郭博
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刘诗斌
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杨尚林
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李菊萍
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侯晓伟
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.18.030
采用直流磁控溅射方法制备了一种适用于微型磁通门的 Co77 Fe2.5 Mn1.4 Mo2.1 Si13 B4非晶软磁铁芯薄膜，并对薄膜进行了200℃外加面内横向磁场的真空退火。利用振动样品磁强计(VSM)、X 射线扫描仪(XRD)以及扫描电子显微镜(SEM)测试了薄膜的磁滞回线、相组成、表面形貌并进行了成分分析；使用制备得到的薄膜作为双铁芯磁通门的铁芯，测试了磁通门的激励电流、灵敏度和线性范围。结果表明，制备得到的薄膜主要呈非晶态，具有较大的相对磁导率并且磁滞回线在小磁场下出现明显的拐点；用作磁通门铁芯薄膜时，能得到类似使用Co基非晶带材铁芯时的明显的磁通门信号；工作在40kHz 时，磁通门传感器能以有效值22mA 的激励电流获得2700V/T 的输出电压灵敏度。因此，制备得到的薄膜适用于低功耗、高灵敏度微型磁通门传感器。
关键词:
Co 基非晶薄膜
,
微型磁通门
,
磁控溅射
,
退火
