于国建
,
宗艳民
,
张志海
,
高玉强
,
胡小波
,
徐现刚
人工晶体学报
气泡是蓝宝石晶体中的主要缺陷之一.本文中研究了采用泡生法生长蓝宝石晶体中气泡的俘获机理以及在晶体中的分布情况.研究结果表明气泡的分布与温场的结构相关,气泡产生的直接原因是结晶前沿较快的晶体生长速度.晶体中的气泡可以通过对生长速率的适当调整予以消除.
关键词:
气泡
,
蓝宝石
,
泡生法
于国建
,
徐明升
,
胡小波
,
徐现刚
人工晶体学报
通过高分辨X射线衍射(HRXRD)技术,对金属有机化合物气相外延(MOCVD)生长的GaN外延膜及SiC衬底的相对取向,晶格常数和应力情况,位错密度等进行了分析.分析表明,GaN和SiC具有一致的a轴取向,GaN外延层弛豫度超过90％,GaN外延层的晶格常数与体块材料相近,在GaN中存在压应力,SiC衬底和GaN外延层中的位错密度分别为107和108量级.
关键词:
高分辨X射线衍射
,
SiC衬底
,
GaN外延层
