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用于超宽焦斑光束整形的大口径衍射光学元件设计和制作

赵逸琼 , 王建东 , 张晓波 , 李永平 , 伍源 , 王旭迪 , 傅绍军

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2005.02.004

采用改进混合优化算法首次设计并制作了口径168.7 mm的连续衍射光学元件实现类环形光束入射,输出直径650μm超宽焦斑光束均匀照明.用Nd:YAG脉冲激光器1.064 μm波长激光进行实验,获得了与设计尺寸相符、边缘陡峭、无中心尖锐脉冲、具有极好的离焦宽容性的宽焦斑,但焦斑顶部不均匀性较大.对此进行了深入的模拟分析,结果表明:焦斑顶部较大的光强调制主要来源于现有的工艺及实验条件误差.

关键词: 应用光学 , 衍射光学元件 , 准梯度下降法 , 镂空掩膜板 , 离子束刻蚀

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