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冯克勤
液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2003.03.014
CRT荫罩制造工艺的基础技术是光刻腐蚀.将应用于制造荫罩的精密光刻精细腐蚀技术引伸应用到平板显示、微电子、微机械等领域,可以制作出高精度OLED金属掩膜版,LCD、PDP光学掩膜版等,使这一非常成熟的工艺焕发出新的活力.
关键词: 平板显示 , 荫罩 , 光刻 , 精细腐蚀 , 掩膜版
