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透明导电氧化物薄膜材料研究进展

刘宏燕 , 颜悦 , 望咏林 , 伍建华 , 张官理 , 厉蕾

航空材料学报 doi:10.11868/j.issn.1005-5053.2015.4.010

透明导电氧化物薄膜被广泛应用于太阳能电池、平板显示器以及透明视窗等制备中,成为不可或缺的一类薄膜.综述透明导电氧化物薄膜的发展现状和发展趋势,阐述透明导电氧化物薄膜的导电机理和载流子散射机制,系统概括出材料体系选择原则.化学计量比的氧化物是不导电的,通过在薄膜中引入缺陷,包括氧空位、间隙原子或者外来杂质等,在禁带中形成缺陷能级,从而改变氧化物薄膜的导电性能,形成透明导电氧化物.根据掺杂离子的不同,即受主掺杂离子和施主掺杂离子,透明导电氧化物包括N型和P型半导体两种.在这种由于缺陷的引入而导电的透明氧化物薄膜中,载流子散射主要包括晶界散射、声子散射、杂质离子散射和孪晶界散射四种,其中晶界散射和杂质离子散射占主导.进一步地,重点介绍In2O3、SnO2和ZnO基掺杂透明导电氧化物薄膜的基本性能及应用.In2O3基透明导电氧化物由于其在制备低电阻率薄膜和半导体加工方面的优势,成为制作透明电极的主要材料,而SnO2和ZnO基透明导电氧化物由于成本低廉,在未来替代In2O3基透明导电氧化物在透明电极制备方面具有巨大的潜力.此外,结合多功能电子器件的发展,提出延展性能好的氧化物/金属/氧化物三明治结构的透明导电氧化物薄膜是将来的发展方向和研究重点.

关键词: 氧化铟 , 氧化锡 , 氧化锌 , 透明导电氧化物

锆基包裹色料的研究现状及展望

宋晓岚 , 彭林 , 李宇琨 , 刘宏燕 , 邱冠周

材料导报

综述了陶瓷工业中重要的锆基包裹色料及其包裹机理的国内外研究现状,概述了ZrSiO4-Cd(SxSe1-x)包裹色料的制备方法,分析了包裹色料固相法制备中所存在的问题,提出了解决问题的思考途径,并对包裹色料的前景进行了展望.

关键词: 包裹色料 , Cd(SxSe1-x) , 制备 , 展望

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