曾冬梅
,
慕银银
,
潘松海
,
刘皖
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陈飞
人工晶体学报
采用磁控溅射法制备CdZnTe先驱薄膜/金属Al膜的层叠结构,利用铝诱导技术制备CdZnTe薄膜.通过原子力显微镜、X射线衍射、Raman光谱仪和半导体特性分析系统,研究了铝膜溅射功率对铝诱导CdZnTe薄膜结构及性能的影响.结果表明:随着铝膜溅射功率的增加,铝诱导CdZnTe薄膜表面的薄膜结晶质量、晶粒尺寸和薄膜电阻率先增大后减小.铝诱导晶化的效果与铝膜溅射功率有关,当铝膜溅射功率达到100 W,CdZnTe薄膜的晶化诱导效果最显著,薄膜结晶质量最好,晶粒尺寸最大.
关键词:
CdZnTe薄膜
,
磁控溅射
,
溅射功率
,
铝诱导结晶
周海
,
刘皖
,
高欢
,
陈飞
,
曾冬梅
材料导报
doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2014.16.032
采用基于密度泛函理论的CASTEP程序软件包,计算了CdTe、ZnTe、Cd0.875Zn0.125Te、ZnAl2Te4相的弹性常数、形成能、热力学性能、电子结构.计算结果表明,4种相都为稳定相,ZnAl2 Te4相的结构稳定性最差,4种相的优先生成顺序为:CdTe、Cd0.875Zn0.125 Te、ZnTe、ZnAl2Te4.
关键词:
Cd0.875Zn0.125Te
,
结构稳定性
,
第一性原理
