欢迎登录材料期刊网

材料期刊网

高级检索

  • 论文(4)
  • 图书()
  • 专利()
  • 新闻()

300mm Si外延片表面颗粒缺陷的研究

刘大力 , 冯泉林 , 周旗钢 , 何自强 , 常麟 , 闫志瑞

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2012.03.021

研究了不同拉晶速率对300 mm硅外延片表面缺陷的影响,SP1(表面激光颗粒扫描仪)测试结果表明:较低的拉晶速率下,外延片表面出现环状颗粒缺陷分布带;较高的拉晶速率下,外延片表面的环形缺陷带消失.利用Femag-CZ软件模拟了不同速率下晶体的生长结果,结合其c;-cv分布图,分析出这种环状分布的颗粒缺陷是由于晶体中间隙原子富集区产生的微缺陷,在外延过程中( 1050℃)聚集长大,从而在界面处造成晶格畸变引起的.随着衬底拉速的降低,间隙原子富集区的面积增大,硅片外延后越容易出现环状分布的颗粒缺陷.因此在单晶拉制过程中,为了避免这种环状缺陷的产生,应适当提高晶体的拉速.

关键词: 颗粒缺陷 , 外延 , SP1 , 拉速

环氧树脂/对甲基苯基双胍固化反应动力学研究

何自强 , 张惠玲

玻璃钢/复合材料

根据非等温和等温DSC数据,采用等转化率法和模型拟合法对环氧树脂/对甲基苯基双胍体系的固化反应过程进行了研究,分析了固化体系在非等温和等温条件下的固化规律.并通过Malek最大概然函数机理法确定了固化反应机理函数,计算出固化反应动力学模型参数.结果表明,考虑了扩散影响的等温自催化反应速率模型对该体系等温固化过程的预测数据与DSC实验数据吻合得更好.同时,在比较非等温和等温自催化动力学模型的计算值与实验值的基础上,结合活化能随固化度的变化规律,对不同温度条件、不同转化率下固化体系的反应历程和机理进行分析,为工业应用中固化工艺条件的优化 提供了理论依据.

关键词: 环氧树脂 , DSC分析 , 固化反应 , 反应动力学

高温氩退火对直拉CZ硅单晶中空洞型微缺陷的影响

李宗峰 , 周旗钢 , 何自强 , 冯泉林 , 杜娟 , 刘斌

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2012.01.021

研究了高温氩退火对大直径直拉硅单晶中晶体原生粒子缺陷(COP)的消除作用.分别在不同温度和保温时间下进行退火,然后利用表面扫描检测系统SPI测量退火前后硅片表面COP的密度变化,来表征退火对COP的消除作用.研究发现,在1200℃退火2h能够显著降低硅单晶表面区域的COP密度,并且随着退火时间的延长COP的密度降低得越多.然后,把所有的退火硅片抛去不同的厚度,检测COP在厚度上的分布,进而得出退火对COP消除的有效距离为0~10 μm.因此,可以得到高温氩退火只能够消除硅片表面的COP缺陷,而对于硅片内部的这些缺陷影响较小.

关键词: 直拉硅单晶 , 大直径 , 空洞型微缺陷 , 晶体原生粒子缺陷 , 高温退火

热处理对高温煎煮和低温酶法提制绿茶多糖的影响

陈小强 , 张志发 , 王川丕 , 何自强 , 陈建新 , 陈红平

应用化学 doi:10.3724/SP.J.1095.2011.00087

采用复合酶法提取和二乙基氨基乙基(DEAE)-纤维素52(DE-52)柱层析纯化制得茶多糖复合物TPC-1;采用煎煮提取、Sephadex G-200柱层析纯化获得茶多糖(TPC)复合物TPC-2.高效液相凝胶渗透色谱-蒸发光散射检测表明,TPC-1和TPC-2经98℃水浴处理5 h后,TPC-1的主要均一性组分TPC-1a裂变为TPC-1a-1和TPC-1a-2 2个组分;圆二色(CD)谱显示TPC-1在194 nm呈现1个正Cotton效应峰,热处理后在216 nm处增加1个正Cotton效应峰;TPC-2经热处理后其中2种均一性组分TPC-2a和TPC-2b未变化,CD谱显示TPC-2在203、215和272 nm处均呈现显著的的正Cotton效应峰,经热处理后前2个峰消失.98℃水浴热处理改变了低温复合酶法提制的茶多糖复合物TPC-1溶液构象和均一性组分的分布,未改变沸水煎煮提制的TPC-2的均一性组分的分布和凝胶色谱行为,但影响了其溶液构象.

关键词: 茶多糖 , 高效液相凝胶渗透色谱-蒸发光散射检测 , 圆二色谱 , 均一性组分

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词