨论.

关键词: 磁性薄膜元件 , null

超高密度磁存储的展望

马斌 , 沈德芳 , 狄国庆 , 杨正 , 福林

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.02.021

磁性存储是最常用的海量存储技术,其记录密度越来越高,发展也越来越快。本文通过对信 息记录、读出和存储三个过程的分析,对比了硬磁盘记录、垂直磁记录和磁光记录的优缺点,指出了 采用垂直记录模式、非晶结构合金薄膜或铁氧体薄膜介质是实现超高密记录的方向,光辅助磁记录 是很有希望的记录技术。同时,还指出量子磁盘技术是未来极高密记录的方向。

关键词: 磁性存储 , 高密硬磁盘记录 , 垂直磁记录 , 磁光记录

45Mn2钢氏组织对其力学性能的影响

钟长文 , 刘建华

物理测试 doi:10.3969/j.issn.1001-0777.2002.03.001

研究了45Mn2钢氏组织对其力学性能的影响.结果表明,一定量的氏组织有利于提高其强韧性.

关键词: 45Mn2钢 , 氏组织 , 力学性能

氏组织表面浮突的扫描隧道显微镜研究

薄祥正 , 方鸿生 , 王家军 , 王峥华

金属学报

用扫描隧道显微镜(STM)观察了Fe-0.37C(质量分数,%)合金中氏组织铁素体的表面浮突,发现其浮突形状为帐篷型和复杂形态.切变机制不能解释氏组织表面浮突的形成过程,而扩散控制的台阶机制可合理地解释.氏组织的浮突高度为70—450nm,最大形状变形约0.36.

关键词: 表面浮凸 , Widmanstatten ferrite , scanning tunneling microscopy , shapede formation

氏组织铁素体的亚结构及其对裂纹扩展的影响

刘继恒 , 赵明 , 钱得荣 , 阎胡成

金属学报

<正> 一般认为亚共析钢中氏组织降低机械性能,尤其是不利于冲击韧性。近年来研究结果则认为氏组织可以提高机械性能,也有人认为具有氏组织的亚共析钢,由于冷却速度快,增加了珠光体量,细化了铁素体晶粒,从而抵销了针状铁素体的不良影响。另一些人指出切变机制使针状铁素体中有较高密度的位错和较细的亚结构,提高了钢的机械性能。本文根据对裂纹扩展行为的观察,探讨铁素体影响钢的机械性能的原因。 本实验采用25铸钢作试样,其化学成分(wt-%)为:C 0.28,Si 0.37,Mn 0.61,S

关键词:

热处理对氏组织Ti60合金组织与性能的影响

戎旭东 , 黄陆军 , 王博 , 唐骜 , 耿林

材料热处理学报

以提高氏体组织Ti60合金的拉伸强度与塑性为目标,研究固溶与时效处理对Ti60合金组织与性能演变的影响规律,并优化热处理参数.结果表明,初始氏组织晶粒较为粗大,经过固溶与时效处理后,晶粒明显减小,层片状α相明显减少.初始氏组织Ti60合金抗拉强度为850 MPa,伸长率为0.9%,1000℃固溶处理后,Ti60合金的抗拉强度达到1100 MPa,伸长率为3.7%.1000℃固溶+600℃8h时效处理后,抗拉强度达到1200 MPa,伸长率为3.3%.随固溶温度提高,其硬度与抗拉强度增加,伸长率降低.随时效时间延长,硬度先增大后减小.经1050℃固溶+600℃8 h时效处理后Ti60合金具有最大硬度值509 HV.

关键词: Ti60合金 , 热处理 , 氏体组织 , 拉伸性能

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